[實用新型]一種半導體零件清洗后烘干裝置

有效

• 申請號: 202320175815.8
• 申請日: 2023-02-10
• 公開（公告）號: CN219223157U
• 公開（公告）日: 2023-06-20
• 發明（設計）人: 孫曉光;林殿夫
• 申請（專利權）人: 沈陽億坤機電裝備科技有限公司
• 主分類號: F26B11/18
• 分類號: F26B11/18;F26B21/00;F26B25/00;F26B25/18
• 代理公司: 北京廣溢知識產權代理有限公司 16001
• 代理人: 劉文康

1.一種半導體零件清洗后烘干裝置，包括外箱體(1)，其特征在于，所述外箱體(1)的底部嵌裝有內箱體(2)，所述外箱體(1)的頂部安裝有出風結構，所述外箱體(1)內且位于所述內箱體(2)的頂部安裝有集水槽(3)，所述內箱體(2)內安裝有水泵(4)，所述水泵(4)的進水端貫穿所述內箱體(2)與所述集水槽(3)相連通，所述水泵(4)的出水端依次貫穿所述內箱體(2)和所述外箱體(1)，所述外箱體(1)內上側安裝有零件固定結構，所述內箱體(2)內安裝有第一氣泵(5)，所述第一氣泵(5)的出氣端依次貫穿所述內箱體(2)和所述外箱體(1)，所述第一氣泵(5)的進氣端依次貫穿所述內箱體(2)以及集水槽(3)。

2.根據權利要求1所述的一種半導體零件清洗后烘干裝置，其特征在于,所述內箱體(2)的內壁為空心結構，所述內箱體(2)的內壁中填裝有隔熱棉(6)。

3.根據權利要求1所述的一種半導體零件清洗后烘干裝置，其特征在于,所述出風結構包括導風罩(7)，所述導風罩(7)安置于所述外箱體(1)的內上側，所述導風罩(7)的形狀為圓臺形，所述導風罩(7)的底部開設有若干氣孔，所述導風罩(7)的內腔中安裝有若干導風板(8)，所述導風板(8)呈預設角度，所述外箱體(1)上安裝有第二氣泵(9)，所述第二氣泵(9)的出氣端與所述導風罩(7)的進氣端相連通，所述第二氣泵(9)的出氣端與所述導風罩(7)的進氣端之間安裝有濾風部。

4.根據權利要求3所述的一種半導體零件清洗后烘干裝置，其特征在于,所述濾風部包括盒體(10)，所述盒體(10)安置于所述外箱體(1)上，所述盒體(10)分別與所述氣泵的和所述導風罩(7)相連通，所述盒體(10)上鉸接有盒蓋(11)，所述盒體(10)的內下側開設有若干插槽，所述插槽內插裝有濾網(12)，所述濾網(12)的邊緣分別與所述盒體(10)的內壁和所述盒蓋的內壁相接觸。

5.根據權利要求1所述的一種半導體零件清洗后烘干裝置，其特征在于,所述水泵(4)的進水端上安裝有電磁閥(13)，所述第一氣泵(5)的進氣端高于所述集水槽(3)，所述第一氣泵(5)的進氣端上安裝有擋水罩(14)。

6.根據權利要求1所述的一種半導體零件清洗后烘干裝置，其特征在于,所述零件固定結構包括若干第一夾板(15)，若干所述第一夾板(15)轉動安置于所述外箱體(1)內，所述第一夾板(15)的軸端安裝有一對牙盤，所述第一夾板(15)上設有第二夾板(16)，所述第一夾板(15)上四角處均安裝有螺桿(17)，所述螺桿(17)貫穿所述第二夾板(16)，所述螺桿(17)上螺旋安置于螺母(18)，所述螺母(18)與所述第二夾板(16)相接觸，所述第一夾板(15)與所述第二夾板(16)上均開設有凹槽，所述凹槽內嵌裝有網罩(19)，所述網罩的側視圖形狀為“匚”形，相鄰一對所述牙盤之間設有鏈條，所述內箱體(2)內安裝有電機(20)，所述電機(20)的旋轉端面上也安裝有牙盤。

7.根據權利要求6所述的一種半導體零件清洗后烘干裝置，其特征在于,所述螺母(18)的左右兩側壁面上均焊接有擰桿(21)，所述擰桿(21)的形狀為“L”形。