[實用新型]一種BGA植球機在線不良排查裝置有效
| 申請號: | 202320096121.5 | 申請日: | 2023-02-01 |
| 公開(公告)號: | CN219226237U | 公開(公告)日: | 2023-06-20 |
| 發明(設計)人: | 劉云峰;寇偉佳;杜海權;戴毅毅 | 申請(專利權)人: | 深圳市立可自動化設備有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/66;H01L21/50 |
| 代理公司: | 深圳理之信知識產權代理事務所(普通合伙) 44440 | 代理人: | 曹新中;謝瑩芳 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 bga 植球機 在線 不良 排查 裝置 | ||
本實用新型適用于BGA植球機連續生產在線不良排查裝置技術領域。本實用新型公開一種BGA植球機在線不良排查裝置,包括連續輸送基板的輸送機構和對輸送機構上的基板進行檢測的基板檢測機構,以及在基板檢測機構檢測到不良的基板時將該基板移出輸送機構的基板移出機構。工作時,當基板檢測機構檢測到基板存在不良時,由基板移出機構將輸送機構上的不良基板抬離輸送機構,避免不良基板進入后續植球工藝導致不良產品出現,當基板不存在不良時,可以由輸送機構繼續輸送到相應位置進行后續處理或操作,可以完全實現自動化操作,提高效率。
技術領域
本實用新型涉及半導體封裝設備技術領域,尤其涉及一種BGA植球機在線不良排查裝置。
背景技術
BGA植球機在連續植球過程中,是通過流水線來實現,需要進行對基板進行檢測,以便將不良的基板排除,避免不良的基板進行植球后出現,產品不良,導致生產效率低,造成浪費現象。
發明內容
本實用新型主要解決的技術問題是提供一種BGA植球機在線不良排查裝置,該BGA植球機在線不良排查裝置避免基板存在不良導致植球的不良,提高生產效率。
為了解決上述技術問題,本實用新型提供一種BGA植球機在線不良排查裝置,該BGA植球機在線不良排查裝置,包括連續輸送基板的輸送機構和對輸送機構上的基板進行檢測的基板檢測機構,以及在基板檢測機構檢測到不良的基板時將該基板移出輸送機構的基板移出機構。
進一步地說,所述輸送機構包括輸送帶和與輸送帶配合的輸送棍輪,以及驅動輸送棍輪帶動輸送帶運動的驅動部件。
進一步地說,所述驅動部件包括輸送電機。
進一步地說,所述輸送機構還包括設于輸送帶兩側用于對基板進行導向的導向滑軌。
進一步地說,所述導向滑軌平行設置。
進一步地說,所述基板移出機構包括設于輸送機構上方阻擋基板隨輸送機構移動的止動塊和使止動塊升降的升降驅動部件,以及將阻擋的基板抬升離開輸送機構的基板抬升組件。
進一步地說,所述基板抬升組件包括抬升架和與抬升架連接的絲桿,以及驅動絲桿運動的絲桿電機。
進一步地說,所述基板移出機構還包括將基板抬升組件移離輸送機構的移離組件,該移離組件包括基板抬升組件連接的直線模組和驅動基板抬升組件沿直線模組移動的伺服電機。
進一步地說,所述直線模組與輸送機構垂直設置。
本實用新型提供一種BGA植球機在線不良排查裝置,包括連續輸送基板的輸送機構和對輸送機構上的基板進行檢測的基板檢測機構,以及在基板檢測機構檢測到不良的基板時將該基板移出輸送機構的基板移出機構。工作時,當基板檢測機構檢測到基板存在不良時,由基板移出機構將輸送機構上的不良基板抬離輸送機構,避免不良基板進入后續植球工藝導致不良產品出現,當基板不存在不良時,可以由輸送機構繼續輸送到相應位置進行后續處理或操作,可以完全實現自動化操作,提高效率。
附圖說明
為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案,下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單介紹,顯而易見地,描述中的附圖僅示出了本實用新型的某些實施例,因此不應被看作是對范圍的限定,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創造性勞動的前提下,還可以根據這些附圖獲得其他相關的附圖。
圖1為BGA植球機在線不良排查裝置實施例結構示意圖。
圖2為BGA植球機在線不良排查裝置排除不良基板時結構示意圖。
圖3為BGA植球機在線不良排查裝置排除不良基板時另視視角結構示意圖。
圖4為BGA植球機在線不良排查裝置沒移動方向剖視結構示意圖。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





