[發(fā)明專(zhuān)利]一種晶圓載臺(tái)與機(jī)械臂的平行度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)及調(diào)節(jié)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202310332211.4
• 申請(qǐng)日: 2023-03-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN116038774B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳劍;俞勝武;高為達(dá);戴丹蕾
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 無(wú)錫卓海科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B25J19/00
• 分類(lèi)號(hào): B25J19/00;B25J11/00;B25J18/00;H01L21/66;G01R31/28
• 代理公司: 北京品源專(zhuān)利代理有限公司 11332
• 代理人: 沈鑫洪

本發(fā)明公開(kāi)一種晶圓載臺(tái)與機(jī)械臂的平行度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)及調(diào)節(jié)方法。其中晶圓載臺(tái)與機(jī)械臂的平行度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括基板，基板上設(shè)置有晶圓載臺(tái)和橫移驅(qū)動(dòng)件，晶圓載臺(tái)上放置有調(diào)平塊，橫移驅(qū)動(dòng)件位于晶圓載臺(tái)的一側(cè)，且橫移驅(qū)動(dòng)件的活動(dòng)端設(shè)置有轉(zhuǎn)接板，轉(zhuǎn)接板上設(shè)置有第一調(diào)節(jié)塊，第一調(diào)節(jié)塊上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二調(diào)節(jié)塊，第二調(diào)節(jié)塊上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有固定板，固定板上設(shè)置有升降驅(qū)動(dòng)件，升降驅(qū)動(dòng)件的活動(dòng)端設(shè)置有延伸至晶圓載臺(tái)上方的機(jī)械臂，通過(guò)調(diào)節(jié)第二調(diào)節(jié)塊相對(duì)于第一調(diào)節(jié)塊的轉(zhuǎn)動(dòng)角度、固定板相對(duì)于第二調(diào)節(jié)塊的轉(zhuǎn)動(dòng)角度，使得機(jī)械臂的姿態(tài)可調(diào)，當(dāng)機(jī)械臂的下表面與調(diào)平塊完全貼合時(shí)，機(jī)械臂與晶圓載臺(tái)平行。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓載臺(tái)與機(jī)械臂的平行度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)及調(diào)節(jié)方法。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體芯片制作過(guò)程中，晶圓各項(xiàng)性能達(dá)標(biāo)是保證成品芯片性能的重要前提，所以對(duì)晶圓的檢測(cè)尤為重要。在晶圓檢測(cè)中，一般是通過(guò)機(jī)械臂裝載探針接觸晶圓載臺(tái)上的晶圓，由于機(jī)械臂的平移部件一般是固定在轉(zhuǎn)接板上，但各部件存在加工誤差，導(dǎo)致安裝后的機(jī)械臂和晶圓載臺(tái)的平行度存在偏差，一旦偏差超過(guò)設(shè)定值，會(huì)影響定位、裝夾精度，甚至損傷晶圓表面，需要進(jìn)一步優(yōu)化。

發(fā)明內(nèi)容

基于上述問(wèn)題，本發(fā)明的一個(gè)目的在于提供一種晶圓載臺(tái)與機(jī)械臂的平行度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)機(jī)械臂能根據(jù)晶圓載臺(tái)的平面進(jìn)行微調(diào)，提高兩者平行度。

本發(fā)明的另一個(gè)目的在于提供一種調(diào)節(jié)方法，降低機(jī)械臂調(diào)平難度，保證機(jī)械臂與晶圓載臺(tái)的平行度。

