[實(shí)用新型]芯片級(jí)硅棒拉晶爐坩堝升降機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202320326852.4
• 申請(qǐng)日: 2023-02-27
• 公開（公告）號(hào): CN219326867U
• 公開（公告）日: 2023-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 仝長(zhǎng)江;洪順順
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇思睿奇智能制造科技有限公司
• 主分類號(hào): C30B15/30
• 分類號(hào): C30B15/30;C30B29/06
• 代理公司: 合肥正則元起專利代理事務(wù)所(普通合伙) 34160
• 代理人: 楊凱

本實(shí)用新型公開芯片級(jí)硅棒拉晶爐坩堝升降機(jī)構(gòu)，包括底板，所述底板頂部的一側(cè)固定連接有安裝架，所述安裝架的一側(cè)的前方和后方均固定連接有滑軌，兩個(gè)所述滑軌的表面之間滑動(dòng)連接有與坩堝相連接的滑動(dòng)座，所述安裝架的一側(cè)且位于兩個(gè)滑軌之間固定連接有固定塊，利用螺紋孔與轉(zhuǎn)動(dòng)絲桿的配合關(guān)系能夠帶動(dòng)支撐架在兩個(gè)滑軌上進(jìn)行移動(dòng)，并且此時(shí)的包裹槽在滾珠槽與滾動(dòng)珠之間進(jìn)行滑動(dòng)，即使滑動(dòng)座與滑軌的配合具有一定的誤差，滾珠槽對(duì)滾動(dòng)珠的限位，此時(shí)的連接塊并不能發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)，因此滑動(dòng)座能夠進(jìn)行平穩(wěn)的滑動(dòng)，并且通過貫穿槽與連接塊之間的配合關(guān)系，能夠提升其結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及坩堝升降技術(shù)領(lǐng)域，具體為芯片級(jí)硅棒拉晶爐坩堝升降機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

坩堝升降機(jī)構(gòu)是單晶爐中重要的部件之一，其升降的穩(wěn)定性直接影響拉晶工藝及晶棒的質(zhì)量。工作時(shí)坩堝升降機(jī)構(gòu)中間的轉(zhuǎn)軸上面安裝有一個(gè)石英坩堝，內(nèi)裝有幾十公斤或一百多公斤的一千幾百度高溫熔化狀態(tài)的硅溶液，因此，只要工作時(shí)中間的坩堝轉(zhuǎn)軸有一點(diǎn)微小的晃動(dòng)都會(huì)在硅溶液的液面上反映出來，對(duì)坩堝升降機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)及上升過程中的穩(wěn)定性要求非常苛刻。

中國(guó)專利公開了一種用于晶體生長(zhǎng)設(shè)備的坩堝升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(公開號(hào)：CN215757725U)，該專利升降機(jī)構(gòu)包括絲杠，所述絲杠與所述驅(qū)動(dòng)器相連以由所述驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，所述絲杠沿上下方向延伸且和所述滑座組件螺紋配合，但是滑座在絲桿的帶動(dòng)下，很容易在絲桿剛開始轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)滑座進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使得坩堝的位置發(fā)生偏移，因此可能存在一定的精度誤差。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供芯片級(jí)硅棒拉晶爐坩堝升降機(jī)構(gòu)，利用螺紋孔與轉(zhuǎn)動(dòng)絲桿的配合關(guān)系能夠帶動(dòng)支撐架在兩個(gè)滑軌上進(jìn)行移動(dòng)，并且此時(shí)的包裹槽在滾珠槽與滾動(dòng)珠之間進(jìn)行滑動(dòng)，即使滑動(dòng)座與滑軌的配合具有一定的誤差，滾珠槽對(duì)滾動(dòng)珠的限位，此時(shí)的連接塊并不能發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)，因此滑動(dòng)座能夠進(jìn)行平穩(wěn)的滑動(dòng)。

本實(shí)用新型的目的可以通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

芯片級(jí)硅棒拉晶爐坩堝升降機(jī)構(gòu)，包括底板，所述底板頂部的一側(cè)固定連接有安裝架，所述安裝架的一側(cè)的前方和后方均固定連接有滑軌，兩個(gè)所述滑軌的表面之間滑動(dòng)連接有與坩堝相連接的滑動(dòng)座，所述安裝架的一側(cè)且位于兩個(gè)滑軌之間固定連接有固定塊，所述固定塊的底部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有驅(qū)動(dòng)滑動(dòng)座在滑軌上平穩(wěn)滑動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)絲桿；

所述滑動(dòng)座的內(nèi)表面固定連接有連接塊，所述連接塊的表面與底板的表面滑動(dòng)連接，所述連接塊的上開設(shè)有與轉(zhuǎn)動(dòng)絲桿相適配的螺紋孔，所述底板的表面貫穿開設(shè)有貫穿槽，所述貫穿槽的內(nèi)表面與連接塊的表面滑動(dòng)連接。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述連接塊的正面與背面均開設(shè)若干個(gè)包裹槽，所述包裹槽的內(nèi)表面滾動(dòng)連接有滾動(dòng)珠，所述貫穿槽內(nèi)壁的兩側(cè)均開設(shè)有滾珠槽，所述滾珠槽的內(nèi)表面與滾動(dòng)珠的表面滾動(dòng)連接。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述滑動(dòng)座的一側(cè)連接有支撐架，所述支撐架的頂部貫穿設(shè)置有波紋管裝置。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述支撐架的一側(cè)固定連接有伺服電機(jī)，所述波紋管裝置的內(nèi)部設(shè)置有旋轉(zhuǎn)軸，所述伺服電機(jī)的輸出端與旋轉(zhuǎn)軸的表面之間設(shè)置有用于傳送動(dòng)力的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括位于伺服電機(jī)輸出端的主動(dòng)輪以及位于旋轉(zhuǎn)軸上的從動(dòng)輪，所述主動(dòng)輪和從動(dòng)輪的表面之間設(shè)置有傳動(dòng)帶。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述底板頂部的一側(cè)通過電機(jī)架安裝有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述底板的頂部固定連接有將驅(qū)動(dòng)電機(jī)的動(dòng)力傳動(dòng)給轉(zhuǎn)動(dòng)絲桿的齒輪箱，所述轉(zhuǎn)動(dòng)絲桿的底端貫穿齒輪箱并延伸至齒輪箱的內(nèi)部，所述底板的輸出端貫穿并延伸至底板的內(nèi)部。