[實用新型]一種料筒用防濺硅工裝及系統

有效

• 申請號: 202320435556.8
• 申請日: 2023-03-09
• 公開（公告）號: CN219409992U
• 公開（公告）日: 2023-07-25
• 發明（設計）人: 鄒靜;關樹軍;洪華;路建華
• 申請（專利權）人: 樂山市京運通新材料科技有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;C30B29/06
• 代理公司: 成都蓉創智匯知識產權代理有限公司 51276
• 代理人: 趙雷

本實用新型涉及單晶爐技術領域，公開了一種料筒用防濺硅工裝及系統，其中一種料筒用防濺硅工裝，包括套設在料筒的外部側壁上且與料筒的底錐連接的防濺硅保護罩，防濺硅保護罩在底錐的帶動下沿料筒的軸向方向做往復運動，防濺硅保護罩上開設有出料口，料筒內的物料經出料口移動至料筒的外部；料筒用防濺硅系統，包括料筒和料筒用防濺硅工裝。本實用新型能夠避免單晶爐內出現濺硅現象。

技術領域

本實用新型涉及單晶爐技術領域，具體涉及一種料筒用防濺硅工裝及系統。

背景技術

目前，通常使用料筒向單晶爐內加料，在使用現有的料筒向單晶爐內加料時，需要先將底錐從料筒上分離，形成開口，料筒內的物料便會經開口進入單晶爐內，若底錐從料筒上分離的越遠，則開口越大，物料進入單晶爐的速度也就越快，若物料進入單晶爐內的速度過快，則在單晶爐內容易出現濺硅現象，濺硅會導致單晶爐內水冷屏的內膽表面上粘附硅點，若硅點從水冷屏的內膽表面上掉落時帶入其表面上粘附的碳粉，則會提升晶棒內的碳含量，降低硅片的品質，同時硅點掉落也會導致單晶排列結構發生變化，導致晶體斷線；若硅點粘附在水冷屏的內膽表面上，則需要對水冷屏的內膽表面進行打磨，這樣便會降低水冷屏的使用壽命。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供了一種料筒用防濺硅工裝及系統，能夠避免單晶爐內出現濺硅現象。

為解決上述技術問題，本實用新型采用了以下方案：

一方面的，一種料筒用防濺硅工裝，包括套設在料筒的外部側壁上且與料筒的底錐連接的防濺硅保護罩，所述防濺硅保護罩在底錐的帶動下沿料筒的軸向方向做往復運動，所述防濺硅保護罩上開設有出料口，料筒內的物料經出料口移動至料筒的外部。

進一步的，還包括可拆卸安裝在料筒的外部側壁上的固定環，所述固定環上安裝有若干個伸縮裝置的固定端，所述伸縮裝置的移動端與防濺硅保護罩連接。

進一步的，所述伸縮裝置包括第一連桿、第二連桿和第三連桿，所述第一連桿沿料筒的軸向方向安裝在固定環上且所述第一連桿上沿料筒的軸向方向設置有導軌，所述第二連桿的一端與第一連桿的一端鉸接，所述第二連桿的另一端與第三連桿的一端鉸接，所述第三連桿的另一端在導軌內做往復運動且與防濺硅保護罩鉸接。

進一步的，所述防濺硅保護罩為筒狀結構，所述防濺硅保護罩的內部側壁與料筒的外部側壁適配。

進一步的，所述防濺硅保護罩的材料為耐熱材料。

另一方面，一種料筒用防濺硅系統，包括料筒和上述方案中任意一項所述的料筒用防濺硅工裝，所述料筒包括底錐，所述料筒用防濺硅工裝中的固定環可拆卸安裝在料筒的外部側壁上，所述料筒用防濺硅工裝中的防濺硅保護罩與料筒的底錐連接。

本實用新型具有的有益效果：

1、本實用新型中，通過在料筒的外部側壁上套設與料筒的底錐連接的防濺硅保護罩，并在防濺硅保護罩上開設有供料筒內的物料移動至料筒外部的大小一定的出料口，使料筒內的物料的出料速度不會過快，進而避免了單晶爐內出現濺硅現象。

2、通過在料筒的外部側壁上安裝固定環，并將伸縮裝置中的第一連桿安裝在固定環上，通過第二連桿與第三連桿的折疊與展開，既能使防濺硅保護罩沿料筒的軸向方向進行往復運動，也能使防濺硅保護罩不會與料筒的外部側壁分離，避免防濺硅保護罩與料筒之間形成可使料筒內的物料移動至料筒外的開口；同時通過在第一連桿上設置導軌，使第三連桿可以沿著導軌帶動防濺硅保護罩進行往復運動，避免防濺硅保護罩發生偏移。

3、通過將防濺硅保護罩設置為筒狀結構，且防濺硅保護罩的內部側壁與料筒的外部側壁適配，使防濺硅保護罩與料筒之間的不存在縫隙，進而使料筒內的物料不會從防濺硅保護罩與料筒之間的縫隙移動至料筒的外部。

4、通過將防濺硅保護罩的材料設置為耐熱材料，避免因防濺硅保護罩與單晶爐內的高溫物料接觸導致的防濺硅保護罩損壞。

附圖說明