[實用新型]一種用于低溫泵的鎧裝溫度計及低溫泵

有效

• 申請號: 202320101903.3
• 申請日: 2023-02-02
• 公開（公告）號: CN219495481U
• 公開（公告）日: 2023-08-08
• 發明（設計）人: 郭碩;郭興龍;姚戰立;李東成
• 申請（專利權）人: 蘇州八匹馬超導科技有限公司
• 主分類號: G01K1/14
• 分類號: G01K1/14;G01K1/10
• 代理公司: 江蘇坤象律師事務所 32393
• 代理人: 陳佳

本實用新型公開一種用于低溫泵的鎧裝溫度計，包括溫度計本體和固定件，所述固定件安裝在待測溫機構上、用于固定所述溫度計本體；所述溫度計本體包括溫度計傳感器和溫度計引線，所述溫度計引線的一端與所述溫度計傳感器相連，另一端與外部的溫度顯示器連接；所述溫度計引線外部依次套設有絕緣套管和防腐套管；所述固定件包括導熱區，所述溫度計傳感器固定安裝于所述導熱區中，所述導熱區用于與待測溫機構連接。該鎧裝溫度計適用于具有腐蝕性氣體產生的工況環境。本實用新型還公開一種包括上述鎧裝溫度計的低溫泵，能夠同時檢測低溫泵一級冷頭、二級冷頭的溫度。

技術領域

本實用新型屬于溫度測量技術領域，具體涉及一種用于低溫泵的鎧裝溫度計及低溫泵。

背景技術

溫度計在低溫泵上是不可或缺的零件，其用于檢測一級冷頭、二級冷頭的溫度，記錄低溫泵降溫時間和溫度關系，以直觀地反映低溫泵性能效果。在半導體制造、超導等領域，溫度計的使用環境通常具有腐蝕性氣體產生，對溫度計引線造成腐蝕，進而影響溫度計整個結構的穩定性。因此，設計一種耐腐蝕的鎧裝溫度計是亟待解決的問題之一。此外，在對真空度具有要求的使用環境中，材料的放氣量過大會破壞系統的真空度，選擇兼具良好腐蝕性能和合適放氣量，且經濟、美觀的材料作為溫度計的鎧裝材料，也是本領域重點關注的問題之一。

實用新型內容

鑒于以上所述現有技術的不足，本實用新型的目的在于：提供一種用于低溫泵的鎧裝溫度計，該鎧裝溫度計具有良好的防腐性能和導熱性能，適用于具有腐蝕性氣體產生的工況環境；提供一種包括上述鎧裝溫度計的低溫泵，同時檢測低溫泵一級冷頭、二級冷頭的溫度。

為實現上述全部或部分實用新型目的，本實用新型提供以下技術方案：

本實用新型提供一種用于低溫泵的鎧裝溫度計，包括溫度計本體和固定件，所述固定件安裝在待測溫機構上、用于固定所述溫度計本體；所述溫度計本體包括溫度計傳感器和溫度計引線，所述溫度計引線的一端與所述溫度計傳感器相連，另一端與外部的溫度顯示器連接；所述溫度計引線外部依次套設有絕緣套管和防腐套管；所述固定件包括導熱區，所述溫度計傳感器固定安裝于所述導熱區中，所述導熱區與待測溫機構連接。該技術方案的有益效果在于，所述溫度計引線外部套設絕緣套管，防止溫度計引線與導電物質導通；所述絕緣套管外部套設防腐套管，防止具有腐蝕性的氣體腐蝕溫度計引線；待測溫機構的溫度通過導熱區傳遞給溫度計傳感器，以進行溫度檢測。

所述固定件為內部開設腔體的柱狀結構，所述腔體內填充導熱材料以形成所述導熱區，所述導熱材料為電絕緣材料；所述腔體至少一側開口以暴露所述導熱區，用于固定所述溫度計傳感器和連接待測溫機構。所述導熱材料優選具有良好粘接強度的材料，以通過其粘接性直接固定所述溫度計傳感器。

所述腔體貫穿所述固定件的兩端，包括相互連接的第一腔段和第二腔段，所述第一腔段內填充所述導熱材料以形成所述導熱區；所述防腐套管的一端固定于所述腔體內，所述溫度計引線、絕緣套管、防腐套管沿所述第二腔段向所述固定件外部延伸。

所述導熱材料的導熱率大于0.5W/mK。所述導熱材料例如可以為樹脂，樹脂具有良好的導熱率，能夠將待測溫機構的溫度傳遞給溫度計本體的溫度計傳感器，實現精確測溫，同時樹脂具有良好的粘接強度，能夠直接將所述溫度計傳感器固定于導熱區中。在較為優選的方案中，樹脂進一步選擇為環氧樹脂。

所述防腐套管材質的放氣量小于8.5×10^-11Pa?m³?s^-1?cm^-2，傳熱系數小于30W/（m?℃）。該技術方案的有益效果在于，放氣量在該范圍內時，防腐套管產生的氣體不會影響低溫泵的真空環境；傳熱系數在該范圍內時，可避免防腐套管導致較大的熱量散失，進而影響檢測溫度。

所述防腐套管材質例如可以為不銹鋼軟管。該技術方案的有益效果在于，不銹鋼軟管具有良好的柔軟性、耐腐蝕性、耐磨損性，且外觀光亮美觀。