[發明專利]電源輸出功率控制方法和裝置

有效

• 申請號: 202310262820.7
• 申請日: 2023-03-17
• 公開（公告）號: CN115981410B
• 公開（公告）日: 2023-06-02
• 發明（設計）人: 樂衛平;林桂浩;唐亞海
• 申請（專利權）人: 深圳市恒運昌真空技術有限公司
• 主分類號: G05F1/66
• 分類號: G05F1/66
• 代理公司: 北京惟盛達知識產權代理事務所(普通合伙) 11855
• 代理人: 楊青

本發明涉及一種電源輸出功率控制方法和裝置涉及電源輸出功率控制技術，該方法根據目標輸出功率確定初始輸出功率，獲取初始PID控制參數，初始PID控制參數與初始輸出功率對應；采用初始PID控制參數控制電源啟動，使電源在啟動時輸出的功率達到初始輸出功率；調整PID控制參數，直至電源的輸出功率達到目標輸出功率，目標輸出功率滿足負載的運行功率需求，初始輸出功率和目標輸出功率的差值在預設誤差范圍之內，解決了現有技術中直接采用PID控制器來控制射頻/直流電源的功率輸出，電源輸出功率上升時間長的問題。

技術領域

本發明涉及電源輸出功率控制技術領域，尤其涉及一種電源輸出功率控制方法和裝置。

背景技術

現有的電源輸出功率控制系統，是由射頻/直流電源通過匹配網絡結合至真空腔體的負載。系統啟動時，電源逐漸提高功率輸出，直接達到工藝需求的功率。在工藝進行期間，通過與匹配網絡的配合，輸入阻抗能穩定的維持在50Ω±0j，使得射頻/直流電源的功率輸出能被穩定的引入腔體負載。一般會配合采用PID控制器來控制射頻/直流電源的功率輸出，確保輸出功率的穩定上升。為確保輸出功率的穩定，所以功率曲線上升時間一般較長，時常需求毫秒(ms)級別或是非常接近秒(s)級別的上升時間。這就造成電源啟動到功率穩定輸出，這時間段的設備響應是非常久的。

發明內容

本發明要解決的技術問題在于克服現有技術中直接采用PID控制器來控制射頻/直流電源的功率輸出，電源輸出功率上升時間長的問題，從而提供一種電源輸出功率控制方法和裝置。

為解決上述技術問題，本發明公開實施例至少提供一種電源輸出功率控制方法和裝置。

第一方面，本發明公開實施例提供了一種電源輸出功率控制方法，包括：

根據目標輸出功率確定初始輸出功率；

獲取初始PID控制參數，所述初始PID控制參數與所述初始輸出功率對應；

采用所述初始PID控制參數控制所述電源啟動，使所述電源在啟動時輸出的功率達到所述初始輸出功率；

調整PID控制參數，直至所述電源的輸出功率達到目標輸出功率，所述目標輸出功率滿足負載的運行功率需求，所述初始輸出功率和所述目標輸出功率的差值在預設誤差范圍之內。

可選地，所述獲取初始PID控制參數為：根據所述電源的功率輸出映射表獲取所述初始PID控制參數，所述功率輸出映射表記錄所述電源的輸出功率和PID控制參數之間的對應關系。

可選地，在所述根據所述電源的功率輸出映射表獲取所述初始PID控制參數之前，還包括建立所述功率輸出映射表，所述建立所述功率輸出映射表包括：控制所述電源進行電信號輸出；對所述電源輸出的電信號進行采樣，以獲取所述電源輸出電信號的功率曲線；根據所述功率曲線確定電源輸出功率與PID控制參數的對應關系；根據電源輸出功率與PID控制參數的對應關建立所述功率輸出映射表。

可選地，所述根據所述功率曲線確定電源輸出功率與PID控制參數的對應關系包括：將所述電源輸出功率的功率范圍分割成不同的功率區間，使分割出的每個所述功率區間包括至少一個采樣功率數值；從每個所述功率區間內確定一個代表功率；記錄每個所述代表功率對應的PID控制參數；

根據每個所述代表功率及對應的PID控制參數確定電源輸出功率與PID控制參數的對應關系。

可選地，所述調整PID控制參數包括：若所述目標輸出功率所述初始輸出功率，則調高所述初始PID控制參數；若所述目標輸出功率所述初始輸出功率，則調低所述初始PID控制參數。

可選地，所述使所述電源在啟動時輸出的功率達到所述初始輸出功率為：使所述電源在啟動時的輸出功率直線上升到所述初始輸出功率。