[發明專利]單晶爐熱場加熱器、加熱方法及單晶爐在審
| 申請號： | 202310489996.6 | 申請日： | 2023-05-04 |
| 公開（公告）號： | CN116479520A | 公開（公告）日： | 2023-07-25 |
| 發明（設計）人： | 代晴華;周剛;劉選 | 申請（專利權）人： | 三一硅能（株洲）有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/14 | 分類號： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 | 代理人： | 霍秋紅 |
| 地址： | 412000 湖南省株洲市石峰區銅塘*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 單晶爐熱場 加熱器 加熱 方法 單晶爐 | ||
1.一種單晶爐熱場加熱器，設置于坩堝(1)的外周和底部，其特征在于，包括氫能加熱組件(2)，所述氫能加熱組件(2)用于對所述坩堝(1)進行加熱。
2.根據權利要求1所述的單晶爐熱場加熱器，其特征在于，所述氫能加熱組件(2)包括：
第一輻射組件，設置于所述坩堝(1)的外周側；
第二輻射組件，設置于所述坩堝(1)的外底側；
多個氫氣直燃燃燒器(23)，每個所述氫氣直燃燃燒器(23)至少與所述第一輻射組件和所述第二輻射組件其中一者連接；且每個所述氫氣直燃燃燒器(23)上開設有第一氫氣進口(231)和第一水蒸氣排出口(232)。
3.根據權利要求2所述的單晶爐熱場加熱器，其特征在于，所述第一輻射組件為多個第一輻射管(21)，且多個所述第一輻射管(21)均勻分布于所述坩堝(1)的外周側；且每個所述第一輻射管(21)豎直設置；
所述第二輻射組件為多個第二輻射管(22)，且多個所述第二輻射管(22)均勻分布于所述坩堝(1)的外底側；且每個所述第二輻射管(22)水平設置。
4.根據權利要求2所述的單晶爐熱場加熱器，其特征在于，連接相鄰所述第二輻射管(22)的所述氫氣直燃燃燒器(23)位于所述坩堝(1)的異側。
5.根據權利要求2所述的單晶爐熱場加熱器，其特征在于，所述第一輻射組件為螺旋彎管或圓環型管；
所述第二輻射組件為螺旋彎管或圓環型管。
6.根據權利要求1所述的單晶爐熱場加熱器，其特征在于，所述氫能加熱組件(2)包括：
第一氫氣紅外加熱板(24)，設置于所述坩堝(1)的外周側；
第二氫氣紅外加熱板(25)，設置于所述坩堝(1)的底側；
且所述第一氫氣紅外加熱板(24)和所述第二氫氣紅外加熱板(25)上均設置有第二氫氣進口(251)、氧氣進口(252)、催化劑進口(253)和第二水蒸氣排出口(254)。
7.根據權利要求6所述的單晶爐熱場加熱器，其特征在于，所述第一氫氣紅外加熱板(24)具有多個，且每個所述第一氫氣紅外加熱板(24)設置為弧形，多個所述第一氫氣紅外加熱板(24)圍成的形狀與所述坩堝(1)的外壁相適配。
8.根據權利要求6所述的單晶爐熱場加熱器，其特征在于，所述第二氫氣紅外加熱板(25)為方形或圓形。
9.一種單晶爐熱場加熱方法，其特征在于，利用權利要求1-8任一項所述的單晶爐熱場加熱器，通過氫能加熱組件(2)對坩堝(1)進行加熱。
10.一種單晶爐，其特征在于，包括權利要求1-8任一項所述的單晶爐熱場加熱器。
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