[發(fā)明專利]同軸電纜到共面波導(dǎo)的寬帶過渡結(jié)構(gòu)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202310431218.1
• 申請日: 2023-04-21
• 公開（公告）號: CN116315554A
• 公開（公告）日: 2023-06-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙亮;鄧小威;趙梁玉;于海超
• 申請（專利權(quán)）人: 強一半導(dǎo)體（蘇州）股份有限公司
• 主分類號: H01P5/10
• 分類號: H01P5/10
• 代理公司: 蘇州謹和知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32295
• 代理人: 田媛

本發(fā)明涉及微波技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種同軸電纜到共面波導(dǎo)的寬帶過渡結(jié)構(gòu)，包括共面波導(dǎo)傳輸線與同軸電纜，共面波導(dǎo)傳輸線包括從上到下層疊的金屬層和介質(zhì)層，金屬層上形成有中心導(dǎo)帶與分布在所述中心導(dǎo)帶兩側(cè)的接地導(dǎo)帶，同軸電纜包括外導(dǎo)體、內(nèi)導(dǎo)體以及位于所述外導(dǎo)體與所述內(nèi)導(dǎo)體之間的中間介質(zhì)層，共面波導(dǎo)傳輸線上開設(shè)有深達介質(zhì)層的凹槽，同軸電纜的一端部嵌入在所述的凹槽中，且所述端部的內(nèi)導(dǎo)體伸出所述凹槽外與中心導(dǎo)帶相互搭接并電性連接，接地導(dǎo)帶與所述的外導(dǎo)體電性連接。該寬帶過渡結(jié)構(gòu)具有超寬帶、低損耗、高隔離度的信號傳輸性能，適用于面向高頻的探針卡測試系統(tǒng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及微波技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種同軸電纜到共面波導(dǎo)的寬帶過渡結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

隨著5G、毫米波技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體器件不斷往高頻、小型化趨勢發(fā)展。上述趨勢也使得薄膜探針卡測試系統(tǒng)的性能要求不斷提高，超寬帶、低損耗、高隔離度等成為薄膜探針卡測試系統(tǒng)的主要指標。采用寬帶過渡結(jié)構(gòu)實現(xiàn)的PCB轉(zhuǎn)接板作為連接薄膜探針與測試設(shè)備的重要部件，其性能的優(yōu)劣直接影響著整個薄膜探針卡測試系統(tǒng)的質(zhì)量。

傳統(tǒng)的PCB轉(zhuǎn)接板一般采用傳輸準橫電磁波的單一共面波導(dǎo)完成主要的信號傳輸任務(wù)，并通過搭配SMA接頭的方式實現(xiàn)測試儀器與薄膜探針卡的信號轉(zhuǎn)接。然而采用上述PCB轉(zhuǎn)接板存在帶寬窄、損耗高等問題，因而大多適用在20GHz頻段以下的測試場景中。此外，同時半開放的共面波導(dǎo)傳輸線結(jié)構(gòu)在多芯片測試環(huán)境下，存在隔離度較低、信號串擾等問題，影響芯片性能的精確表征。

發(fā)明內(nèi)容

針對上述傳統(tǒng)PCB轉(zhuǎn)接板存在寬帶窄、損耗高、隔離度較低等相關(guān)技術(shù)問題，本發(fā)明的目的是提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)寬帶、低損耗和高隔離度的寬帶過渡結(jié)構(gòu)。

為了達到上述的目的，本發(fā)明提供以下技術(shù)方案：一種同軸電纜到共面波導(dǎo)的寬帶過渡結(jié)構(gòu)，包括共面波導(dǎo)傳輸線與同軸電纜，所述共面波導(dǎo)傳輸線包括從上到下層疊的金屬層和介質(zhì)層，所述的金屬層上形成有中心導(dǎo)帶與分布在所述中心導(dǎo)帶兩側(cè)的接地導(dǎo)帶，所述的同軸電纜包括外導(dǎo)體、內(nèi)導(dǎo)體以及位于所述外導(dǎo)體與所述內(nèi)導(dǎo)體之間的中間介質(zhì)層，所述的共面波導(dǎo)傳輸線上開設(shè)有深達介質(zhì)層的凹槽，所述的同軸電纜的一端部嵌入在所述的凹槽中，且所述端部的內(nèi)導(dǎo)體伸出所述凹槽外與所述的中心導(dǎo)帶相互搭接并電性連接，所述接地導(dǎo)帶與所述的外導(dǎo)體電性連接。

本申請采用半剛性電纜作為信號的主要傳輸通道，利用外延的內(nèi)導(dǎo)體與共面波導(dǎo)傳輸線的中心導(dǎo)帶級聯(lián)，并通過凹槽控制半剛性電纜與共面波導(dǎo)傳輸線的相對位置，是一種具有寬帶、低損耗、高隔離度性能的過渡技術(shù)。

在本申請的一個實施例中，所述端部具有一水平段，所述水平段的下部嵌入在所述的凹槽內(nèi)。

在本申請的一個實施例中，所述中心導(dǎo)帶的寬度等于所述接地導(dǎo)帶的寬度。

在本申請的一個實施例中，所述凹槽與所述的中心導(dǎo)帶的中軸線共線。

在本申請的一個實施例中，所述內(nèi)導(dǎo)體與所述中心導(dǎo)帶的中軸線共線。

在本申請的一個實施例中，所述凹槽的槽寬小于所述的同軸電纜的直徑。

在本申請的一個實施例中，所述凹槽的槽深等于所述外導(dǎo)體與所述中間介質(zhì)層的壁厚之和。

在本申請的一個實施例中，包括若干個一一對應(yīng)的所述共面波導(dǎo)傳輸線、所述同軸電纜以及所述凹槽，各所述共面波導(dǎo)傳輸線的中心導(dǎo)帶沿左右方向平行排布，各所述的同軸電纜以及凹槽分別沿對應(yīng)中心導(dǎo)帶的中軸線布置。

在本申請的一個實施例中，相鄰的兩個所述的同軸電纜共用一根所述的接地導(dǎo)帶。

在本申請的一個實施例中，所述的共面波導(dǎo)傳輸線上開設(shè)有多個貫通所述金屬層和介質(zhì)層的通孔，所述通孔與所述中心導(dǎo)帶不連通。

在本申請的一個實施例中，所述的通孔沿著所述中心導(dǎo)帶方向排成多列。