[實用新型]一種晶元硅片自動視覺尋邊機

有效

• 申請號: 202320095371.7
• 申請日: 2023-02-01
• 公開（公告）號: CN219329243U
• 公開（公告）日: 2023-07-11
• 發明（設計）人: 李孟超;許樂樂;王興華
• 申請（專利權）人: 蘇州河圖電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/68;H05K7/20
• 代理公司: 蘇州廣正知識產權代理有限公司 32234
• 代理人: 鄒宇

本實用新型公開了一種晶元硅片自動視覺尋邊機，包括：尋邊機本體、支撐架以及設置于支撐架上的圖像識別機構，尋邊機本體包括底板、罩設于底板上的外殼以及設置于外殼內的角度修正機構，角度修正機構上設置有用于吸附硅片的真空旋轉吸盤，角度修正機構包括設置于底板上的十字電動微調平臺、設置于十字電動微調平臺上的R軸驅動步進電機、設置于R軸驅動步進電機輸出端上的主動同步輪、通過同步帶相連接的從動同步輪以及設置于從動同步輪上的R軸中空旋轉機構，真空旋轉吸盤設置于R軸中空旋轉機構上且與底板上的真空發生器相連接，本實用新型可以有效解決晶片的快速精確尋邊定位需求，同時在減化整機結構方面有明顯的改進。

技術領域

本實用新型涉及機械設備的技術領域，特別是涉及一種晶元硅片自動視覺尋邊機。

背景技術

在半導體制造行業，晶元硅片作為工藝周轉的關鍵載具，在生產中大量使用，它在設備內部的搬運和輸送動作主要通過晶元機器人來完成，對于少數定位要求低的工序和設備，晶元機器人依靠定點位置取放的方式，靠硅片周轉倉的機械限位即可達到要求。但是還有很多工序對晶元硅片的定位精度要求很高，而晶元機器人受自身結構限制，沒有位置修正功能，必需借助其它修正機構來完成，通常是另外安裝一臺硅片尋邊機來配合機器人完成位置和角度修正，動作順序是機器托起硅片放到尋邊機的旋轉吸盤上，尋邊機的旋轉吸盤旋轉帶動硅片旋轉一圈，位于尋邊機位于硅片邊緣位置的激光傳感器搜索硅片的邊緣和邊緣上的一個缺口標記，尋邊機通過測量硅片的偏心量和缺口位置計算出硅片的取放位置誤差，通過尋邊機內置的XY運動機構修正硅片XY位置偏差，再通過旋轉吸盤的旋轉把缺口轉到指定角度，完成角度修正，然后晶片機器人重新托起硅片，送到設備的工作區，這種方案雖然可以達到位置修正的功能，但是需要把硅片轉動一周才能完成測量，為了保證精度，轉動不能太快，一般至少需要四到六秒鐘，再加上修正運作和機器人的一次放下再托起的動作，完成硅片修正的時間約為六到八秒鐘，這個時間對生產節拍影響很大，另外目前市面上尋邊機，昂貴的進口品牌占絕大多數，價格均在十萬以上，行業急需能夠實現高速、高精度定位，而且造價合適的硅片尋邊定位設備。

實用新型內容

本實用新型針對現有技術的不足，本實用新型提供一種晶元硅片自動視覺尋邊機，可以有效解決晶片的快速精確尋邊定位需求，同時在減化整機結構方面有明顯的改進，為人們的使用帶來極大的便利。

為解決上述技術問題，本實用新型采用的一個技術方案是一種晶元硅片自動視覺尋邊機，包括：尋邊機本體、設置于尋邊機本體側面的支撐架以及設置于支撐架上的用于檢測硅片偏差位置的圖像識別機構，所述尋邊機本體包括底板、罩設于底板上的外殼以及設置于外殼內的角度修正機構，所述角度修正機構上設置有用于吸附硅片的真空旋轉吸盤，所述角度修正機構包括設置于底板上的十字電動微調平臺、設置于十字電動微調平臺上的R軸驅動步進電機、設置于R軸驅動步進電機輸出端上的主動同步輪、通過同步帶與主動同步輪相連接的從動同步輪以及設置于從動同步輪上的R軸中空旋轉機構，所述真空旋轉吸盤設置于R軸中空旋轉機構上且與底板上的真空發生器相連接。

在本實用新型一個較佳實施例中，所述底板上設置有嵌入式控制器。

在本實用新型一個較佳實施例中，所述外殼的側面設置有散熱風扇。

在本實用新型一個較佳實施例中，所述外殼的另一側設置有USB接口、VGA接口、電源輸入和I/O接口、壓縮空氣輸入快速接頭以及RS232通訊接口。

在本實用新型一個較佳實施例中，所述R軸包括R軸中空旋轉機構和R軸旋轉軸承座。

在本實用新型一個較佳實施例中，所述圖像識別機構包括CCD工業相機和鏡頭。

本實用新型的有益效果是：本實用的晶元硅片自動視覺尋邊機，可以有效解決晶片的快速精確尋邊定位需求，同時在減化整機結構方面有明顯的改進，設備運行速度和噪音方面性能優良，為人們的使用帶來極大的便利。

附圖說明