[實(shí)用新型]一種反射式膜厚自動(dòng)測(cè)量?jī)x器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202320184016.7
• 申請(qǐng)日: 2023-02-10
• 公開（公告）號(hào): CN219141767U
• 公開（公告）日: 2023-06-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張凱
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 韋森特（東莞）科技技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/06
• 分類號(hào): G01B11/06
• 代理公司: 東莞技創(chuàng)百科知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44608
• 代理人: 朱曉光

1.一種反射式膜厚自動(dòng)測(cè)量?jī)x器，包括機(jī)柜（10）、安裝在機(jī)柜（10）內(nèi)部的測(cè)量裝置（20）和存取機(jī)構(gòu)（50）、以及對(duì)接在機(jī)柜（10）外側(cè)的進(jìn)出料部件（60）；其特征在于，進(jìn)出料部件（60）用于對(duì)晶圓片（11）的進(jìn)料和出料，存取機(jī)構(gòu)（50）用于在測(cè)量裝置（20）和進(jìn)出料部件（60）之間移動(dòng)晶圓片（11）；測(cè)量裝置（20）設(shè)置有測(cè)量處理主機(jī)（21）、測(cè)量移動(dòng)部件（30）和測(cè)量探頭部件（40），測(cè)量處理主機(jī)（21）位于機(jī)柜（10）內(nèi)部并與外部電源連通，測(cè)量移動(dòng)部件（30）固定連接在機(jī)柜（10）內(nèi)的支撐架（12）上，測(cè)量移動(dòng)部件（30）設(shè)置有移動(dòng)連接端（34），移動(dòng)連接端（34）被測(cè)量移動(dòng)部件（30）驅(qū)動(dòng)從而產(chǎn)生位置移動(dòng)；測(cè)量探頭部件（40）固定連接在移動(dòng)連接端（34）上并隨移動(dòng)連接端（34）同步移動(dòng)，測(cè)量探頭部件（40）與測(cè)量處理主機(jī)（21）之間電性連接；測(cè)量探頭部件（40）設(shè)置有探頭安裝筒（41）、測(cè)量光源（44）、起偏組件（45）和光譜組件（46），探頭安裝筒（41）固定連接在移動(dòng)連接端（34）上，測(cè)量光源（44）和起偏組件（45）固定連接在探頭安裝筒（41）內(nèi)，光譜組件（46）固定連接在移動(dòng)連接端（34）上；測(cè)量光源（44）與外部電源連通并發(fā)出光線，起偏組件（45）用于對(duì)所述光線進(jìn)行偏振從而形成偏振光，所述偏振光射向待測(cè)晶圓片（11）并經(jīng)過待測(cè)晶圓片（11）上的鍍膜反射后形成反射光；光譜組件（46）用于接收所述反射光，并分析獲取所述反射光的光譜參數(shù)，測(cè)量處理主機(jī)（21）用于根據(jù)所述光譜參數(shù)計(jì)算得出晶圓片（11）相應(yīng)位置的鍍膜厚度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種反射式膜厚自動(dòng)測(cè)量?jī)x器，其特征在于，測(cè)量探頭部件（40）設(shè)置有分光組件（47），分光組件（47）傾斜一定角度固定連接在探頭安裝筒（41）內(nèi)，并位于測(cè)量光源（44）與起偏組件（45）之間；探頭安裝筒（41）垂直于待測(cè)晶圓片（11），使測(cè)量光源（44）發(fā)出的光線垂直射向待測(cè)晶圓片（11），所述光線穿過分光組件（47）和起偏組件（45），從而形成偏振光并垂直射向待測(cè)晶圓片（11），所述偏振光經(jīng)過待測(cè)晶圓片（11）上的鍍膜反射后形成反射光，所述反射光穿過起偏組件（45）射向分光組件（47），分光組件（47）用于把從起偏組件（45）射向分光組件（47）的反射光反射向光譜組件（46），從而使光譜組件（46）順利接收所述反射光。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種反射式膜厚自動(dòng)測(cè)量?jī)x器，其特征在于，測(cè)量探頭部件（40）設(shè)置有第一探頭安裝筒（42）和第二探頭安裝筒（43），第一探頭安裝筒（42）和第二探頭安裝筒（43）分別與待測(cè)晶圓片（11）呈相同角度傾斜并固定連接在移動(dòng)連接端（34）上，第一探頭安裝筒（42）內(nèi)安裝有測(cè)量光源（44）和起偏組件（45），第二探頭安裝筒（43）內(nèi)安裝有起偏組件（45）和光譜組件（46），測(cè)量光源（44）發(fā)出的光線射向第一探頭安裝筒（42）內(nèi)的起偏組件（45）后形成偏振光，所述偏振光以所述相同角度射向待測(cè)晶圓片（11），所述偏振光被待測(cè)晶圓片（11）上的鍍膜反射后形成反射光，所述反射光以所述相同角度射向第二探頭安裝筒（43）內(nèi)的起偏組件（45）和光譜組件（46），從而使光譜組件（46）順利接收所述反射光。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種反射式膜厚自動(dòng)測(cè)量?jī)x器，其特征在于，測(cè)量探頭部件（40）設(shè)置有補(bǔ)償組件（48），補(bǔ)償組件（48）位于起偏組件（45）和待測(cè)晶圓片（11）之間并固定連接在探頭安裝筒（41）內(nèi)，補(bǔ)償組件（48）用于對(duì)偏振光的光譜參數(shù)進(jìn)行光學(xué)補(bǔ)償。