[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體MES系統(tǒng)載具清洗全自動(dòng)化管理模塊

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202310527963.6
• 申請(qǐng)日: 2023-05-11
• 公開（公告）號(hào): CN116525496A
• 公開（公告）日: 2023-08-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄒濱杰;姜罡;彭果;葉宇暉;王文瑞;姜志
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海哥瑞利軟件股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 上海政濟(jì)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31479
• 代理人: 黃佳麗

1.一種半導(dǎo)體MES系統(tǒng)載具清洗全自動(dòng)化管理模塊，加載于MES系統(tǒng)上，實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體載具進(jìn)行自動(dòng)化清洗的處理，其特征在于：

包括CMS載具管理模塊、GTM搬運(yùn)模塊、AUTO自動(dòng)化接口模塊和RTD實(shí)時(shí)派工模塊；

其中，所述AUTO自動(dòng)化接口模塊，對(duì)接EAP設(shè)備自動(dòng)化系統(tǒng)，與EAP設(shè)備自動(dòng)化系統(tǒng)發(fā)生信息交互，并與其他模塊發(fā)生信息交互；

所述CMS載具管理模塊，獲取各載具的狀態(tài)數(shù)據(jù)，并根據(jù)各載具的狀態(tài)數(shù)據(jù)定義載具的狀態(tài)；

所述RTD實(shí)時(shí)派工模塊，基于cleanjob向GTM搬運(yùn)模塊發(fā)送搬運(yùn)任務(wù)；

所述RTD實(shí)時(shí)派工模塊，還實(shí)時(shí)檢測(cè)載具的狀態(tài)，根據(jù)載具的狀態(tài)，自動(dòng)化的創(chuàng)建cleanjob；

所述GTM搬運(yùn)模塊，通信連接物料控制系統(tǒng)MCS，依據(jù)搬運(yùn)任務(wù)，向物料控制系統(tǒng)MCS發(fā)送搬運(yùn)的指令；

所述物料控制系統(tǒng)MCS，根據(jù)搬運(yùn)的指令，將載具搬運(yùn)在清洗設(shè)備EQP上；

所述清洗設(shè)備EQP，清洗載具，以及報(bào)告進(jìn)展；

所述EAP設(shè)備自動(dòng)化系統(tǒng)，基于AUTO自動(dòng)化接口模塊回傳的信息，處理異常事件。

2.如權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體MES系統(tǒng)載具清洗全自動(dòng)化管理模塊，其特征在于：

所述EAP設(shè)備自動(dòng)化系統(tǒng)，將載具的進(jìn)出站情況和交換情況傳送AUTO自動(dòng)化接口模塊；

所述AUTO自動(dòng)化接口模塊，將載具的進(jìn)出站情況和交換情況傳送CMS載具管理模塊；

所述CMS載具管理模塊定義載具的狀態(tài)的具體方法如下所示：

SC-1.當(dāng)接收到載具出站信息時(shí)，定義使用次數(shù)+1；

SC-2.根據(jù)當(dāng)前使用次數(shù)，判斷使用次數(shù)是否達(dá)到次數(shù)閾值，

當(dāng)結(jié)果為“是”時(shí)，定義載具狀態(tài)為“Dirty”；

當(dāng)結(jié)果為“否”時(shí)，記錄使用次數(shù)+1，完成出站程序；

SC-3.當(dāng)接收到載具交換完成信息時(shí)，更新載具狀態(tài)；

SC-4.判斷載具是否為空載具，

當(dāng)結(jié)果為“是”時(shí)，定義載具狀態(tài)為“Dirty”，更新載具狀態(tài)；

當(dāng)結(jié)果為“否”時(shí)，更新載具狀態(tài)；

SC-5.判斷載具使用時(shí)間是否達(dá)到使用時(shí)長(zhǎng)閾值，

當(dāng)結(jié)果為“是”時(shí)，定義載具狀態(tài)為“Dirty”。

3.如權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體MES系統(tǒng)載具清洗全自動(dòng)化管理模塊，其特征在于：

所述EAP設(shè)備自動(dòng)化系統(tǒng)，與清洗設(shè)備EQP發(fā)生數(shù)據(jù)交互，將清洗設(shè)備EQP的狀態(tài)信息通過(guò)AUTO自動(dòng)化接口模塊傳送RTD實(shí)時(shí)派工模塊；

所述清洗設(shè)備EQP，當(dāng)其為空閑時(shí)，主動(dòng)向EAP設(shè)備自動(dòng)化系統(tǒng)傳送LoadReque?st請(qǐng)求；

所述EAP設(shè)備自動(dòng)化系統(tǒng)，將LoadRequest請(qǐng)求傳送RTD實(shí)時(shí)派工模塊；

所述RTD實(shí)時(shí)派工模塊，監(jiān)視清洗設(shè)備EQP的空閑情況。

4.如權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體MES系統(tǒng)載具清洗全自動(dòng)化管理模塊，其特征在于：

所述RTD實(shí)時(shí)派工模塊的運(yùn)行方式為：

SR-1.當(dāng)清洗設(shè)備EQP為空時(shí)，查詢是否存在Cleanjob，

當(dāng)結(jié)果為“是”時(shí)，向GTM搬運(yùn)模塊發(fā)送搬運(yùn)任務(wù)；

當(dāng)結(jié)果為“否”時(shí)，進(jìn)行SR-2；

SR-2.檢測(cè)載體的狀態(tài)，根據(jù)載具的狀態(tài)，查詢是否存在“Dirty”狀態(tài)的載具；當(dāng)結(jié)果為“否”時(shí)，返回SR-1；

當(dāng)結(jié)果為“是”時(shí)，進(jìn)行SR-3；

SR-3.自動(dòng)化的創(chuàng)建cleanjob,并向GTM搬運(yùn)模塊發(fā)送搬運(yùn)任務(wù)。

5.如權(quán)利要求5所述的一種半導(dǎo)體MES系統(tǒng)載具清洗全自動(dòng)化管理模塊，其特征在于：

在SR-2的步驟中，所述RTD實(shí)時(shí)派工模塊，對(duì)清洗設(shè)備物料類型與載具物料類型相匹配的載具進(jìn)行查詢；

所述RTD實(shí)時(shí)派工模塊，根據(jù)變臟的時(shí)間，對(duì)載具的Cleanjob進(jìn)行排序。