[發(fā)明專利]一種用于波片晶片的自動換面倒邊加工機及加工方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202310795113.4
• 申請日: 2023-06-30
• 公開（公告）號: CN116638405A
• 公開（公告）日: 2023-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉盛漲;王曉剛
• 申請（專利權(quán)）人: 山東博達光電有限公司
• 主分類號: B24B9/06
• 分類號: B24B9/06;B24B27/00;B24B41/06;B24B41/04;B24B41/00;B24B47/12;B24B47/20;B24B49/12;B24B1/00
• 代理公司: 杭州中成專利事務(wù)所有限公司 33212
• 代理人: 金祺

1.一種用于波片晶片的自動換面倒邊加工機，用于待加工波片(24)的倒邊加工，其特征在于：包括直線滑臺模組和波片夾持總成，直線滑臺模組包括滑臺、滑軌(1)和導(dǎo)軌驅(qū)動電機(11)，波片夾持總成安裝固定在直線滑臺模組的滑臺上；圓周倒邊總成(3)、平邊倒邊總成(4)、卸載器總成(5)和裝載器總成(6)沿滑軌(1)依次并排設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于波片晶片的自動換面倒邊加工機，其特征在于：

所述波片夾持總成包括倒邊傳動軸(22)，倒邊傳動軸(22)為中空，左端通過傳動副與倒邊夾持驅(qū)動電機(21)的輸出軸傳動連接，右側(cè)設(shè)有外螺紋；倒邊夾持器(23)左部的小外徑部分插入倒邊傳動軸(22)右側(cè)，且倒邊夾持器(23)的左端通過氣管、第一電磁換向閥與真空泵相連接；密封墊片(25)和倒邊夾持器壓蓋(26)套在倒邊夾持器(23)右部的大外徑部分上，且倒邊夾持器壓蓋(26)與和倒邊傳動軸(22)右側(cè)之間為壓蓋螺紋連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于波片晶片的自動換面倒邊加工機，其特征在于：

所述圓周倒邊總成(3)包括第一手動十字絲桿滑臺；圓周倒邊驅(qū)動電機(31)設(shè)于第一手動十字絲桿滑臺上，圓周倒邊驅(qū)動電機(31)的輸出軸與金剛石錐形圓周倒邊砂輪(32)固定連接；第一手動十字絲桿滑臺包括圓周倒邊砂輪高度調(diào)整輪(33)和圓周倒邊砂輪進刀調(diào)整輪(34)，用以調(diào)節(jié)金剛石錐形圓周倒邊砂輪(32)在水平方向和垂直方向的位置；在金剛石錐形圓周倒邊砂輪(32)上方，正對金剛石錐形圓周倒邊砂輪(32)設(shè)有圓周倒邊冷卻液管(35)，在圓周倒邊電機(31)的殼體上正對滑軌(1)設(shè)有圓周倒邊光電傳感器(36)；

所述平邊倒邊總成(4)包括平邊倒邊驅(qū)動電機(41)，平邊倒邊驅(qū)動電機(41)設(shè)于第二手動十字絲桿滑臺上，平邊倒邊驅(qū)動電機(41)的輸出軸與金剛石錐形平邊倒邊砂輪(42)固定連接；第二手動十字絲桿滑臺包括平邊倒邊砂輪高度調(diào)整輪(43)和平邊倒邊砂輪進刀調(diào)整輪(44)，分別調(diào)節(jié)金剛石錐形平邊倒邊砂輪(42)在水平和垂直方向上的位置；金剛石錐形平邊倒邊砂輪(42)的上方設(shè)有平邊倒邊冷卻液管(45)，平邊倒邊冷卻液管(45)正對金剛石錐形平邊倒邊砂輪(42)，在平邊倒邊電機(41)的殼體上面對滑軌(1)設(shè)有平邊倒邊光電傳感器(46)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于波片晶片的自動換面倒邊加工機，其特征在于：

所述卸載器總成(5)包括波片卸載夾持器(51)，波片卸載夾持器(51)為管形，一端與氣管密封連接后再通過第二電磁換向閥(52)與真空泵相連接；波片卸載夾持器(51)插入卸載器伸縮板(57)的安裝孔中，通過第一鎖緊螺釘(56)鎖緊固定；卸載器伸縮板(57)與卸載雙軸氣缸(55)的活塞桿固定連接，卸載雙軸氣缸(55)設(shè)于卸載旋轉(zhuǎn)氣缸(54)上并由卸載旋轉(zhuǎn)氣缸(54)帶著在水平面上旋轉(zhuǎn)；

所述卸載器總成(6)包括波片裝載夾持器(61)，波片裝載夾持器(61)為管形，一端與氣管密封連接后再通過第三電磁換向閥(62)與真空泵相連接；波片裝載夾持器(61)插入裝載器伸縮板(67)的安裝孔中，通過第二鎖緊螺釘(66)鎖緊固定；裝載器伸縮板(67)與裝載雙軸氣缸(65)的活塞桿固定連接；裝載雙軸氣缸(65)設(shè)于裝載旋轉(zhuǎn)氣缸(64)上并由裝載旋轉(zhuǎn)氣缸(64)帶著在水平面上旋轉(zhuǎn)；

所述卸載器伸縮板(57)上設(shè)有卸載光電傳感器(53)，裝載器伸縮板(67)上設(shè)有裝載光電傳感器(63)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于波片晶片的自動換面倒邊加工機，其特征在于：

所述卸載旋轉(zhuǎn)氣缸(54)、卸載雙軸氣缸(55)、裝載旋轉(zhuǎn)氣缸(64)和裝載雙軸氣缸(65)分別通過電磁真空閥與真空泵相連接，且各個電磁真空閥均與可編程邏輯控制器(81)信號相連；

所述導(dǎo)軌驅(qū)動電機(11)、倒邊夾持驅(qū)動電機(21)、第一電磁換向閥、圓周倒邊驅(qū)動電機(31)、圓周倒邊光電傳感器(36)、平邊倒邊驅(qū)動電機(41)、平邊倒邊光電傳感器(46)、第二電磁換向閥(52)、卸載光電傳感器(53)、第三電磁換向閥(62)和裝載光電傳感器(63)均與可編程邏輯控制器(81)信號相連。