[發(fā)明專利]一種直通密封型真空角閥及其組裝方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202310832017.2
• 申請日: 2023-07-07
• 公開（公告）號(hào): CN116592146A
• 公開（公告）日: 2023-08-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱永超;胡能;劉陽
• 申請（專利權(quán)）人: 長沙華實(shí)半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): F16K1/36
• 分類號(hào): F16K1/36;F16K1/32;F16K27/02;F16K37/00;F16K41/06
• 代理公司: 湖南曉德專利代理事務(wù)所(普通合伙) 43281
• 代理人: 王興

一種直通密封型真空角閥，屬于半導(dǎo)體真空閥門技術(shù)領(lǐng)域，包括氣缸和閥體，氣缸內(nèi)設(shè)置有用于啟閉閥體內(nèi)腔的執(zhí)行機(jī)構(gòu)組件，所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)組件包括活塞、閥桿、閥門和直通密封罩，直通密封罩設(shè)置氣缸底部，與氣缸壁之間組合形成腔體體積不變的密封腔；氣缸上設(shè)有通氣孔，氣缸上設(shè)有第一導(dǎo)向孔，用于閥桿穿過氣缸與活塞連接；直通密封罩上設(shè)有第二導(dǎo)向孔，用于閥桿穿過直通密封罩與閥門連接；第一導(dǎo)向孔與第二導(dǎo)向孔內(nèi)設(shè)有密封圈；由于閥桿的兩端分別穿過第一導(dǎo)向孔與第二導(dǎo)向孔，因此在進(jìn)行閥門開合時(shí)，直通型密封罩內(nèi)腔容積不變，可以取消現(xiàn)有常用結(jié)構(gòu)中的排氣通道，可以避免外界的空氣帶入雜質(zhì)，影響閥體的使用壽命。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體真空閥門技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種直通密封型真空角閥及其組裝方法。

背景技術(shù)

“真空角閥”的運(yùn)用中，起到對(duì)應(yīng)管道中介質(zhì)流動(dòng)開關(guān)的作用，須防止管道中介質(zhì)與管道外部大氣互相泄漏（如：管道內(nèi)化學(xué)介質(zhì)外泄污染環(huán)境、外部大體進(jìn)入管道內(nèi)破環(huán)管道原有介質(zhì)成分等），同時(shí)也能保護(hù)執(zhí)行機(jī)構(gòu)內(nèi)部部件（如：閥桿、彈簧等），防止介質(zhì)對(duì)其造成腐蝕等。即確保管道內(nèi)介質(zhì)與外部環(huán)境及閥門內(nèi)部執(zhí)行機(jī)構(gòu)隔絕開來。為實(shí)現(xiàn)這一目的，“半導(dǎo)體真空角閥”常用的密封類型可分為：波紋管密封型和饋通密封型。

其次當(dāng)“真空角閥”運(yùn)用到較為惡劣的外部環(huán)境中時(shí)（如：環(huán)境中含有雜質(zhì)、粉塵顆粒較多），需防止外部外界雜質(zhì)和空氣等進(jìn)入閥內(nèi)，隨著閥門的動(dòng)作，這些外部的物質(zhì)可能吸入到閥門內(nèi)部執(zhí)行機(jī)構(gòu)，容易造成執(zhí)行機(jī)構(gòu)內(nèi)部污染縮短使用壽命甚至直接抱死。而常用波紋管密封型和饋通密封型當(dāng)閥門動(dòng)作時(shí)，其對(duì)應(yīng)的內(nèi)腔容積會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)變化，因此一般會(huì)有一條排氣的通道與外部環(huán)境直接連通。這樣，當(dāng)閥門運(yùn)動(dòng)時(shí)由于內(nèi)腔容積的變化將容易通過排氣通道吸入外部環(huán)境的物質(zhì)到閥門內(nèi)部執(zhí)行結(jié)構(gòu)，從而對(duì)其造成污染。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)以上問題，本發(fā)明提供一種直通密封型真空角閥及其組裝方法，由于閥桿的兩端分別穿過第一導(dǎo)向孔與第二導(dǎo)向孔，因此在進(jìn)行閥門開合時(shí)，直通型密封罩內(nèi)腔容積不變，可以取消現(xiàn)有常用結(jié)構(gòu)中的排氣通道，可以避免外界的空氣帶入雜質(zhì)，影響閥體的使用壽命。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：

一種直通密封型真空角閥，包括氣缸和閥體，氣缸內(nèi)設(shè)置有用于啟閉閥體內(nèi)腔的執(zhí)行機(jī)構(gòu)組件，所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)組件包括活塞、閥桿、閥門和直通密封罩，直通密封罩設(shè)置氣缸底部，與氣缸壁之間組合形成腔體體積不變的密封腔；

氣缸上設(shè)有通氣孔，通過通氣孔向氣缸內(nèi)注入介質(zhì)驅(qū)動(dòng)活塞滑動(dòng)；

活塞滑動(dòng)配裝于氣缸內(nèi)，氣缸上設(shè)有第一導(dǎo)向孔，用于閥桿穿過氣缸與活塞連接；

閥門與閥體內(nèi)腔的密封面相吻配，直通密封罩上設(shè)有第二導(dǎo)向孔，用于閥桿穿過直通密封罩與閥門連接；

第一導(dǎo)向孔與第二導(dǎo)向孔內(nèi)設(shè)有密封圈。

作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，還包括閥蓋，閥蓋上設(shè)置有用于對(duì)活塞位移進(jìn)行限位的開度限位器組件，所述開度限位器組件包括限位旋鈕、限位螺桿與限位螺母；

閥蓋上設(shè)有圓孔，限位螺桿滑動(dòng)設(shè)在圓孔內(nèi)，限位螺桿上下兩端分別設(shè)有限位旋鈕與限位螺母，所述限位螺母設(shè)于閥蓋下的導(dǎo)向槽內(nèi)，通過限位旋鈕與限位螺桿帶動(dòng)限位螺母上下運(yùn)動(dòng)，調(diào)節(jié)活塞的運(yùn)動(dòng)行程。

作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述限位螺桿上設(shè)有連接臂，連接臂上設(shè)有導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌內(nèi)設(shè)有位置指示器，導(dǎo)軌滑動(dòng)設(shè)于氣缸側(cè)方的滑槽內(nèi)。

作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，直通密封罩由耐腐蝕性材質(zhì)制成，直通密封罩的壁厚大于或等于2mm。

作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，閥桿包括上閥桿與下閥桿，上閥桿下設(shè)有安裝凸臺(tái)，上閥桿穿過第一導(dǎo)向孔與活塞連接，安裝凸臺(tái)與氣缸壁之間設(shè)有彈簧；

下閥桿上端與上閥桿相連接，下閥桿下端穿過第二導(dǎo)向孔與閥門相連接。

閥桿穿過第一導(dǎo)向孔與第二導(dǎo)向孔兩端分別與活塞或閥門連接。