[實用新型]事故排風凈化處理裝置及系統

有效

• 申請號: 202320092651.2
• 申請日: 2023-01-31
• 公開（公告）號: CN219481979U
• 公開（公告）日: 2023-08-08
• 發明（設計）人: 戴恩平;喬南利;殷梓卿;李萌;喻正保;劉莉
• 申請（專利權）人: 格林斯達（北京）環保科技股份有限公司;北方集成電路技術創新中心（北京）有限公司
• 主分類號: B01D46/12
• 分類號: B01D46/12;B01D46/64;B01D46/00;B01D53/04;B01D53/78;B01D53/40;B01D53/42;B08B15/00;A62D3/36
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 謝志超

本實用新型提供一種事故排風凈化處理裝置及系統，事故排風凈化處理裝置包括：凈化處理箱、過濾模塊及吸附組件，凈化處理箱具有腔體，且凈化處理箱相對的兩端具有進氣口和出氣口，進氣口用于與廢氣連通；過濾模塊靠近進氣口設于所述腔體內，吸附組件設于過濾模塊與出氣口之間，吸附組件包括第一吸附模塊、第二吸附模塊、第三吸附模塊以及第四吸附模塊中的至少兩個；第一吸附模塊用于吸附有毒廢氣；第二吸附模塊用于吸附低沸點的有機廢氣；第三吸附模塊用于吸附酸性廢氣，第四吸附模塊用于吸附堿性廢氣。本實用新型將多組分多性質廢氣處理集成一套事故排風凈化處理裝置，進行集中處理，去除效率高，節能環保，同時也減少工程量和占地面積，成本低。

技術領域

本實用新型涉及廢氣處理技術領域，尤其涉及一種事故排風凈化處理裝置及系統。

背景技術

在半導體制程工序中會使用到大量的特殊氣體，由于操作事故、設備故障，或氣體揮發泄露，會突然產生大量有毒、易燃、易爆的危險氣體。在廠務廢氣處理區，為了防止對工作人員造成傷害和防止事故進一步擴大，會要求設有事故排風處理系統。參照GB?51401-2019《電子工業廢氣處理工程設計標準》對有毒有害的事故排風系統宜采用稀釋的方式達標排放，但是近年來對廢氣排放的要求越來越嚴，稀釋處理逐漸淘汰，應采用吸附、洗滌、焚燒、冷卻等處理方式。

由于事故排氣廢氣種類多樣，涵蓋酸性氣體、堿性氣體、有毒氣體、腐蝕氣體、可燃氣體等。針對廢氣的物化性質、濃度等參數采用不同的方法，比如：對于砷烷、磷烷等劇毒氣體，采用水洗或干式吸附處理；對于Cl₂、HF等酸性氣體，采用水洗或堿洗處理；對于SiH₄、SiH₂Cl₂等可燃性氣體，采用燃燒處理。

事故排風常用的處理方法是將不同廢氣進行分類收集，排入特定的處理系統中，分開收集分開處理的工藝，效率低，且對多組分廢氣來說投資成本相對很高。

實用新型內容

本實用新型提供一種事故排風凈化處理裝置及系統，用以解決現有技術中廢氣處理裝置將不同廢氣進行分類收集，排入特定的處理系統，采用分開收集分開處理的工藝，效率低，且成本高的問題。

本實用新型提供一種事故排風凈化處理裝置，包括：凈化處理箱、過濾模塊及吸附組件，所述凈化處理箱具有腔體，且所述凈化處理箱相對的兩端具有進氣口和出氣口，所述進氣口用于與廢氣連通；所述過濾模塊靠近所述進氣口設于所述腔體內，所述吸附組件設于所述過濾模塊與所述出氣口之間，所述吸附組件包括第一吸附模塊、第二吸附模塊、第三吸附模塊以及第四吸附模塊中的至少兩個；其中，所述第一吸附模塊用于吸附有毒廢氣；所述第二吸附模塊用于吸附低沸點的有機廢氣；所述第三吸附模塊用于吸附酸性廢氣，所述第四吸附模塊用于吸附堿性廢氣。

根據本實用新型提供的一種事故排風凈化處理裝置，所述凈化處理箱的頂部設有多個安裝口，所述第一吸附模塊、所述第二吸附模塊、所述第三吸附模塊以及所述第四吸附模塊中的至少兩個通過對應的所述安裝口設于所述腔體內。

根據本實用新型提供的一種事故排風凈化處理裝置，所述事故排風凈化處理裝置還包括密封件，所述第一吸附模塊與所述凈化處理箱的內壁面之間、所述第二吸附模塊與所述凈化處理箱的內壁面之間、所述第三吸附模塊與所述凈化處理箱的內壁面之間以及所述第四吸附模塊與所述凈化處理箱的內壁面之間均設有密封件。

根據本實用新型提供的一種事故排風凈化處理裝置，所述事故排風凈化處理裝置還包括壓力表，所述過濾模塊與所述吸附組件之間、相鄰兩個吸附模塊之間以及所述吸附組件與所述出氣口之間均設有壓力表。

根據本實用新型提供的一種事故排風凈化處理裝置，所述第一吸附模塊的頂部設有第一氮氣吹掃口，所述第二吸附模塊的頂部設有第二氮氣吹掃口，所述第三吸附模塊的頂部設有第三氮氣吹掃口，所述第四吸附模塊設有第四氮氣吹掃口，所述第一氮氣吹掃口、所述第二氮氣吹掃口、所述第三氮氣吹掃口以及所述第四氮氣吹掃口均用于與氮氣連通。