[實(shí)用新型]一種用于半導(dǎo)體配件性能測試的新型組合裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202320163141.X | 申請日： | 2023-02-08 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN219200734U | 公開（公告）日： | 2023-06-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 魏華鵬;戴亮 | 申請（專利權(quán)）人： | 蘇州騰踏工業(yè)科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G01M3/04 | 分類號(hào)： | G01M3/04;G01M3/26 |
| 代理公司： | 蘇州言思嘉信專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32385 | 代理人： | 徐永雷 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 半導(dǎo)體 配件 性能 測試 新型 組合 裝置 | ||
1.一種用于半導(dǎo)體配件性能測試的新型組合裝置，其特征在于，包括連接組件(1)，所述連接組件(1)上設(shè)置有保壓組件(2)，所述連接組件(1)的一端設(shè)置有輸送模塊(3)，所述連接組件(1)遠(yuǎn)離所述輸送模塊(3)一端設(shè)置有快速拆裝模塊(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體配件性能測試的新型組合裝置，其特征在于，所述連接組件(1)包括三通連接接頭(5)，所述三通連接接頭(5)上分別設(shè)置有第一連接接口(6)、第二連接接口(7)、第三連接接口(8)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于半導(dǎo)體配件性能測試的新型組合裝置，其特征在于，所述第一連接接口(6)上設(shè)置有保壓組件(2)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于半導(dǎo)體配件性能測試的新型組合裝置，其特征在于，所述第二連接接口(7)上設(shè)置有輸送模塊(3)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于半導(dǎo)體配件性能測試的新型組合裝置，其特征在于，所述第三連接接口(8)上設(shè)置有快速拆裝模塊(4)。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于半導(dǎo)體配件性能測試的新型組合裝置，其特征在于，所述保壓組件(2)包括設(shè)置在第一連接接口(6)上的保壓閥(9)。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于半導(dǎo)體配件性能測試的新型組合裝置，其特征在于，所述輸送模塊(3)包括輸送管道(10)，所述輸送管道(10)的兩端分別設(shè)置有第一變徑連接頭(11)、第二變徑連接頭(12)，所述第一變徑連接頭(11)與所述第二連接接口(7)之間通過變徑轉(zhuǎn)換頭(13)連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于半導(dǎo)體配件性能測試的新型組合裝置，其特征在于，所述快速拆裝模塊(4)包括設(shè)置在第三連接接口(8)上的快速拆裝接頭(14)，所述快速拆裝接頭(14)通過變徑轉(zhuǎn)換頭(13)與第三連接接口(8)連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種用于半導(dǎo)體配件性能測試的新型組合裝置，其特征在于，所述快速拆裝接頭(14)側(cè)部設(shè)置有快速鎖緊組件(15)。
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