[實用新型]一種紅外焦平面探測器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202320198708.7
• 申請日: 2023-02-13
• 公開（公告）號: CN219591400U
• 公開（公告）日: 2023-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 白謝輝;武合心
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江英孚萊德光電科技有限公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146;G01J5/20
• 代理公司: 北京清源匯知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11644
• 代理人: 馮德魁

1.一種紅外焦平面探測器，其特征在于，包括：多個光敏單元、銦柱陣列和硅讀出電路；

所述多個光敏單元通過所述銦柱陣列與所述硅讀出電路互連；

在所述光敏單元的受光面一側(cè)對應(yīng)于每一光敏單元位置設(shè)置有受光結(jié)構(gòu)，所述受光結(jié)構(gòu)為受光面一側(cè)朝向所述光敏單元方向的內(nèi)凹陷結(jié)構(gòu)，且所述內(nèi)凹陷結(jié)構(gòu)的內(nèi)部最大寬度大于相應(yīng)開口處尺寸。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紅外焦平面探測器，其特征在于，所述受光結(jié)構(gòu)為孔狀結(jié)構(gòu)的受光孔，所述受光孔呈陣列分布；或者

所述受光結(jié)構(gòu)為槽型結(jié)構(gòu)的受光槽，多個受光槽間隔分布。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的紅外焦平面探測器，其特征在于，所述受光結(jié)構(gòu)的縱向截面的橫向尺寸沿深度方向逐漸增大。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的紅外焦平面探測器，其特征在于，所述受光結(jié)構(gòu)的縱向截面形狀為梯形，且所述梯形的短邊對應(yīng)于所述開口。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述紅外焦平面探測器，其特征在于，所述受光結(jié)構(gòu)包括縱向截面為梯形的內(nèi)凹槽以及矩形截面的開口，所述矩形截面開口尺寸小于所述梯形短邊。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的紅外焦平面探測器，其特征在于，在所述受光面上設(shè)置有抗反射膜或增透膜。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的紅外焦平面探測器，其特征在于，所述受光面包括所述受光結(jié)構(gòu)的內(nèi)凹陷結(jié)構(gòu)底部表面以及相鄰內(nèi)凹陷結(jié)構(gòu)的開口部分之間的部分的表面。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的紅外焦平面探測器，其特征在于，在靠近所述內(nèi)凹陷結(jié)構(gòu)底部側(cè)壁部分也設(shè)置有抗反射膜或增透膜。