[實用新型]一種坩堝結構有效
| 申請號： | 202320249978.6 | 申請日： | 2023-02-17 |
| 公開（公告）號： | CN219297626U | 公開（公告）日： | 2023-07-04 |
| 發明（設計）人： | 田建平 | 申請（專利權）人： | 佛山市百思特電子材料有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京達友眾邦知識產權代理事務所(普通合伙) 11904 | 代理人： | 王平 |
| 地址： | 528300 廣東省佛山市順德區大*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 坩堝 結構 | ||
本實用新型公開了一種坩堝結構，包括圓筒，所述圓筒通過第一連接組件連接有加熱筒，所述加熱筒呈管狀設置，所述加熱筒的內部側壁上開設有多個凹槽，多個所述凹槽的側壁上固定連接歐加熱電絲，所述加熱筒通過第二連接組件連接有坩堝，所述坩堝呈管狀設置，所述坩堝內滑動連接有活塞，所述圓筒的內部底側壁上固定連接有伸縮桿，所述伸縮桿的伸縮端固定連接在所述活塞的底側壁上。本實用新型抑制了“爬鍋”的現象，提高了熱蒸發的工藝質量。
技術領域
本實用新型涉及薄膜熱蒸發技術領域，尤其涉及一種坩堝結構。
背景技術
熱蒸發是指在高真空室內加熱某固體蒸發材料，使其達到產生一定蒸氣壓的溫度。在真空內部，即使相對較低的蒸氣壓也足以在腔室內產生蒸氣云。這種蒸發材料構成了蒸汽流，它穿過腔室并撞擊基板，作為涂層或薄膜黏附在基板上。在大多數熱蒸發過程中，材料被放置在坩堝中加熱到其熔點使其成為液體，然后繼續加熱變成蒸汽，蒸汽流上升，被倒置在腔室頂部的基板被附上一層薄膜。
例如中國專利申請號201721701974.8提供一種蒸鍍金屬用雙層陶瓷坩堝，包括熱解氮化硼陶瓷坩堝，在所述熱解氮化硼陶瓷坩堝外嵌套有氮化鋁陶瓷坩堝。在所述熱解氮化硼陶瓷坩堝與氮化鋁陶瓷坩堝之間留有間隙空間。所述熱解氮化硼陶瓷坩堝與所述氮化鋁陶瓷坩堝均設置為圓柱體形。
但上述方案中，在熱蒸發工藝制作過程中，經常會出現“爬鍋”現象，即液化后的金屬源會沿著坩堝壁向外溢出，嚴重可能會造成儀器的短路，損壞設備，如果減少金屬源投放量，就會造成工藝質量的降低，是為了解決以上問題，我們設計了一種坩堝結構。
實用新型內容
本實用新型提供了一種坩堝結構，以解決上述背景技術中提出的問題。
為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：
一種坩堝結構，包括圓筒，所述圓筒通過第一連接組件連接有加熱筒，所述加熱筒呈管狀設置，所述加熱筒的內部側壁上開設有多個凹槽，多個所述凹槽的側壁上固定連接有加熱電絲，所述加熱筒通過第二連接組件連接有坩堝，所述坩堝呈管狀設置，所述坩堝內滑動連接有活塞，所述圓筒的內部底側壁上固定連接有伸縮桿，所述伸縮桿的伸縮端固定連接在所述活塞的底側壁上。
作為本技術方案的進一步改進方案：所述第一連接組件包括第一支撐桿，所述第一支撐桿固定連接在所述加熱筒的外部側壁上，所述第一支撐桿側壁上固定連接有第一支撐塊，所述圓筒的內部側壁上開設有第一滑槽，所述第一滑槽的橫截面和縱截面均呈L形設置。
作為本技術方案的進一步改進方案：所述第二連接組件包括第二支撐桿，所述第二支撐桿固定連接在所述坩堝的外部側壁上，所述第二支撐桿的側壁上固定連接有第二支撐塊，所述加熱筒的內部側壁上開設有第二滑槽，所述第二滑槽的橫截面和縱截面均呈L形設置。
作為本技術方案的進一步改進方案：所述坩堝的上側壁固定連接有導氣罩。
作為本技術方案的進一步改進方案：所述導氣罩呈倒圓臺形設置。
作為本技術方案的進一步改進方案：所述活塞的側壁上固定連接有多個密封環，所述密封環的側壁與所述坩堝的內側壁相抵。
與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：
通過導氣罩的設置，可以減少“爬鍋”現象的產生，通過伸縮桿和活塞可以控制蒸發源與基板的距離，減少蒸汽遇空氣的接觸，此裝置抑制了“爬鍋”的現象，提高了熱蒸發的工藝質量。
上述說明僅是本實用新型技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技術手段，并可依照說明書的內容予以實施，以下以本實用新型的較佳實施例并配合附圖詳細說明如后。本實用新型的具體實施方式由以下實施例及其附圖詳細給出。
附圖說明
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