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[發(fā)明專利]一種大尺寸高抗損傷性摻鈥氟化镥釔鋇晶體及其制備方法在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 202310362095.0 申請日: 2023-04-06
公開(公告)號: CN116334755A 公開(公告)日: 2023-06-27
發(fā)明(設計)人: 王新宇;宋術巖;石學明;馮婧;張洪杰 申請(專利權)人: 中國科學院長春應用化學研究所
主分類號: C30B29/12 分類號: C30B29/12;C30B11/00
代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權代理有限公司 11227 代理人: 楊威
地址: 130022 吉*** 國省代碼: 吉林;22
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 尺寸 損傷 性摻鈥 氟化 镥釔鋇 晶體 及其 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種大尺寸高抗損傷性摻鈥氟化镥釔鋇晶體的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:

a)將BaF2、LuF3、YF3、HoF3按摩爾比1:x:(1.4-x):0.6稱量后,在惰性氣氛下與除氧劑混合,壓塊后在HF氣氛下進行反應,之后先升至800℃~860℃保溫9h~11h,再升至980℃~1250℃保溫22h~26h,再降至400℃~600℃關閉HF氣氛并保溫9h~11h,冷卻后去除雜質,得到塊狀晶料;x為0.2~0.4;

b)在惰性氣氛下,將步驟a)得到的塊狀晶料粉碎后,與除氧劑混合,放入坩堝并封口,再將上述坩堝放入注有氧化鋁粉的爐管徑向中心位置,繼續(xù)裝填氧化鋁粉至完全覆蓋坩堝,并在氧化鋁粉頂部用硅酸鎂纖維完全覆蓋;調(diào)整爐管高度使坩堝位于爐腔上部,進行加熱,熔化晶料;再使坩堝從上至下依次經(jīng)高溫區(qū)、梯度區(qū)、過渡區(qū)移動至爐腔下部的低溫區(qū)后,經(jīng)90h~120h降至室溫,再升溫至600℃以上,恒溫70h~74h,冷卻后得到摻鈥氟化镥釔鋇單晶;

c)剝離坩堝得到晶體后粉碎并重復步驟b),再剝離坩堝后得到大尺寸高抗損傷性摻鈥氟化镥釔鋇晶體。

2.根據(jù)權利要求1所述的制備方法,其特征在于,步驟a)中所述BaF2、LuF3、YF3、HoF3與除氧劑混合前,分別進行烘干處理;所述烘干處理的過程在干燥的氬氣氛圍下進行,溫度為250℃~350℃,時間為45h~50h。

3.根據(jù)權利要求1所述的制備方法,其特征在于,步驟a)中所述除氧劑選自聚四氟乙烯和/或氟化鉛;所述除氧劑的用量為BaF2、LuF3、YF3、HoF3總質量的0.5%~1%;

所述與除氧劑混合的水平方向轉速為3r/s~5r/s,垂直方向轉速為0.5r/s~1.5r/s,時間為22h~26h。

4.根據(jù)權利要求1所述的制備方法,其特征在于,步驟a)中所述進行反應的過程具體為:

將溫度升高至450℃~550℃保溫0.5h~1.5h,再升高至560℃~650℃保溫0.5h~1.5h。

5.根據(jù)權利要求1所述的制備方法,其特征在于,步驟a)中所述降至400℃~600℃的時間為45h~50h;所述冷卻的過程具體為:

經(jīng)22h~26h降至室溫。

6.根據(jù)權利要求1所述的制備方法,其特征在于,步驟b)中所述粉碎的粒度為5mm~8mm;粉碎后的晶料與除氧劑的質量比為100:(0.5~1)。

7.根據(jù)權利要求1所述的制備方法,其特征在于,步驟b)中所述坩堝為鉑金坩堝,直徑為7mm~30mm,長度為45mm~55mm;

所述爐管的外徑為90mm~110mm,厚度為7mm~10mm,長度為550mm~650mm。

8.根據(jù)權利要求1所述的制備方法,其特征在于,步驟b)中所述加熱的溫度為960℃~1140℃,時間為22h~26h;

所述高溫區(qū)的溫度為960℃~1300℃;

所述梯度區(qū)的溫度為710℃~980℃,高度為10mm~35mm;

所述過渡區(qū)的溫度為510℃~770℃,高度為15mm~35mm,傾角為10°~30°;

所述低溫區(qū)的溫度為30℃~510℃,高度為150mm~200mm。

9.根據(jù)權利要求1所述的制備方法,其特征在于,步驟b)中所述坩堝從上至下的移動速度為3mm/d~10mm/d。

10.一種大尺寸高抗損傷性摻鈥氟化镥釔鋇晶體,其特征在于,采用權利要求1~9任一項所述的制備方法制備而成。

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