[實(shí)用新型]光伏電池片電極的制作裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202320146199.3
• 申請日: 2023-02-02
• 公開（公告）號: CN219443824U
• 公開（公告）日: 2023-08-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 魏國軍;陳林森;盧國;范廣飛;周揚(yáng);趙改娜;魏中文;毛立華;周小紅;浦東林;喬文
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州蘇大維格科技集團(tuán)股份有限公司;蘇州大學(xué)
• 主分類號: B23K26/046
• 分類號: B23K26/046;B23K26/064;H01L31/18;H01L31/0224
• 代理公司: 蘇州禾潤科晟知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32525
• 代理人: 孔令聰

1.一種光伏電池片電極的制作裝置，其特征在于，包括激光源、準(zhǔn)直光束產(chǎn)生單元和光束聚焦單元；

所述準(zhǔn)直光束產(chǎn)生單元位于所述激光源的出光側(cè)，用于將所述激光源射出的激光束轉(zhuǎn)換成準(zhǔn)直光束并投射至所述光束聚焦單元；

所述光束聚焦單元位于所述準(zhǔn)直光束產(chǎn)生單元的出光側(cè)，用于將準(zhǔn)直光束聚焦至待光刻電池片上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光伏電池片電極的制作裝置，其特征在于，所述光束聚焦單元具有微柱透鏡陣列或者微透鏡陣列，所述微柱透鏡陣列或者所述微透鏡陣列的透鏡面朝向或者背向所述待光刻電池片。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光伏電池片電極的制作裝置，其特征在于，所述微柱透鏡陣列與所述待光刻電池片的副柵的位置一一對應(yīng)，所述微柱透鏡陣列與所述待光刻電池片的副柵的周期相同。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光伏電池片電極的制作裝置，其特征在于，所述微柱透鏡陣列的周期為0.1mm～3mm，所述微柱透鏡陣列的數(shù)值孔徑為0.005～0.15。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光伏電池片電極的制作裝置，其特征在于，所述微柱透鏡陣列包括若干沿行方向或者列方向周期排列的柱透鏡，相鄰兩個所述柱透鏡之間的間距為0～0.2mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光伏電池片電極的制作裝置，其特征在于，所述光束聚焦單元為衍射光學(xué)元件，所述衍射光學(xué)元件的衍射面朝向所述準(zhǔn)直光束產(chǎn)生單元。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光伏電池片電極的制作裝置，其特征在于，所述光束聚焦單元包括沿出光光路依次設(shè)置的第一微柱透鏡陣列器件和第二微柱透鏡陣列器件，所述第一微柱透鏡陣列器件與所述第二微柱透鏡陣列器件共焦放置，所述第一微柱透鏡陣列器件的透鏡面與所述第二微柱透鏡陣列器件的透鏡面相對，且所述第一微柱透鏡陣列器件的焦距大于所述第二微柱透鏡陣列器件的焦距。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光伏電池片電極的制作裝置，其特征在于，所述光束聚焦單元還包括用以遮擋雜散光或者待光刻電池片的主柵區(qū)域的第一遮光掩膜，所述第一遮光掩膜位于所述第一微柱透鏡陣列器件與所述第二微柱透鏡陣列器件的共焦焦面位置，所述第一遮光掩膜設(shè)有若干個開孔，所述若干個開孔與所述第一微柱透鏡陣列器件和所述第二微柱透鏡陣列器件的若干個共焦焦點(diǎn)的位置一一對應(yīng)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光伏電池片電極的制作裝置，其特征在于，所述準(zhǔn)直光束為準(zhǔn)直線光束或者準(zhǔn)直面光束。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光伏電池片電極的制作裝置，其特征在于，所述準(zhǔn)直光束產(chǎn)生單元包括沿出光光路依次設(shè)置的光束傳輸組件和至少一組光束擴(kuò)散組件，所述光束擴(kuò)散組件包括沿出光光路依次設(shè)置的擴(kuò)散透鏡和準(zhǔn)直鏡；

所述擴(kuò)散透鏡位于所述光束傳輸組件的出光側(cè)，用以將所述光束傳輸組件形成的激光束擴(kuò)散至所述準(zhǔn)直鏡上；所述準(zhǔn)直鏡位于所述擴(kuò)散透鏡的出光側(cè)，用以將通過所述擴(kuò)散透鏡的激光束形成平行線光束投射至所述光束聚焦單元上。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光伏電池片電極的制作裝置，其特征在于，所述光束傳輸組件包括：

振鏡，位于所述激光源的出光側(cè)，用于改變所述激光源射出的激光束的方向；以及

場鏡，位于所述振鏡的出光側(cè)，用于將所述振鏡形成的激光束聚焦到所述擴(kuò)散透鏡上。

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光伏電池片電極的制作裝置，其特征在于，所述光束傳輸組件包括轉(zhuǎn)鏡，所述轉(zhuǎn)鏡用以改變所述激光源射出的激光束的方向并將所述激光束投射至所述擴(kuò)散透鏡上。

13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光伏電池片電極的制作裝置，其特征在于，所述光束傳輸組件包括至少一個反射鏡，所述反射鏡用以改變所述激光源射出的激光束的方向并將所述激光束投射至所述擴(kuò)散透鏡上。