[實用新型]一種鍍膜加熱器玻璃支撐棒防偏移固定座

有效

• 申請號: 202320314014.5
• 申請日: 2023-02-27
• 公開（公告）號: CN219174613U
• 公開（公告）日: 2023-06-13
• 發明（設計）人: 朱善農;呂正一
• 申請（專利權）人: 惠州市泰鴻精密機械有限公司
• 主分類號: C23C16/46
• 分類號: C23C16/46;C23C16/458
• 代理公司: 北京力量專利代理事務所(特殊普通合伙) 11504
• 代理人: 毛澤鈞

本實用新型公開了一種鍍膜加熱器玻璃支撐棒防偏移固定座，應用于化學氣相沉積設備技術領域，本實用新型通過在固定座的內部對稱開設四個螺紋孔，并且在螺紋孔的內部均設置有螺栓，使固定座與鍍膜加熱器的固定面積增大，從而原先的兩點固定改為現在的整個圓環接觸的設置，實現了提高固定座對玻璃支撐棒牢固性的效果，從而解決固定座固定玻璃支撐棒不牢的問題，提高提升化學氣相沉積設備的有效稼動時間，延長化學氣相設備的檢修周期。

技術領域

本實用新型屬于化學氣相沉積設備技術領域，特別涉及一種鍍膜加熱器玻璃支撐棒防偏移固定座。

背景技術

化學氣相沉積，是利用氣態的物質在氣固界面上發生反應生成固態沉積物的過程，是半導體工業中，不可或缺的過程，液晶半導體產業，設計加熱器以利對玻璃載體加熱，為了不讓玻璃鍍膜產生不均勻，造成各種痕跡現象，設計陶瓷頂棒支撐，可以減少接觸面積。

目前，公開號為：CN208266999U的中國實用新型，公開了一種固定座，包括與墻面相配合的本體，所述本體包括一連接管，所述連接管中部遠離墻面一側向墻面凹陷形成缺口部，位于缺口部兩旁側的連接管內設置有用于夾住直管的抱緊件，所述連接管的兩旁側設置有用于控制抱緊件移動的旋鈕，該固定座是一種直扣式固定座，安裝或拆卸時方便快捷，可以搭配不同規格直管使用。

原有結構鎖附位置局限兩點位置,玻璃支撐棒運動位移存在偏移量,會有超出鍍膜玻璃的安全接觸區域,玻璃支撐棒觸碰鍍膜層而造成的破壞,此破壞會產生不均勻缺陷,刮傷或破片等風險玻璃，支撐棒運動位移存在偏移量也會造成化學氣相沉積設備事故停機的檢修頻率提高,甚至被迫進行螺絲孔擴孔。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種鍍膜加熱器玻璃支撐棒防偏移固定座，其優點是提高固定座對玻璃支撐棒的牢固性的功能。

本實用新型的上述技術目的是通過以下技術方案得以實現的：一種鍍膜加熱器玻璃支撐棒防偏移固定座，包括固定座，所述固定座的內部開通有插孔，所述插孔的表面對稱設置有四個開通在固定座內部的螺紋孔，所述螺紋孔的內部螺紋連接有螺栓。

采用上述技術方案，通過在固定座的內部對稱開設四個螺紋孔，并且在螺紋孔的內部均設置有螺栓，使固定座與鍍膜加熱器的固定面積增大，從而原先的兩點固定改為現在的整個圓環接觸的設置，實現了提高固定座對玻璃支撐棒牢固性的效果，從而解決固定座固定玻璃支撐棒不牢的問題，提高提升化學氣相沉積設備的有效稼動時間，延長化學氣相設備的檢修周期。

本實用新型進一步設置為：所述固定座的表面開設有防滑紋。

采用上述技術方案，提高固定座表面與鍍膜加熱器接觸的摩擦力。

本實用新型進一步設置為：所述固定座的材質為鋁合金。

采用上述技術方案，提高固定座的使用壽命。

綜上所述，本實用新型具有以下有益效果：

1、通過在固定座的內部對稱開設四個螺紋孔，并且在螺紋孔的內部均設置有螺栓，使固定座與鍍膜加熱器的固定面積增大，從而原先的兩點固定改為現在的整個圓環接觸的設置，實現了提高固定座對玻璃支撐棒牢固性的效果，從而解決固定座固定玻璃支撐棒不牢的問題，提高提升化學氣相沉積設備的有效稼動時間，延長化學氣相設備的檢修周期。

附圖說明

圖1是本實用新型結構示意圖；

圖2是本實用新型結構剖視圖。

附圖標記：1、固定座；2、螺紋孔；3、螺栓；4、插孔。

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型作進一步詳細說明。

實施例1：