[發(fā)明專利]一種烘干爐運(yùn)輸裝置及其應(yīng)用

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202310333725.1
• 申請日: 2023-03-30
• 公開（公告）號: CN116394640A
• 公開（公告）日: 2023-07-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 請求不公布姓名
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇利元亨智能裝備有限公司;廣東利元亨智能裝備股份有限公司
• 主分類號: B41F15/12
• 分類號: B41F15/12;F26B25/00;F26B15/12;F26B3/04;H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 44205
• 代理人: 陳磊

1.一種烘干爐運(yùn)輸裝置，其特征在于，包括：第一運(yùn)輸面和第二運(yùn)輸面，所述第一運(yùn)輸面與所述第二運(yùn)輸面呈角度設(shè)置，所述第一運(yùn)輸面與所述第二運(yùn)輸面的夾角為ɑ，所述第一運(yùn)輸面與硅片的一側(cè)相接，所述第二運(yùn)輸面與硅片的另一相對側(cè)相接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的烘干爐運(yùn)輸裝置，其特征在于：若0°＜ɑ＜180°時，所述第一運(yùn)輸面與所述第二運(yùn)輸面之間形成“V”形的運(yùn)輸腔，于所述運(yùn)輸腔內(nèi)，所述第一運(yùn)輸面運(yùn)輸硅片側(cè)邊，所述第二運(yùn)輸面運(yùn)輸硅片另一相對側(cè)邊。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的烘干爐運(yùn)輸裝置，其特征在于：若ɑ＝180°時，所述第一運(yùn)輸面與所述第二運(yùn)輸面平齊且間隔設(shè)置，所述第一運(yùn)輸面運(yùn)輸硅片一側(cè)的部分底面，所述第二運(yùn)輸面運(yùn)輸硅片另一相對側(cè)的部分底面。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的烘干爐運(yùn)輸裝置，其特征在于：若180°＜ɑ＜360°時，所述第一運(yùn)輸面的頂邊與所述第二運(yùn)輸面的頂邊平齊且間隔設(shè)置，所述第一運(yùn)輸面的頂邊與所述第二運(yùn)輸面的頂邊一同承接硅片底面。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的烘干爐運(yùn)輸裝置，其特征在于：若ɑ＝0°時，所述第一運(yùn)輸面與所述第二運(yùn)輸面相對且間隔設(shè)置，所述第一運(yùn)輸面與硅片的一側(cè)面相抵接，所述第二運(yùn)輸面與硅片的另一相對側(cè)面相抵接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項所述的烘干爐運(yùn)輸裝置，其特征在于，包括：驅(qū)動源、單獨(dú)設(shè)置的第一運(yùn)輸機(jī)構(gòu)和第二運(yùn)輸機(jī)構(gòu)，所述第一運(yùn)輸機(jī)構(gòu)上設(shè)有所述第一運(yùn)輸面，所述第二運(yùn)輸機(jī)構(gòu)上設(shè)有所述第二運(yùn)輸面，所述第一運(yùn)輸機(jī)構(gòu)和所述第二運(yùn)輸機(jī)構(gòu)均與所述驅(qū)動源傳動相連，并在所述驅(qū)動源的帶動下同步運(yùn)輸。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的烘干爐運(yùn)輸裝置，其特征在于：所述驅(qū)動源數(shù)量為一，所述驅(qū)動源通過一軸向調(diào)整件與所述第一運(yùn)輸機(jī)構(gòu)傳動相連，通過另一軸向調(diào)整件與所述第二運(yùn)輸機(jī)構(gòu)傳動相連。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的烘干爐運(yùn)輸裝置，其特征在于，還包括：第一角度調(diào)節(jié)件和第二角度調(diào)節(jié)件，所述第一角度調(diào)節(jié)件與所述第一運(yùn)輸機(jī)構(gòu)相連，能夠調(diào)整所述第一運(yùn)輸機(jī)構(gòu)相對水平面的角度，所述第二角度調(diào)節(jié)件與所述第二運(yùn)輸機(jī)構(gòu)相連，能夠調(diào)整所述第二運(yùn)輸機(jī)構(gòu)相對水平面的角度。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的烘干爐運(yùn)輸裝置，其特征在于：所述第一運(yùn)輸機(jī)構(gòu)、所述第二運(yùn)輸機(jī)構(gòu)為筒式輸送機(jī)、帶式輸送機(jī)或板式輸送機(jī)其中之一。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的烘干爐運(yùn)輸裝置，其特征在于：所述第一運(yùn)輸機(jī)構(gòu)為筒式輸送機(jī)，所述第二運(yùn)輸機(jī)構(gòu)為筒式輸送機(jī)。

11.一種烘干爐，其特征在于，包括：

烘干段，設(shè)有烘干裝置；

冷卻段，設(shè)有冷卻裝置；

運(yùn)輸裝置，依次途徑所述烘干段和所述冷卻段，用于運(yùn)輸硅片依次經(jīng)過所述烘干段和所述冷卻段，所述運(yùn)輸裝置為權(quán)利要求1至10任一項所述的烘干爐運(yùn)輸裝置。

12.一種烘干爐，其特征在于，包括：

烘干段，設(shè)有烘干裝置；

烘干運(yùn)輸裝置，途徑所述烘干段設(shè)置，能夠運(yùn)輸硅片，以供所述烘干裝置烘干；

冷卻段，設(shè)有冷卻裝置；

冷卻運(yùn)輸裝置，途徑所述冷卻段設(shè)置，能夠承接所述烘干運(yùn)輸裝置運(yùn)輸?shù)墓杵⒗^續(xù)運(yùn)輸，以供所述冷卻裝置冷卻所述冷卻運(yùn)輸裝置為權(quán)利要求1至10任一項所述的烘干爐運(yùn)輸裝置。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的烘干爐，其特征在于：所述烘干運(yùn)輸裝置為權(quán)利要求1至10任一項所述的烘干爐運(yùn)輸裝置。

14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的烘干爐，其特征在于：所述冷卻裝置包括下冷卻組件，所述下冷卻組件沿所述冷卻運(yùn)輸裝置的運(yùn)輸方向設(shè)置，位于所述冷卻運(yùn)輸裝置的中部。