[發明專利]光刻膠清洗裝置及光刻膠剝離設備

在審

• 申請號: 202310583205.6
• 申請日: 2023-05-22
• 公開（公告）號: CN116594270A
• 公開（公告）日: 2023-08-15
• 發明（設計）人: 姜秀強;謝超;邱雙;羅旋;吳丹;王勇
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方顯示科技有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42;B08B5/02;G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 北京律智知識產權代理有限公司 11438
• 代理人: 王輝

本公開提供了一種光刻膠清洗裝置及光刻膠剝離設備，屬于顯示技術領域。該光刻膠清洗裝置，包括：清洗部；傳輸管道，包括第一管道、第二管道和第三管道，所述第一管道和所述第二管道的輸出端與所述第三管道輸入端連通，所述第三管道的輸出端與所述清洗部連接；供應室，包括第一供應室和第二供應室，所述第一供應室用于裝載清洗液，所述第一管道的輸入端與所述第一供應室連通，所述第二供應室用于裝載氣體，所述第二管道的輸入端與所述第二供應室連通。本公開有助于避免光刻膠清洗裝置的的清洗部堵塞。

技術領域

本公開涉及顯示技術領域，尤其涉及一種光刻膠清洗裝置及光刻膠剝離設備。

背景技術

在顯示面板制造工藝的濕法剝離過程中，剝離設備通常包括噴灑剝離液的剝離裝置以及清洗光刻膠和剝離液反應液的清洗裝置。剝離裝置將剝離液噴灑至顯示面板，使得顯示面板上的光刻膠與剝離液反應，隨后該顯示面板會經過清洗裝置進行清洗。

現有技術中，當清洗裝置對顯示面板上的剝離液和光刻膠的反應液進行清洗時，容易造成清洗裝置的清洗部堵塞。

所述背景技術部分公開的上述信息僅用于加強對本公開的背景的理解，因此它可以包括不構成對本領域普通技術人員已知的現有技術的信息。

發明內容

本公開的目的在于提供一種光刻膠清洗裝置及光刻膠剝離設備，有助于避免光刻膠清洗裝置的的清洗部堵塞。

為實現上述發明目的，本公開采用如下技術方案：

根據本公開的第一個方面，提供一種光刻膠清洗裝置，包括：

清洗部；

傳輸管道，包括第一管道、第二管道和第三管道，所述第一管道和所述第二管道的輸出端與所述第三管道輸入端連通，所述第三管道的輸出端與所述清洗部連接；

供應室，包括第一供應室和第二供應室，所述第一供應室用于裝載清洗液，所述第一管道的輸入端與所述第一供應室連通，所述第二供應室用于裝載氣體，所述第二管道的輸入端與所述第二供應室連通。

在本公開的一種示例性實施例中，所述第三管道具有至少三個輸出端，所述第三管道的至少三個輸出端分別與所述清洗部的不同位置連接。

在本公開的一種示例性實施例中，所述光刻膠清洗裝置還包括：

第一控制閥，連接于所述第一管道；

第二控制閥，連接于所述第二管道。

在本公開的一種示例性實施例中，所述光刻膠清洗裝置還包括：

第一控制系統，用于控制所述第一控制閥和所述第二控制閥的開啟或關閉，并用于控制所述第一控制閥和所述第二控制閥在開啟狀態下的開啟量大小。

在本公開的一種示例性實施例中，所述清洗部包括：

清洗部本體，內部為中空結構，所述中空結構形成流通腔；

流通通道，連接所述清洗部本體內部的所述流通腔與外界；

其中，所述第三管道的輸出端與所述清洗部內部的所述流通腔連通。

在本公開的一種示例性實施例中，所述第三管道的至少三個輸出端分別從不同位置處與所述清洗部本體內部的所述流通腔連通。

在本公開的一種示例性實施例中，所述光刻膠清洗裝置還包括：

第一過濾器，連接于所述第一管道；

第二過濾器，連接于所述第二管道。

根據本公開第二個方面，提供一種光刻膠剝離設備，包括：

多個剝離室；