[發(fā)明專利]具有加熱盤調平功能的薄膜沉積設備

有效

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• 申請日: 2023-05-10
• 公開（公告）號: CN116240528B
• 公開（公告）日: 2023-08-08
• 發(fā)明（設計）人: 劉亞
• 申請（專利權）人: 無錫金源半導體科技有限公司
• 主分類號: C23C16/46
• 分類號: C23C16/46;C23C16/52
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 譚云

本發(fā)明涉及薄膜沉積設備技術領域，公開了具有加熱盤調平功能的薄膜沉積設備，包括：反應室、加熱盤、套筒和調平機構，反應室內設有反應腔，加熱盤底面設有連接軸，連接軸適于插入密封套內。套筒設置在反應室的底部，套筒上開設多個調節(jié)孔。調平機構包括：調節(jié)軸、調節(jié)盤和調節(jié)件，調節(jié)軸穿入貫穿孔，調節(jié)軸的連接端與加熱盤連接，調節(jié)軸的調節(jié)端設有調節(jié)盤。調節(jié)件上設有調節(jié)部，調節(jié)部用于支撐調節(jié)盤，調節(jié)件適于沿調節(jié)孔的軸向方向移動使得加熱盤調平。本發(fā)明通過移動調節(jié)件使調節(jié)件沿調節(jié)孔的軸向方向移動，帶動調節(jié)軸移動，使得傾斜的加熱盤表面調整為水平狀態(tài)，使晶圓放置在水平的加熱盤表面進行薄膜沉積，保證晶圓沉積質量。

技術領域

本發(fā)明涉及薄膜沉積設備技術領域，具體涉及具有加熱盤調平功能的薄膜沉積設備。

背景技術

薄膜沉積是晶圓加工制造中重要的一環(huán)，其通過薄膜沉積設備在晶圓表面形成薄膜。化學氣相薄膜沉積設備是其中的一種，其通過將晶圓放置在反應腔室內，將反應氣體通過氣體分配盤進入反應腔，并使用射頻裝置將反應氣體等離子化，反應腔內的加熱盤提供晶圓反應所需的溫度，使晶圓上沉積薄膜。

現(xiàn)有技術中，氣體分配盤位于晶圓的上方，從上向下對承載在加熱盤上的晶圓噴出反應氣體，若加熱盤的上表面不水平，則會導致晶圓的上表面不平整，擺放不平的晶圓在沉積過后，其表面的薄膜是不均勻的，無疑，這樣的晶圓是失敗品，因此，保證加熱盤上表面水平至關重要。

加熱盤包括圓盤以及圓盤底部的空心軸，圓盤內部預埋有發(fā)熱用的電阻絲，電阻絲從空心軸的底端引出。目前，反應腔的底部中心處設置有直徑遠大于空心軸的圓孔，空心軸的底端伸入圓孔內，在圓孔的周邊采用一組治具固定空心軸的底部，從而固定加熱盤，然而，加熱盤的規(guī)格與晶圓的規(guī)格息息相關，加熱不同的晶圓需要采用不同的加熱盤，即不同的加熱盤其形狀尺寸均不相同。因此，當采用一組治具來固定裝夾加熱盤時，一方面，各個治具在組裝并安裝加熱盤后，加熱盤的上表面水平度是固定的，當加熱盤上表面略微傾斜時，無法改變；另一方面，無法做到適應不同規(guī)格的加熱盤。加熱盤上表面調平存在難點。

發(fā)明內容

有鑒于此，本發(fā)明提供了一種具有加熱盤調平功能的薄膜沉積設備，以解決晶圓放置在傾斜的加熱盤表面進行薄膜沉積，導致晶圓薄膜沉積不均勻的問題。

本發(fā)明提供了一種具有加熱盤調平功能的薄膜沉積設備，包括：

反應室，內設有反應腔，所述反應室底部設有中心通孔，所述中心通孔中安裝有密封套；

加熱盤，底面設有連接軸，所述連接軸適于插入所述密封套內并延伸出所述密封套；

套筒，一端固設于所述反應室的底部，另一端固設有底板，所述底板上開設貫穿孔，所述底板上開設多個調節(jié)孔；

調平機構，包括調節(jié)軸、調節(jié)盤和調節(jié)件，所述調節(jié)軸穿過所述貫穿孔并與所述連接軸的底部抵接，所述調節(jié)軸位于所述底板外的一端與所述調節(jié)盤固定連接，所述調節(jié)盤上對應所述調節(jié)孔開設第一通孔；所述調節(jié)件的一端設有調節(jié)部，所述調節(jié)部支撐所述調節(jié)盤，所述調節(jié)件的一端穿過所述第一通孔設于對應的所述調節(jié)孔中，適于通過調節(jié)所述調節(jié)件沿所述調節(jié)孔的軸向方向移動使得所述加熱盤調平。

通過移動調節(jié)件使調節(jié)件沿調節(jié)孔的軸向方向移動，使得調節(jié)盤發(fā)生相應的移動微調，調節(jié)盤進一步帶動調節(jié)軸移動，通過調節(jié)軸的移動帶動加熱盤移動，使得傾斜的加熱盤表面調整為水平狀態(tài)，使晶圓放置在水平的加熱盤表面進行薄膜沉積，保證晶圓沉積質量。

在一種可選的實施方式中，所述調節(jié)件包括桿體，所述桿體與所述調節(jié)部連接，所述調節(jié)部與所述桿體連接的端面設置為球面，所述桿體上設有緊固件，所述緊固件與所述調節(jié)部球面相對的表面設有球面，所述調節(jié)盤與調節(jié)部之間設有第一球形件，所述第一球形件與所述調節(jié)部球面的接觸面為球面，所述調節(jié)盤與緊固件之間設有第二球形件，所述第二球形件與所述緊固件球面的接觸面為球面。