為達(dá)上述目的，一方面，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種晶圓載臺(tái)與機(jī)械臂的平行度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，其包括基板，基板上設(shè)置有晶圓載臺(tái)和橫移驅(qū)動(dòng)件，晶圓載臺(tái)上放置有調(diào)平塊，橫移驅(qū)動(dòng)件位于晶圓載臺(tái)的一側(cè)，且橫移驅(qū)動(dòng)件的活動(dòng)端設(shè)置有轉(zhuǎn)接板，轉(zhuǎn)接板上設(shè)置有第一調(diào)節(jié)塊，第一調(diào)節(jié)塊上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二調(diào)節(jié)塊，第二調(diào)節(jié)塊上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有固定板，固定板上設(shè)置有升降驅(qū)動(dòng)件，升降驅(qū)動(dòng)件的活動(dòng)端設(shè)置有延伸至晶圓載臺(tái)上方的機(jī)械臂；第一調(diào)節(jié)塊與第二調(diào)節(jié)塊之間設(shè)置有用于固定第一調(diào)節(jié)塊與第二調(diào)節(jié)塊的轉(zhuǎn)動(dòng)角度的第一鎖定件，第二調(diào)節(jié)塊與固定板之間設(shè)置有用于固定第二調(diào)節(jié)塊與固定板的轉(zhuǎn)動(dòng)角度的第二鎖定件；通過(guò)調(diào)節(jié)第二調(diào)節(jié)塊相對(duì)于第一調(diào)節(jié)塊的轉(zhuǎn)動(dòng)角度以使得機(jī)械臂能夠繞水平X軸擺動(dòng)，通過(guò)調(diào)節(jié)固定板相對(duì)于第二調(diào)節(jié)塊的轉(zhuǎn)動(dòng)角度以使得機(jī)械臂能夠繞水平Y(jié)軸擺動(dòng)；在機(jī)械臂的下表面與調(diào)平塊完全貼合的狀態(tài)下，機(jī)械臂與晶圓載臺(tái)平行。

可選的，第一鎖定件包括第一連接螺絲，第一調(diào)節(jié)塊上設(shè)置有第一銷(xiāo)軸，第一銷(xiāo)軸插入第二調(diào)節(jié)塊中，使第二調(diào)節(jié)塊能繞第一銷(xiāo)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，且第二調(diào)節(jié)塊的與第一調(diào)節(jié)塊貼靠的面上設(shè)置有第一螺紋孔，第一調(diào)節(jié)塊上開(kāi)設(shè)有第一避讓孔，第一連接螺絲穿過(guò)第一避讓孔與第一螺紋孔配合，通過(guò)第一連接螺絲將第二調(diào)節(jié)塊與第一調(diào)節(jié)塊鎖定。

可選的，第二鎖定件包括第二連接螺絲，第二調(diào)節(jié)塊上設(shè)置有第二銷(xiāo)軸，第二銷(xiāo)軸插入固定板中，使固定板能繞第二銷(xiāo)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，且固定板的與第二調(diào)節(jié)塊貼靠的面上設(shè)置有第二螺紋孔，第二調(diào)節(jié)塊上開(kāi)設(shè)有第二避讓孔，第二連接螺絲穿過(guò)第二避讓孔與第二螺紋孔配合，通過(guò)第二連接螺絲將固定板與第二調(diào)節(jié)塊鎖定。

可選的，第一銷(xiāo)軸與第二銷(xiāo)軸于水平面內(nèi)相互垂直。

可選的，升降驅(qū)動(dòng)件包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)和連接塊，驅(qū)動(dòng)電機(jī)安裝于轉(zhuǎn)接板上，且驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸上設(shè)置有凸輪，機(jī)械臂安裝于連接塊的上表面，固定板上設(shè)置有豎向排布的導(dǎo)軌，連接塊的一側(cè)面上設(shè)置有與導(dǎo)軌配合的滑塊，連接塊的另一側(cè)面上設(shè)置有位于凸輪的上方并與凸輪配合接觸的隨動(dòng)器，通過(guò)凸輪轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)連接塊沿著導(dǎo)軌升降運(yùn)動(dòng)。

可選的，橫移驅(qū)動(dòng)件包括水平排布的直線(xiàn)滑臺(tái)模組，轉(zhuǎn)接板固定于直線(xiàn)滑臺(tái)模組的滑臺(tái)上。

可選的，基板上設(shè)置有旋轉(zhuǎn)電機(jī)，旋轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出軸豎直朝上，晶圓載臺(tái)固定于旋轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出軸上。

另一方面，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：