[發(fā)明專(zhuān)利]一種磁性材料薄膜制備用電沉積裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202310262434.8
• 申請(qǐng)日: 2023-03-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN116121835A
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-05-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 惠貞貞;鄭勝彪;王彥平;仇楠楠;張晨嵩;左緒忠;葉祥桔;胡瑞章;潘鑫塬;吳少松;盧思迪
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 安徽科技學(xué)院
• 主分類(lèi)號(hào): C25D17/00
• 分類(lèi)號(hào): C25D17/00;C25D21/02;C25D7/06;C25D21/10
• 代理公司: 南京業(yè)騰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32321
• 代理人: 李靜

1.一種磁性材料薄膜制備用電沉積裝置，包括固定座(1)，其特征在于，所述固定座(1)的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有加熱腔(21)，且加熱腔(21)的頂部?jī)?nèi)壁開(kāi)設(shè)有通口(22)，所述通口(22)的內(nèi)壁滑動(dòng)連接有槽體(2)，所述槽體(2)底部?jī)?nèi)壁的兩側(cè)均通過(guò)螺栓連接有陽(yáng)極板(4)，所述槽體(2)的底部?jī)?nèi)壁開(kāi)設(shè)有連接口，且連接口的內(nèi)壁固定有墊板(3)，所述墊板(3)為柔性材質(zhì)，所述加熱腔(21)一側(cè)內(nèi)壁的兩端均設(shè)置有加熱器(24)，所述加熱腔(21)的一側(cè)內(nèi)壁開(kāi)設(shè)有水口，所述加熱腔(21)的內(nèi)部設(shè)置有擺動(dòng)機(jī)構(gòu)(23)，且擺動(dòng)機(jī)構(gòu)(23)包括轉(zhuