[發明專利]陶瓷加熱器

在審

• 申請號: 202310427773.7
• 申請日: 2023-04-20
• 公開（公告）號: CN116321554A
• 公開（公告）日: 2023-06-23
• 發明（設計）人: 邱基華;陳爍爍
• 申請（專利權）人: 廣東省先進陶瓷材料科技有限公司
• 主分類號: H05B3/16
• 分類號: H05B3/16;H05B3/06;H05B3/26
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 祝萍萍

1.一種陶瓷加熱器，其特征在于，包括：

具有晶圓載置面的陶瓷板；

主發熱體，所述主發熱體設于陶瓷板內部；

輔助發熱體，所述輔助發熱體設于陶瓷板的側面，且所述輔助發熱體獨立于所述主發熱體。

2.根據權利要求1所述的陶瓷加熱器，其特征在于，所述主發熱體包括多個半徑不同的圓弧段和多個過渡段，所述圓弧段與所述過渡段交替設置并依次首尾連接，且所述過渡段與圓弧段連接處形成圓角。

3.根據權利要求2所述的陶瓷加熱器，其特征在于，所述主發熱體中半徑最小的兩個所述圓弧段分別形成第一端口和第二端口，以使電流從第一端口流入并從第二端口流出。

4.根據權利要求2所述的陶瓷加熱器，其特征在于，所述主發熱體中半徑最大的圓弧段的半徑為R，在2R/3覆蓋的區域內，相鄰的所述圓弧段之間的距離為S1，在2R/3～R覆蓋的區域內，相鄰的所述圓弧段之間的距離為S2，所述S1＞S2。

5.根據權利要求4所述的陶瓷加熱器，其特征在于，所述S1和S2的比值滿足：1.2≤S1/S2≤2.8。

6.根據權利要求1所述的陶瓷加熱器，其特征在于，所述輔助發熱體以環繞方式設于陶瓷板的側面，所述輔助發熱體的表面覆蓋有玻璃層。

7.根據權利要求3所述的陶瓷加熱器，其特征在于，所述陶瓷加熱器還包括第一供電線和第二供電線，所述第一供電線與主發熱體兩端電連接，所述第二供電線與輔助發熱體兩端電連接。

8.根據權利要求7所述的陶瓷加熱器，其特征在于，所述陶瓷板下表面設有第一焊盤和第二焊盤，所述第一焊盤通過通孔導體與所述主發熱體的第一端口電連接，所述第二焊盤通過通孔導體與所述主發熱體的第二端口電連接，所述第一供電線通過所述第一焊盤、所述通孔導體與所述主發熱體的第一端口電連接，且所述第一供電線通過所述第二焊盤、所述通孔導體與所述主發熱體的第二端口電連接。

9.根據權利要求7所述的陶瓷加熱器，其特征在于，所述陶瓷板下表面設有第三焊盤和第四焊盤，所述第三焊盤通過通孔導體與所述輔助發熱體的一端電連接，所述第四焊盤通過通孔導體與所述輔助發熱體的另一端電連接；所述第二供電線通過所述第三焊盤、所述通孔導體與所述輔助發熱體的一端電連接，且所述第二供電線通過所述第四焊盤、所述通孔導體與所述輔助發熱體的另一端電連接。

10.根據權利要求7所述的陶瓷加熱器，其特征在于，所述陶瓷加熱器還包括支撐體，所述支撐體設于陶瓷板下方，所述支撐體為中空筒狀結構，所述支撐體內部設有供電電源，所述第一供電線、所述第二供電線分別穿過支撐體的腔體與所述供電電源電連接。