[發明專利]TIN拉回和清潔組合物

在審

• 申請號: 202310303019.2
• 申請日: 2015-05-12
• 公開（公告）號: CN116286222A
• 公開（公告）日: 2023-06-23
• 發明（設計）人: J·J-J·柯;T·W·于;Y-P·鄭
• 申請（專利權）人: 巴斯夫歐洲公司
• 主分類號: C11D7/34
• 分類號: C11D7/34;C11D7/26;C11D7/04;C11D7/32;C11D7/50;C11D7/36;C11D7/60;C09K13/00;C23F11/04;C23F1/18;B08B3/08
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 張雙雙;劉金輝

1.一種組合物，包含：

a)脂族或芳族磺酸；

b)一種或多種抑制劑；

c)非質子性溶劑；

d)二醇醚；和

e)水。

2.根據權利要求1的組合物，其中所述脂族或芳族磺酸選自：烷基磺酸(例如甲磺酸、乙磺酸、丙磺酸、丁磺酸和己磺酸)、3-(N-嗎啉基)丙磺酸(MOPS)、2-(N-嗎啉基)乙磺酸(MES)、N-環己基-2-氨基乙磺酸(CHES)、3-[4-(2-羥乙基)-1-哌嗪基]丙磺酸(HEPPS)、N-環己基-3-氨基丙磺酸(CAPS)或其混合物。

3.根據權利要求2的組合物，其中所述脂族或芳族磺酸基于組合物的總重量以范圍為0.05wt％至4wt％，優選0.1wt％至1wt％，最優選0.1wt％至0.5wt％，例如0.3wt％的量存在于所述組合物中。

4.根據權利要求1的組合物，其中所述抑制劑為聚乙烯亞胺、聚甲基吖丙啶和/或選自已知為咪唑烷酮(圖7a)、咪唑烷(圖7b)或2-唑烷酮(圖7c)或其混合物的化合物類別；或所述抑制劑可為例如亞乙基脲、N-(2-羥乙基)亞乙基脲、1-(2-羥乙基)-2-咪唑烷酮或2-唑烷酮、3-甲基-2-唑烷酮和其衍生物。

5.根據權利要求4的組合物，其中所述抑制劑或各抑制劑單獨地基于組合物的總重量以范圍為0.1wt％至10wt％，例如2.7wt％的量存在于所述組合物中。

6.根據權利要求1的組合物，其中所述非質子性溶劑選自二甲亞砜(DMSO)、環丁砜、碳酸亞丙酯、二甲基乙酰胺(DMAc)、N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)或二甲基甲酰胺(DMF)或其混合物。

7.根據權利要求6的組合物，其中所述非質子性溶劑基于組合物的總重量以范圍為5wt％至50wt％，更優選20wt％至45wt％，最優選30wt％至40wt％，例如35wt％的量存在于所述組合物中。

8.根據權利要求1的組合物，其中所述二醇醚選自二乙二醇丁醚、2-己氧基-1-乙醇、四氫糠醇、乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單丁醚、2-(萘-6-基氧基)聚乙氧基乙醇、乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丙醚、二乙二醇單異丙醚、二乙二醇單丁醚、二乙二醇單異丁醚、二乙二醇單芐基醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、三乙二醇單甲醚、三乙二醇二甲醚、聚乙二醇單甲醚、二乙二醇甲基乙基醚、三乙二醇乙二醇單甲醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單甲醚、丙二醇二甲醚、丙二醇單丁醚、丙二醇單丙醚、二丙二醇單甲醚、二丙二醇單丙醚、二丙二醇單異丙醚、二丙二醇單丁醚、二丙二醇二異丙醚、三丙二醇單甲醚、1-甲氧基-2-丁醇、2-甲氧基-1-丁醇、2-甲氧基-2-甲基丁醇、1,1-二甲氧乙烷、2-(2-丁氧基乙氧基)乙醇或其混合物。

9.根據權利要求8的組合物，其中所述二醇醚基于組合物的總重量以范圍為1wt％至60wt％的量存在于所述組合物中。

10.根據權利要求8的組合物，其中所述溶劑和水的比率為1:10至2:1，更優選1:8至1:1，最優選1:5至1:1。

11.根據權利要求1-10中任一項的組合物與氧化劑和任選地所述氧化劑的穩定劑的組合在移除有機和/或無機殘余物(任選地含有F)和/或在另外的金屬如W的存在下蝕刻TiN中的用途。

12.根據權利要求11的用途，其中所述氧化劑選自過氧化氫(H₂O₂)、過氧化脲、過二硫酸、過硫酸銨、過氧單硫酸、焦硫酸、臭氧，優選過氧化氫。