[發明專利]一種圓片翻轉異常偵測方法及系統

在審

• 申請號: 202310277712.7
• 申請日: 2023-03-21
• 公開（公告）號: CN116344397A
• 公開（公告）日: 2023-06-27
• 發明（設計）人: 丁愛祥;譚秀文;呂劍
• 申請（專利權）人: 華虹半導體（無錫）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/66
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 戴廣志

1.一種圓片翻轉異常偵測系統，其特征在于，所述系統包括：背面濺射設備、翻轉機構、偵測傳感器和聲光報警裝置；

所述背面濺射設備用于對晶圓圓片的背面進行工藝；

所述翻轉機構位于所述背面濺射設備工作范圍內，所述翻轉機構用于固定所述圓片并進行翻轉操作；

所述偵測傳感器設置于所述背面濺射設備處，所述偵測傳感器的偵測空間包括所述翻轉機構的動作空間；

所述聲光報警裝置與所述偵測傳感器電性進行信息交互，所述聲光報警裝置用于所述偵測傳感器偵測異常時發出報警。

2.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述偵測傳感器包括發射傳感器和接受傳感器，所述發射傳感器和所述接受傳感器間隔設置；

所述發射傳感器用于向所述接受傳感器發射探測光，所述接受傳感器用于接收所述探測光。

3.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述聲光報警裝置包括報警蜂鳴器和重置按鈕；

所述報警蜂鳴器報警時帶燈光閃爍，所述重置按鈕用于報警后恢復。

4.根據權利要求2所述的系統，其特征在于，所述探測光為紅外光。

5.根據權利要求2所述的系統，其特征在于，所述探測光為可見光。

6.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述圓片的厚度在50um～990um之間。

7.一種圓片翻轉異常偵測方法，其特征在于，所述方法用于權利要求1至6任一所述的圓片翻轉異常偵測系統，所述方法包括：

響應于所述圓片傳到所述翻轉機構，所述偵測傳感器與所述翻轉機構啟動；

響應于所述偵測傳感器感應時間超過目標感應時間，所述聲光報警裝置報警。

8.根據權利要求7所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：

響應于聲光報警裝置未報警，偵測所述圓片完成翻轉。