[發明專利]一種裸芯片振動檢測設備

有效

• 申請號: 202310912095.3
• 申請日: 2023-07-25
• 公開（公告）號: CN116625621B
• 公開（公告）日: 2023-09-26
• 發明（設計）人: 孫輝;巫鵬飛
• 申請（專利權）人: 合肥沛頓存儲科技有限公司
• 主分類號: G01M7/06
• 分類號: G01M7/06;G01M7/02;G01M7/08
• 代理公司: 合肥集知匠心知識產權代理事務所(普通合伙) 34173
• 代理人: 張濤

本發明涉及裸芯片振動檢測技術領域，具體提出了一種裸芯片振動檢測設備，包括：兩個固定架、振動支撐機構、承接固定機構與振動檢測驅動機構。本發明通過驅動軸、旋轉盤與承接固定機構之間的配合，實現對基板固定方向的間歇調節，從而全面模擬出基板上裸芯片在實際使用過程中的安裝角度，并且在基板間歇旋轉的過程中，振動檢測驅動機構與振動支撐機構配合，對基板上的裸芯片進行多角度振動沖擊檢測，使得基板所受到的振動沖擊力的全面性提高，全面地模擬出芯片在實際使用中會面臨的各個方向的振動，提高了芯片性能檢測的全面性，保證了檢測結果的準確度。

技術領域

本發明涉及裸芯片振動檢測技術領域，具體提出了一種裸芯片振動檢測設備。

背景技術

裸芯片是指半導體元器件制造完成、封裝之前的產品形式，通常以大圓片形式或單顆芯片的形式存在，封裝后成為半導體元件、集成電路或更復雜電路（混合電路）的組成部分；而半導體元件在使用或者運輸過程中容易受到振動，導致半導體元件基板上的芯片或者其他電子組件發生脫落，造成半導體元件無法正常工作的問題，因此需要對基板上的芯片進行振動檢測。

但是在芯片振動檢測的過程中，僅通過水平/垂直方向的沖擊力對基板進行振動檢測，難以完全模擬實際使用中的各種振動情況，如來自不同方向的機械沖擊、振動或運輸過程中的顛簸等；因此為了全面評估芯片的可靠性和性能，本發明提供了一種裸芯片振動檢測設備，實現對基板放置角度的調整以及從多個方向對基板進行振動沖擊檢測。

發明內容

鑒于上述問題，本申請實施例提供一種裸芯片振動檢測設備，以解決相關技術中僅通過基板的水平/垂直安裝或者僅通過水平/垂直方向的沖擊力對基板進行振動檢測，難以完全模擬實際使用中的各種振動情況的技術問題。

為了實現上述目的，本申請實施例提供如下技術方案：一種裸芯片振動檢測設備，包括：兩個固定架，其中一個固定架上通過驅動軸轉動安裝有旋轉盤，另一個固定架上固定連接有固定筒，固定筒遠離固定架的一端與旋轉盤轉動連接，固定筒上套設有另一個旋轉盤，兩個旋轉盤均為六邊形結構，旋轉盤的六個側壁上均安裝有固定盒，沿固定筒軸向相對的兩個固定盒之間通過連接桿相連接，且兩個固定盒之間通過振動支撐機構安裝有承接板，承接板上安裝有對基板進行承接與固定的承接固定機構。

所述固定筒上安裝有振動檢測驅動機構，振動檢測驅動機構包括滑動連接在固定筒上的多個移動桿，移動桿沿固定筒周向均勻排布，且沿固定筒軸向交錯布置，固定筒內安裝有驅動移動桿滑動的驅動組，連接在固定筒頂部的移動桿以及沿周向方向與其相鄰的其中一個移動桿上均通過連接座安裝有頂針，固定筒上安裝有兩組旋轉組，旋轉組包括兩個支撐桿以及兩個支撐桿之間通過扭簧桿轉動連接的傾斜排布的旋轉板，旋轉板位于頂針上方，其中一個扭簧桿的軸線與固定筒軸線平行排布，另一個扭簧桿的軸線與固定筒軸線垂直排布，承接板靠近固定筒的端面安裝有沿其寬度方向排布的兩個固定推板，兩個固定推板沿承接板長度方向交錯排布，除安裝有頂針的移動桿之外，其余移動桿上均安裝有頂推板，多個頂推板與承接板的接觸位置在承接板寬度方向上錯開排布。

驅動軸通過旋轉盤帶動基板進行間歇轉動，基板間歇停止時振動檢測驅動機構對基板進行振動檢測，基板在旋轉盤與振動檢測驅動機構的配合作用下進行多個方向的沖擊振動檢測。

在一種可能實施的方式中，所述驅動組包括滑動連接在固定筒內的滑移柱，滑移柱與固定筒內壁之間通過連接架滑動連接，滑移柱的側壁安裝有沿其周向均勻排布的弧形座，弧形座沿滑移柱軸向交錯排布且與移動桿一一對應，移動桿的側壁安裝有耳座，耳座與固定筒內壁之間通過復位彈簧相連接。

在一種可能實施的方式中，所述振動支撐機構包括開設在固定盒內壁遠離旋轉盤端面的圓柱凹槽，圓柱凹槽的截面為十字型結構，圓柱凹槽的大直徑槽內滑動連接有限位盤，承接板上安裝有沿其長度方向對稱布置的固定柱，固定柱貫穿圓柱凹槽并滑動貫穿限位盤，固定盒內壁靠近旋轉盤的端面通過均勻排布的支撐彈簧桿安裝有支撐盤，固定盒內壁除上下兩個端面之外，其余內壁均通過抵推彈簧桿安裝有抵板，抵板與支撐盤均與承接板側壁接觸。