[發明專利]一種氣敏傳感器的制備方法

在審

• 申請號: 202310296286.1
• 申請日: 2023-03-24
• 公開（公告）號: CN116297752A
• 公開（公告）日: 2023-06-23
• 發明（設計）人: 李中;彭建華
• 申請（專利權）人: 蘇州中芯微納傳感科技有限公司
• 主分類號: G01N27/30
• 分類號: G01N27/30
• 代理公司: 深圳泛航知識產權代理事務所(普通合伙) 44867
• 代理人: 張智軼

1.一種氣敏傳感器的制備方法，其具體制備步驟如下所示：

步驟一，取10-70mg四氧化三錫方片型材料方片型材料與10-70ml乙二醇混合，通過攪拌器對其攪拌，攪拌均勻后加入5-50mg偶氮二異丁腈，反應10-12h，然后添加五氧化二釩和氧化鎵材料，并繼續攪拌，再添加二氧化鋯和SnO2，同時往SnO2中添加Pt，再滴入0.008-0.15mmol的氯鉑酸溶液，攪拌得第一混合物；

步驟二，將第一混合物加入反應釜內部，然后往反應釜加入20-80ml甲基丙烯酸縮水甘油酯、35-40mg三苯基膦和10-20mg對甲氧基苯酚，并對混合物進行攪拌和加熱，使得混合物反應6-7h，然后加入二氯甲烷進行沉淀；

步驟三，將沉淀后的混合物轉移至真空干燥箱內，在溫度40-45℃下干燥處理4-8小時后，得半成品，然后取出真空干燥箱；

步驟四，將半成品與去離子水混合后，加入異丙醇，攪拌均勻，再調成糊狀，然后均勻涂布在三氧化鋁/Au電極上，待晾干后，再在三氧化鋁/Au電極表面摻雜SnO2/SnO2:Pt雙層膜材料，然后置于干燥箱內干燥3-5h得電極；

步驟五，在干燥的同時可進行紫外光曝光，靜置，然后將電極焊接在電極底座上，完成氣敏傳感器的制備。

2.根據權利要求1所述的一種氣敏傳感器的制備方法，其特征在于：在步驟一中，所述Sn3O4方片型材料由高純水、乙醇、水楊酸、NaOH溶液、二水氯化亞錫和聚四氟乙烯等材料經混合攪拌、離心洗滌和干燥、燒結等步驟制備而成。

3.根據權利要求2所述的一種氣敏傳感器的制備方法，其特征在于：所述水楊酸為0.4g，NaOH溶液為10ml，二水氯化亞錫為0.5g。

4.根據權利要求2所述的一種氣敏傳感器的制備方法，其特征在于：所述干燥溫度為45-60℃，干燥時間為3h，燒結溫度為200-500℃。

5.根據權利要求1所述的一種氣敏傳感器的制備方法，其特征在于：在步驟一中，攪拌速度為600-1000rpm，在步驟四中，三氧化鋁/Au電極為插指電極。

6.根據權利要求1所述的一種氣敏傳感器的制備方法，其特征在于：在步驟二中，加熱溫度為100℃，攪拌速度為400-800rpm。

7.根據權利要求1所述的一種氣敏傳感器的制備方法，其特征在于：在步驟五中，曝光能量為1.85J/cm2，靜置時間為1h。