[發(fā)明專利]一種溫度補(bǔ)償型聲表面波諧振器及其制備方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202310960840.1
• 申請(qǐng)日: 2023-08-02
• 公開（公告）號(hào): CN116667808A
• 公開（公告）日: 2023-08-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王博;鄒潔;唐供賓
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳新聲半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): H03H9/02
• 分類號(hào): H03H9/02
• 代理公司: 北京高沃律師事務(wù)所 11569
• 代理人: 劉奇

1.一種溫度補(bǔ)償型聲表面波諧振器，其特征在于，包括依次層疊設(shè)置的襯底層、叉指電極金屬層、第一溫度補(bǔ)償層、懸浮金屬層和第二溫度補(bǔ)償層，所述懸浮金屬層的寬度為所述溫度補(bǔ)償型聲表面波諧振器的波長的0.6~1倍。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫度補(bǔ)償型聲表面波諧振器，其特征在于，所述懸浮金屬層為單層懸浮金屬層或雙層懸浮金屬層，所述雙層懸浮金屬層包括層疊設(shè)置的第一懸浮金屬層和第二懸浮金屬層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的溫度補(bǔ)償型聲表面波諧振器，其特征在于，所述懸浮金屬層的材料包括銅、鉑、鉭和鎢中的一種或多種。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的溫度補(bǔ)償型聲表面波諧振器，其特征在于，所述單層懸浮金屬層位于叉指電極金屬層的指條末端的垂直上方。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的溫度補(bǔ)償型聲表面波諧振器，其特征在于，相鄰所述指條末端的垂直上方的單層懸浮金屬層由金屬連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的溫度補(bǔ)償型聲表面波諧振器，其特征在于，所述單層懸浮金屬層位于叉指電極金屬層的指條末端和前端的垂直上方，且相鄰指條的垂直上方的單層懸浮金屬層不接觸。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的溫度補(bǔ)償型聲表面波諧振器，其特征在于，所述雙層懸浮金屬層位于叉指電極金屬層的指條末端和前端的垂直上方，且相鄰指條的垂直上方的雙層懸浮金屬層相接觸。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫度補(bǔ)償型聲表面波諧振器，其特征在于，所述襯底層的材質(zhì)為鈮酸鋰。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的溫度補(bǔ)償型聲表面波諧振器，其特征在于，所述鈮酸鋰的切角為128度。

10.一種如權(quán)利要求1~9任一項(xiàng)所述的溫度補(bǔ)償型聲表面波諧振器的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

在襯底層表面采用lift-off工藝生長叉指電極金屬層，在所述叉指電極金屬層上濺射生長第一溫度補(bǔ)償層，在所述第一溫度補(bǔ)償層上采用lift-off工藝形成懸浮金屬層，在所述懸浮金屬層上沉積第二溫度補(bǔ)償層，得到所述溫度補(bǔ)償型聲表面波諧振器。