[發明專利]一種石墨舟有效
| 申請號: | 202310475597.4 | 申請日: | 2023-04-28 |
| 公開(公告)號: | CN116180054B | 公開(公告)日: | 2023-06-27 |
| 發明(設計)人: | 呂尊華;姚亮;徐勤晟 | 申請(專利權)人: | 福建福碳新材料科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C16/458 | 分類號: | C23C16/458;H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司: | 常州市天龍專利事務所有限公司 32105 | 代理人: | 于雅潔 |
| 地址: | 366011 福建省*** | 國省代碼: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 石墨 | ||
1.一種石墨舟,其特征在于,包括承載板(1),所述承載板(1)的兩端均固定連接有側板(2),其中一個所述側板(2)上滑動裝配有固定架(3),所述固定架(3)上裝配有若干安裝框(4),若干所述安裝框(4)上均裝配有石墨舟板(5);
所述固定架(3)上設置有等距調節組件(6),所述等距調節組件(6)包括調節組件(61)與驅動組件(62);
若干所述安裝框(4)與對應的石墨舟板(5)上均設置有拆裝機構(7),所述拆裝機構(7)包括安裝組件(71)、拆卸組件(72)與控制組件(73);
所述調節組件(61)包括滑軌一(611)、若干滑座一(612)、若干滑板(613)、調節板(614)、若干調節滑道(615)與若干調節塊(616),所述滑軌一(611)固定連接在固定架(3)上,若干所述滑座一(612)均滑動裝配在滑軌一(611)上,若干所述滑板(613)分別固定連接在若干滑座一(612)上,所述調節板(614)滑動裝配在固定架(3)上,且調節板(614)在豎直方向上上下滑動,若干所述調節滑道(615)均開設在調節板(614)上,若干所述調節塊(616)分別固定連接在若干滑板(613)上,且若干調節塊(616)分別滑動連接在若干調節滑道(615)內,若干所述滑板(613)分別與若干安裝框(4)固定連接;
所述驅動組件(62)包括螺桿(621)、升降座(622)、滑座二(623)、滑軌二(624)、軸承座(625)、轉軸(626)與旋塊(627),所述螺桿(621)的一端轉動裝配在固定架(3)上,所述軸承座(625)固定連接在固定架(3)上,所述螺桿(621)的另一端轉動裝配在軸承座(625)上,所述升降座(622)螺紋套接在螺桿(621)上,且升降座(622)固定連接在調節板(614)上,所述滑座二(623)固定連接在調節板(614)上,所述滑軌二(624)固定連接在固定架(3)上,且滑座二(623)滑動裝配在滑軌二(624)上,所述轉軸(626)的一端與螺桿(621)的一端固定連接,所述轉軸(626)的另一端穿過固定架(3),并與旋塊(627)之間固定連接;
所述安裝組件(71)包括兩個開口(711)、兩個卡塊(712)、四個限位槽(713)、四個限位塊(714)、四個彈簧一(715)與兩個卡槽(716),兩個所述開口(711)均開設在安裝框(4)上,兩個所述卡塊(712)分別滑動裝配在兩個開口(711)內,四個所述限位槽(713)兩兩一組,并分別開設在兩個開口(711)的內面,四個所述限位塊(714)兩兩一組,并分別固定連接在兩個卡塊(712)上,且四個限位塊(714)分別滑動連接在四個限位槽(713)內,四個所述彈簧一(715)的一端分別與四個限位槽(713)的槽壁相連接,四個所述彈簧一(715)的另一端分別與四個限位塊(714)相連接,兩個所述卡槽(716)均開設在石墨舟板(5)上;
所述拆卸組件(72)包括兩個限位套筒(721)、兩個滑動桿(722)、支撐桿(723)與兩個拉簧(724),兩個所述限位套筒(721)均通過支撐桿(723)固定連接在安裝框(4)的內面,兩個所述滑動桿(722)分別滑動裝配在兩個限位套筒(721)的內部,兩個所述拉簧(724)的一端均與安裝框(4)的內面相連接,兩個所述拉簧(724)的另一端分別與兩個滑動桿(722)相連接,兩個所述滑動桿(722)相互遠離的一端分別正對兩個卡塊(712)設置;
所述控制組件(73)包括滑道(731)、控制塊(732)、兩個導向槽(733)、兩個導向塊(734)、兩個彈簧二(735)與連接塊(736),所述滑道(731)開設在安裝框(4)的底面,且滑道(731)與安裝框(4)的內部相連通,所述控制塊(732)滑動裝配在滑道(731)的內部,兩個所述導向槽(733)均開設在滑道(731)的內面,兩個所述導向塊(734)分別固定連接在控制塊(732)上,且兩個導向塊(734)分別滑動連接在兩個導向槽(733)內,兩個所述彈簧二(735)的一端分別與兩個導向槽(733)相連接,兩個所述彈簧二(735)的另一端分別與兩個導向塊(734)相連接,所述連接塊(736)固定連接在控制塊(732)的底面,且連接塊(736)延伸至滑道(731)的外部,所述控制塊(732)與兩個滑動桿(722)相互靠近的一端正對設置;
所述控制塊(732)的頂端設置有兩個傾斜方向相反的斜面,兩個所述滑動桿(722)相互正對的一端分別正對兩個斜面設置。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





