[實(shí)用新型]一種用于離子源零部件的抓取機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202320166526.1
• 申請(qǐng)日: 2023-01-29
• 公開（公告）號(hào): CN219275856U
• 公開（公告）日: 2023-06-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葉志強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海西普瀚芯電子科技有限公司
• 主分類號(hào): B25J15/00
• 分類號(hào): B25J15/00;B23Q7/04
• 代理公司: 上海維卓專利代理有限公司 31409
• 代理人: 王從清

本申請(qǐng)涉及自動(dòng)化加工的領(lǐng)域，公開了一種用于離子源零部件的抓取機(jī)構(gòu)，其安裝于機(jī)械手臂上，包括有用于和機(jī)械手臂相連接的安裝座以及設(shè)置于安裝座上的第一抓取端和第二抓取端。第一抓取端用于抓取板狀零部件，第二抓取端用于抓取棒狀零部件。本申請(qǐng)通過在一個(gè)抓取機(jī)構(gòu)上設(shè)置第一抓取端和第二抓取端，既能夠抓取板狀零部件又能抓取棒狀零部件，避免了在加工線上設(shè)置兩臺(tái)抓取機(jī)構(gòu)，出現(xiàn)兩臺(tái)抓取機(jī)構(gòu)在加工過程中互相干涉的情況，且實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)化抓取離子源的零部件，降低了工人的勞動(dòng)強(qiáng)度，且提高離子源零部件的裝夾速度，以提高離子源零部件的加工效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及自動(dòng)化加工的領(lǐng)域，尤其是涉及一種用于離子源零部件的抓取機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

離子注入機(jī)是生產(chǎn)半導(dǎo)體晶圓芯片的最主要設(shè)備之一。一臺(tái)離子注入機(jī)是多個(gè)極為復(fù)雜精密的分系統(tǒng)的集成，其中離子源是極其重要的分系統(tǒng)，而離子源離化電弧腔室是離子源的核心組件，離子源離化電弧腔室50％的零部件是由金屬鎢的精密加工件構(gòu)成，30％零部件是由金屬鉬和鉬合金（TZM）的精密加工件構(gòu)成，5%零部件是由金屬鉭的精密加工件構(gòu)成。

構(gòu)成離子源離化電弧腔室的零部件主要是棒狀或板狀。棒狀或板狀的零部件加工的工藝流程為磨光-穿絲孔-割內(nèi)孔/割外形-磨外形。零部件在加工過程中需要被轉(zhuǎn)運(yùn)至各個(gè)不同的機(jī)構(gòu)上重復(fù)進(jìn)行上料-定位-下料，傳統(tǒng)的離子源離化電弧鎢腔室零部件加工時(shí)是由工人將棒狀或板狀的零部件安裝在不同的機(jī)構(gòu)上，對(duì)零部件進(jìn)行定位，當(dāng)零部件在一個(gè)機(jī)構(gòu)上加工結(jié)束后，再將零部件取下安裝在下一個(gè)機(jī)構(gòu)上。工人抓取零部件，安裝工件，不僅工人勞動(dòng)強(qiáng)度大而且工人安裝工件時(shí)速度也慢以至零部件加工效率也低。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了提高離子源零部件的加工效率，本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N用于離子源零部件的抓取機(jī)構(gòu)。

本申請(qǐng)?zhí)峁┑囊环N用于離子源零部件的抓取機(jī)構(gòu)，采用如下的技術(shù)方案：

一種用于離子源零部件的抓取機(jī)構(gòu)，安裝于機(jī)械手臂上，包括有用于和機(jī)械手臂相連接的安裝座以及設(shè)置于所述安裝座上的第一抓取端和第二抓取端；

所述第一抓取端包括有與所述安裝座相連接的第一驅(qū)動(dòng)件以及相對(duì)設(shè)置于所述第一驅(qū)動(dòng)件上的第一抓取塊和第二抓取塊，所述第一驅(qū)動(dòng)件同時(shí)驅(qū)動(dòng)所述第一抓取塊和所述第二抓取塊朝向或遠(yuǎn)離對(duì)方運(yùn)動(dòng)，所述第一抓取塊和所述第二抓取塊用于抓取板狀零部件；

所述第二抓取端包括有第二驅(qū)動(dòng)件、第一夾緊塊、第二夾緊塊和第三夾緊塊，所述第二驅(qū)動(dòng)件為圓柱狀，所述第二驅(qū)動(dòng)件的一端與所述安裝座相連接，所述第一夾緊塊、所述第二夾緊塊和所述第三夾緊塊沿所述第二驅(qū)動(dòng)件的周向均布設(shè)置于所述第二驅(qū)動(dòng)件遠(yuǎn)離所述安裝座的一端的端面上，且所述第二驅(qū)動(dòng)件同時(shí)驅(qū)動(dòng)所述第一夾緊塊、所述第二夾緊塊和所述第三夾緊塊沿所述第二驅(qū)動(dòng)件的徑向朝向或遠(yuǎn)離所述第二驅(qū)動(dòng)件的端面的中心運(yùn)動(dòng)，所述第一夾緊塊、所述第二夾緊塊和所述第三夾緊塊圍合形成有夾緊空間，所述夾緊空間用于容納棒狀零部件。

通過采用上述技術(shù)方案，在加工離子源零部件時(shí)，將抓取機(jī)構(gòu)安裝于機(jī)器手臂上，機(jī)械手臂能夠驅(qū)動(dòng)抓取機(jī)構(gòu)于不同的機(jī)構(gòu)之間往復(fù)運(yùn)動(dòng)。在抓取板狀零部件時(shí)，第一驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)第一抓取塊和第二抓取塊同時(shí)朝向?qū)Ψ竭\(yùn)動(dòng)，板狀零部件的相對(duì)的兩側(cè)面分別與第一抓取塊相對(duì)于第二抓取塊的面和第二抓取塊相對(duì)于第一抓取塊的面貼合。在放置板狀零部件時(shí)，機(jī)械手臂能夠驅(qū)動(dòng)抓取機(jī)構(gòu)到達(dá)加工位，第一驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)第一抓取塊和第二抓取塊同時(shí)遠(yuǎn)離對(duì)方運(yùn)動(dòng)，板狀零部件被放置加工位。

在抓取棒狀零部件時(shí)，棒狀零部件進(jìn)入夾緊空間，第二驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)第一夾緊塊、第二夾緊塊和第三夾緊塊沿第二驅(qū)動(dòng)件的徑向朝向第二驅(qū)動(dòng)件的端面的中心運(yùn)動(dòng)，第一夾緊塊、第二夾緊塊和第三夾緊塊均與棒狀零部件的周面抵接，以夾緊棒狀零部件。在放置棒狀零部件時(shí)，機(jī)械手臂能夠驅(qū)動(dòng)抓取機(jī)構(gòu)到達(dá)加工位，第二驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)第一夾緊塊、第二夾緊塊和第三夾緊塊同時(shí)沿第二驅(qū)動(dòng)件的徑向遠(yuǎn)離第二驅(qū)動(dòng)件的端面的中心運(yùn)動(dòng)，棒狀零部件被放置在加工位。