[發明專利]一種用于晶錠生長過程中的長晶爐除塵裝置

在審

• 申請號: 202310542014.5
• 申請日: 2023-05-15
• 公開（公告）號: CN116536774A
• 公開（公告）日: 2023-08-04
• 發明（設計）人: 奚衍罡
• 申請（專利權）人: 南通罡豐科技有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;C30B29/36;F27D25/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明屬于長晶爐技術領域，尤其是一種用于晶錠生長過程中的長晶爐除塵裝置，針對長晶爐內壁鈣質雜質有很強的附著性，很難將其去除的問題，現提出以下方案，包括水平設置的固定頂環，所述固定頂環的圓周內壁通過鉸接固定有四個圓周陣列分布的固定夾爪，所述固定頂環的底部螺紋套接有圓周陣列分布的八組緊固機構，且每組緊固機構包括兩個鎖緊螺栓，所述固定頂環的圓周外壁中間位置開設有外環槽。本發明通過設置固定中軸為固定不動，通過清理刷軸筒的轉動過程使得固定軸套圓周位移，由于嚙合的轉軸端齒輪與中軸固定齒輪，使得第二清理柱實現轉動，對長晶爐內壁頑固的鈣物質雜質進行攪落的過程，可以提高清理的效果。

技術領域

本發明涉及長晶爐技術領域，尤其涉及一種用于晶錠生長過程中的長晶爐除塵裝置。

背景技術

碳化硅是制作碳化硅晶片的原料，并且碳化硅晶片是LED固體照明和高頻率器件等半導體領域中使用的芯片原料，在科技及軍工領域中都占據著很重要的角色，碳化硅晶片的形成是通過生長過程實現的，主要通過長晶爐內部對原料的熔煉，隨后通過升降的基座在熔煉原料中基于長晶的環境，隨著上升碳化硅會逐漸生長成碳化硅晶柱，通過后續的切割形成碳化硅晶片。

現有的碳化硅長晶爐存在以下問題：由于碳化硅的原材料是砂子以及木屑等原材料，砂子內含有大量的鈣質等礦物質，木屑在燃燒過程中產生大量炭黑，因此在長晶爐長時間使用后，內壁上會附著大量的炭黑以及帶有鈣質等固體雜質，現在的這些炭黑等雜塵的去除是通過人工的刷落后抽出，針對炭黑等物質可以很容易去除，但是針對鈣質雜質有很強的附著性，很難將其去除，而現有技術不易解決此類問題，因此，亟需用于晶錠生長過程中的長晶爐除塵裝置來解決上述問題。

發明內容

基于長晶爐內壁鈣質雜質有很強的附著性，很難將其去除的技術問題，本發明提出了一種用于晶錠生長過程中的長晶爐除塵裝置。

本發明提出的一種用于晶錠生長過程中的長晶爐除塵裝置，包括水平設置的固定頂環，所述固定頂環的圓周內壁通過鉸接固定有四個圓周陣列分布的固定夾爪，所述固定頂環的底部螺紋套接有圓周陣列分布的八組緊固機構，且每組緊固機構包括兩個鎖緊螺栓，所述固定頂環的圓周外壁中間位置開設有外環槽，所述外環槽的頂部和底部之間滑動卡接有環繞卡塊，所述環繞卡塊的外壁固定有驅動塊，所述驅動塊的一端位置套設有兩個水平設置的伸縮推桿，且兩個伸縮推桿的輸出軸之間通過螺栓固定有同一個豎直設置的固定清理箱，所述固定清理箱的底部兩側位置均套接有滑動設置的升降導桿，兩個所述升降導桿的底部固定有升降清理箱，所述固定清理箱和升降清理箱的內部均設置有清理機構。

優選地，所述環繞卡塊與外環槽之間設置有環形驅動機構，所述環形驅動機構包括驅動塊底部內壁開設的電機艙室和環繞卡塊底部開設的驅動齒輪腔室，所述驅動齒輪腔室的底部貫穿設置，所述驅動塊位于電機艙室的內部通過螺栓固定有驅動電機，所述驅動電機的輸出軸貫穿延伸至驅動齒輪腔室的內部，所述驅動電機的輸出軸位于驅動齒輪腔室的內部位置套接有驅動齒輪，所述驅動齒輪的圓周底部凸出環繞卡塊的底部水平面。

優選地，所述環形驅動機構還包括外環槽底部位置焊接固定的環槽齒條，所述驅動齒輪的圓周外壁底部與環槽齒條的頂部相嚙合設置。

優選地，所述固定清理箱和升降清理箱的端位置均設置有護罩機構，所述護罩機構包括升降清理箱一端內壁開設的伸縮架框槽，所述伸縮架框槽的內壁滑動套設有伸縮架，所述伸縮架的一端四周位置固定有密閉護罩，所述升降清理箱的另一端內壁位于伸縮架框槽內部四角的位置嵌合固定有伸縮電機，且伸縮電機的輸出軸凸出至伸縮架框槽的內部，所述伸縮電機的輸出軸均套接固定有推進絲桿，所述推進絲桿與伸縮架另一端內壁之間相螺紋套接設置。

優選地，所述清理機構包括固定清理箱一側頂部套接的除塵頂管，所述固定清理箱和升降清理箱的一端均設置有落塵腔室，且固定清理箱和升降清理箱的另一端內壁開設有豎直設置的吸塵內腔道，所述固定清理箱的吸塵內腔道的頂部與除塵頂管相套接，所述升降清理箱的吸塵內腔道的頂部套接有豎直設置的伸縮吸塵管，且伸縮吸塵管的頂部與固定清理箱內開設的吸塵內腔道的底部相套接設置。