[實(shí)用新型]一種單晶爐下軸稱重裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202320325143.4
• 申請日: 2023-02-27
• 公開（公告）號: CN219490234U
• 公開（公告）日: 2023-08-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曹玉寶;劉聰;吳平;江佳飛;路亮亮;薛金鑫;辛珊
• 申請（專利權(quán)）人: 連城凱克斯科技有限公司
• 主分類號: C30B15/20
• 分類號: C30B15/20;C30B29/06;G01G21/23;G01G23/00
• 代理公司: 無錫億聯(lián)盛知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32625
• 代理人: 謝愷

本實(shí)用新型是一種單晶爐下軸稱重裝置，通過拉壓力傳感器實(shí)現(xiàn)對坩堝內(nèi)的重量檢測；通過絲杠與導(dǎo)軌的配合來保證坩堝的上下運(yùn)行；通過設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)件與微型導(dǎo)軌的配合以抵消測量時(shí)系統(tǒng)的扭矩與彎矩。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，基于現(xiàn)有設(shè)備結(jié)構(gòu)進(jìn)行設(shè)計(jì)，通過拉壓力傳感器測量物料重量，可節(jié)約大量設(shè)備改造成本，且測量結(jié)果可實(shí)時(shí)顯示，易于現(xiàn)場操作；可精準(zhǔn)把控生產(chǎn)物料信息，有效提升生產(chǎn)效率；可減少當(dāng)硅料發(fā)生濺出、泄露等狀況時(shí)帶來的安全隱患，對現(xiàn)場狀況進(jìn)行有效監(jiān)控與危險(xiǎn)預(yù)防。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及的是一種單晶爐下軸稱重裝置。

背景技術(shù)

單晶爐設(shè)備結(jié)構(gòu)龐大復(fù)雜，其結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)與優(yōu)化牽一發(fā)而動全身，對于爐體坩堝內(nèi)的硅料重量的檢測，是目前市場急需解決的重要問題。現(xiàn)代智能工廠的生產(chǎn)需要精準(zhǔn)的生產(chǎn)物料信息，對于單晶爐的生產(chǎn)，坩堝內(nèi)剩余料量的檢測是提升生產(chǎn)效率的關(guān)鍵；對于安全生產(chǎn)也有著重要意義，當(dāng)硅料發(fā)生濺出、泄露等狀況時(shí)，往往會帶來巨大的安全隱患，通過對爐腔內(nèi)硅料的檢測可對現(xiàn)場狀況有效監(jiān)控與危險(xiǎn)預(yù)防。現(xiàn)有技術(shù)稱重結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)都無法有效滿足生產(chǎn)需要。

CN114318506A公開了一種單晶爐坩堝提升下軸稱重裝置，其采用圓盤式壓力監(jiān)測機(jī)構(gòu)安裝在磁流體基座上，存在豎直方向測量準(zhǔn)確性不足的缺陷，且需要對現(xiàn)有單晶爐結(jié)構(gòu)進(jìn)行大量改造，成本較高。

設(shè)計(jì)單晶爐爐體坩堝內(nèi)硅料重量檢測裝置時(shí)，如何抵消測量時(shí)的系統(tǒng)的扭矩與彎矩是其主要難題之一。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型提出的是一種單晶爐下軸稱重裝置，其目的旨在克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述不足，實(shí)現(xiàn)以較低成本對單晶爐坩堝內(nèi)硅料重量進(jìn)行準(zhǔn)確檢測。

本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案：一種單晶爐下軸稱重裝置，通過拉壓力傳感器實(shí)現(xiàn)對坩堝內(nèi)的重量檢測；通過絲杠與導(dǎo)軌的配合來保證坩堝的上下運(yùn)行；通過設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)件與微型導(dǎo)軌的配合以抵消測量時(shí)系統(tǒng)的扭矩與彎矩。

具體的，包括在豎直方向上連接在絲杠升降基座與磁流體基座之間的拉壓力傳感器，拉壓力傳感器通過螺釘固定在磁流體基座下方，絲杠升降基座升降連接升降裝置，磁流體基座在其它方向通過副滑動導(dǎo)軌副滑動連接絲杠升降基座，磁流體基座上裝有相互連接的旋轉(zhuǎn)裝置和坩堝組件。上述連接方式實(shí)現(xiàn)了拉壓力豎直方向的稱重功能，并保證磁流體基座不發(fā)生翻轉(zhuǎn)。

優(yōu)選的，為了具體實(shí)現(xiàn)絲杠升降基座的升降，所述的升降裝置包括絲杠螺母、絲杠及主滑動導(dǎo)軌副，主滑動導(dǎo)軌副沿固定基座垂直長度方向設(shè)置，絲杠升降基座滑動連接主滑動導(dǎo)軌副，絲杠平行設(shè)置在兩側(cè)主滑動導(dǎo)軌副之間且頂部連接轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置，絲杠螺母安裝在絲杠上且連接絲杠升降基座。

優(yōu)選的，為了具體實(shí)現(xiàn)坩堝的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，所述的旋轉(zhuǎn)裝置包括安裝在磁流體基座側(cè)面的相互連接的堝轉(zhuǎn)電機(jī)和減速器，減速器輸出端設(shè)小帶輪，坩堝組件具體包括穿過磁流體的坩堝軸組件，磁流體固定在磁流體基座上，坩堝軸組件底端設(shè)大帶輪、頂端設(shè)石墨托桿，石墨托桿上方連接硅料盛放裝置，小帶輪與大帶輪通過同步帶連接。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，基于現(xiàn)有設(shè)備結(jié)構(gòu)進(jìn)行設(shè)計(jì)，通過拉壓力傳感器測量物料重量，可節(jié)約大量設(shè)備改造成本，且測量結(jié)果可實(shí)時(shí)顯示，易于現(xiàn)場操作；可精準(zhǔn)把控生產(chǎn)物料信息，有效提升生產(chǎn)效率；可減少當(dāng)硅料發(fā)生濺出、泄露等狀況時(shí)帶來的安全隱患，對現(xiàn)場狀況進(jìn)行有效監(jiān)控與危險(xiǎn)預(yù)防。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型單晶爐下軸稱重裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是圖1的部分剖視圖。

圖中的1是固定基座、2是絲杠螺母、3是主滑動導(dǎo)軌副、4是絲杠升降基座、5是拉壓力傳感器、6是副滑動導(dǎo)軌副、7是A導(dǎo)軌壓塊、8是B導(dǎo)軌壓塊、9是絲杠、10是磁流體基座、11是堝轉(zhuǎn)電機(jī)、12是減速器、13是小帶輪、14是大帶輪、15是磁流體、16是坩堝軸組件、17是石墨托桿。

實(shí)施方式