[發明專利]高頻互作用組件的對中裝配裝置及方法

在審

• 申請號: 202310309959.2
• 申請日: 2023-03-27
• 公開（公告）號: CN116079316A
• 公開（公告）日: 2023-05-09
• 發明（設計）人: 王建
• 申請（專利權）人: 中國科學院空天信息創新研究院
• 主分類號: B23K37/04
• 分類號: B23K37/04
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 周天宇

本公開提供一種高頻互作用組件的對中裝配裝置及方法，涉及微波電真空器件領域，具體包括：對中底座；分厘卡固定架，安裝在對中底座上；分厘卡，安裝在分厘卡固定架，用于調節折疊波導零件在水平方向以及豎直方向的位置，并在折疊波導零件處于對中狀態的情況下，將折疊波導零件鎖緊；定位底座；法蘭盤，與定位底座通過螺栓柱固定連接；分厘卡，穿設于法蘭盤上，用于對槍端蓋零件和收集極端蓋零件進行鎖緊。本公開還提供了一種高頻互作用組件的對中裝配方法，采用上述兩種裝置進行高頻互作用組件的對中裝配。本公開是一種基于在線檢測數據實時修正裝配誤差的調節方法，滿足高頻互作用組件高精度對中裝配的同時結構簡單，容易制備并實現裝配。

技術領域

本公開涉及微波電真空器件的技術領域，尤其涉及一種高頻互作用組件的對中裝配裝置及方法。

背景技術

太赫茲技術在寬帶通信、醫學成像、無損檢測等方面存在著巨大需求，而目前限制太赫茲技術發展的問題是缺乏太赫茲輻射源。隨著行波管的工作頻率進入太赫茲頻段，由于尺寸共渡效應的影響，慢波結構的尺寸變得很小，傳統的螺旋線行波管以及耦合腔行波管由于存在加工、帶寬、散熱等問題，已經難以滿足要求。高頻互作用組件是行波管中不可缺少的組件之一，高頻互作用組件由端蓋零件以及折疊波導零件構成。近年來折疊波導慢波結構的提出，使研制太赫茲波段的行波管成為了可能，此結構具有頻帶寬、色散特性平坦、較小的高頻損耗、加工方便等獨特優點，受到國內外的密切關注，被廣泛應用于太赫茲領域?？傮w上可實用化的制造折疊波導零件的方法主要包括超精密電火花線切割加工(Ultra-fine?WEDM)技術、LIGA技術、UV-LIGA技術以及DRIE技術。通過上述方法獲得的折疊波導零件，往往被分割成2-3個部分分別加工，再裝配到一起，組成完整的電子通道和慢波電路。

當前，折疊波導零件裝配的方式主要有銷釘定位法和外表面定位法，在定位精度上，約為10-20μm，且多為松配合，難以避免后道焊接工序產生的變形，無法滿足太赫茲頻率對慢波結構的精度要求，影響電子效率、增益、雜波等性能指標的提升。

同時，需要在折疊波導零件的兩端裝配端蓋零件才能實現完整的高頻互作用組件的裝配，但目前的高頻互作用組件的裝配方法和結構較為復雜，裝配的精度檢測困難，難以基于檢測數據實時調節端蓋零件的空間位置，且裝配模具需要直接接觸被裝配的零件，有損傷和磨損配合面的風險。

發明內容

鑒于上述問題，本公開提供了一種高頻互作用組件的對中裝配裝置及方法，以改善當前高頻互作用組件的裝配裝置難以同時滿足高精度對中裝配以及裝置結構簡單的問題。

本公開的一個方面提供了一種高頻互作用組件的對中裝配裝置，包括：折疊波導零件的對中裝配裝置，具體包括：對中底座；分厘卡固定架，安裝在對中底座上；分厘卡，安裝在分厘卡固定架，用于調節折疊波導零件在水平方向以及豎直方向的位置，并在折疊波導零件處于對中狀態的情況下，將折疊波導零件鎖緊；端蓋零件的對中裝配裝置，具體包括：定位底座；法蘭盤，與定位底座通過螺栓柱固定連接；分厘卡，穿設于法蘭盤上，用于對槍端蓋零件和收集極端蓋零件進行鎖緊。

根據本公開的實施例，折疊波導零件包括第一折疊波導零件和第二折疊波導零件，還包括折疊波導零件保護蓋，折疊波導零件保護蓋設置有第一凹槽，第一凹槽用于安置第一折疊波導零件；折疊波導零件保護蓋設置于第一折疊波導零件與豎直方向的分厘卡之間。

根據本公開的實施例，對中底座還包括：第二凹槽，第二凹槽用于安置第二折疊波導零件。

根據本公開的實施例，分厘卡固定架呈門字型，其中，分厘卡固定架的橫邊處以及側邊處分別設置有至少一個通孔，以安裝水平方向以及豎直方向的分厘卡。

根據本公開的實施例，分厘卡固定架與對中底座呈螺紋連接；其中，對中底座沿水平方向延伸出兩個安裝沿，分厘卡固定架的兩側邊處的底端分別與兩個安裝沿連接。

根據本公開的實施例，法蘭盤上至少包括一個供分厘卡穿設的通孔。