[發(fā)明專利]一種基于層疊式亞波長光柵的高透射連續(xù)可調(diào)諧濾光片

在審

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• 申請日: 2023-05-11
• 公開（公告）號: CN116520470A
• 公開（公告）日: 2023-08-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄭磊;張鈺;逯鑫淼;高敏;張朝暉;袁友芬;向廣明;熊磊
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州電子科技大學(xué)
• 主分類號: G02B5/20
• 分類號: G02B5/20;G02B5/00
• 代理公司: 杭州君度專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33240
• 代理人: 楊舟濤

1.一種基于層疊式亞波長光柵的高透射連續(xù)可調(diào)諧濾光片，依次層疊的基底層、中間層和周期性的光柵陣列，其特征在于：所述中間層的折射率為1.4～1.5；所述周期性光柵陣列包括多個周期性排列的直條形層疊式光柵，光柵周期P為160～400nm；層疊式光柵的線寬W為150～180nm，自下而上分別為底部Ag層、BK7層、MgF₂層和頂部Ag層，MgF₂層的厚度H_m與BK7層的厚度H_b滿足H_m/H_b＝0.55，底部Ag層和頂部Ag層的厚度相等。

2.如權(quán)利要求1所述一種基于層疊式亞波長光柵的高透射連續(xù)可調(diào)諧濾光片，其特征在于：所述中間層的材料為PDMS，厚度為100nm。

3.如權(quán)利要求1或2所述一種基于層疊式亞波長光柵的高透射連續(xù)可調(diào)諧濾光片，其特征在于：所述基底層為BK7玻璃材料，厚度大于中間層和周期性的光柵陣列的厚度。

4.如權(quán)利要求3所述一種基于層疊式亞波長光柵的高透射連續(xù)可調(diào)諧濾光片，其特征在于：所述基底層的厚度不小于200um。

5.如權(quán)利要求1所述一種基于層疊式亞波長光柵的高透射連續(xù)可調(diào)諧濾光片，其特征在于：通過調(diào)整光柵周期P或厚度調(diào)諧所述濾光片的目標(biāo)可見光波長。

6.如權(quán)利要求1或5所述一種基于層疊式亞波長光柵的高透射連續(xù)可調(diào)諧濾光片，其特征在于：增大光柵周期，使目標(biāo)可見光波長發(fā)生藍移；減小光柵周期，使目標(biāo)可見光波長發(fā)生紅移。

7.如權(quán)利要求1或5所述一種基于層疊式亞波長光柵的高透射連續(xù)可調(diào)諧濾光片，其特征在于：等比例增大BK7層與MgF₂層的厚度，使目標(biāo)可見光波長紅移；等比例減小BK7與MgF₂層的厚度，使目標(biāo)可見光波長藍移。

8.如權(quán)利要求1或5所述一種基于層疊式亞波長光柵的高透射連續(xù)可調(diào)諧濾光片，其特征在于：當(dāng)目標(biāo)可見光波段為400～500nm時，設(shè)置頂部Ag與底部Ag層的厚度為40nm，MgF2層的厚度為66nm，BK7層的厚度為120nm，線寬W為150nm，周期P為160～360nm；

當(dāng)目標(biāo)可見光波段為500～600nm時，設(shè)置頂部Ag與底部Ag層的厚度為80nm，MgF2層的厚度為99nm，BK7層的厚度為180nm，線寬W為150nm，周期P為160～360nm；

當(dāng)目標(biāo)可見光波段為600～700nm時，設(shè)置頂部Ag與底部Ag層的厚度為80nm，MgF2層的厚度為143nm，BK7層的厚度為260nm，線寬W為150nm，周期P為160～360nm；

當(dāng)目標(biāo)可見光波段為700～900nm時，設(shè)置頂部Ag與底部Ag層的厚度為的厚度為80nm，MgF₂層的厚度為220nm，BK7層的厚度為400nm，線寬W為180nm，周期P為200～400nm。