[發明專利]水冷套和單晶爐

在審

• 申請號: 202310476521.3
• 申請日: 2023-04-28
• 公開（公告）號: CN116254600A
• 公開（公告）日: 2023-06-13
• 發明（設計）人: 楊文武;梁萬亮
• 申請（專利權）人: 西安奕斯偉材料科技股份有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B15/20;C30B15/00
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 吳立臣

1.一種水冷套，應用于單晶爐內，其特征在于，所述水冷套呈筒狀結構，沿著所述水冷套的周向方向，所述水冷套的側壁上設置有多個通孔，以提供使得惰性氣體吹入的氣體通道，并阻擋從單晶爐內的硅熔液揮發出的氣體上升。

2.根據權利要求1所述的水冷套，其特征在于，沿所述水冷套的軸向方向，在所述水冷套的側壁上間隔設置有至少兩圈所述通孔。

3.根據權利要求1所述的水冷套，其特征在于，所述通孔內設置有調節結構，用于調節所述氣體通道的開度和/或調節所述氣體通道的延伸方向。

4.根據權利要求3所述的水冷套，其特征在于，所述調節結構包括可轉動的設置于所述通孔處的半球形遮擋件，所述半球形遮擋件通過一傳動軸與驅動部件傳動連接，且所述傳動軸可移動的設置于所述通孔的側壁和所述半球形遮擋件的側壁之間，在所述驅動部件的驅動下，所述傳動軸沿其軸向方向移動，以帶動所述半球形遮擋件轉動。

5.根據權利要求4所述的水冷套，其特征在于，所述半球形遮擋件的外周面上設置有容納所述傳動軸的弧形凹槽，和/或所述通孔的內壁上設置有容納所述傳動軸的容納槽，所述傳動軸和所述半球形遮擋件之間采用過盈配合的方式連接。

6.根據權利要求5所述的水冷套，其特征在于，沿所述容納槽的延伸方向，所述容納槽內并排設置有多個第一齒輪槽，所述傳動軸上設置有與所述第一齒輪槽嚙合的多個第二齒輪槽。

7.根據權利要求4所述的水冷套，其特征在于，在所述傳動軸的徑向方向上，所述通孔的相對的兩個內側壁上對稱設置有兩個連接桿，所述半球形遮擋件可轉動的連接于所述連接桿上。

8.根據權利要求4所述的水冷套，其特征在于，所述半球形遮擋件為空心結構。

9.根據權利要求2所述的水冷套，其特征在于，在所述水冷套的軸向方向上，所述水冷套包括靠近所述單晶爐的頂端的第一端，所述第一端設置有凸緣，以與用于控制所述水冷套升降的升降結構連接。

10.根據權利要求3所述的水冷套，其特征在于，在所述水冷套的軸向方向上，所述水冷套包括遠離所述單晶爐的頂端的第二端，所述第二端設置有氣體檢測結構，用于檢測朝向所述水冷套上升的氣體的成分以及含量；

所述調節結構根據所述氣體檢測結構的結果控制所述氣體通道的開度。

11.一種單晶爐，其特征在于，包括權利要求1-10任一項所述的水冷套，以及用于控制所述水冷套升降的升降結構。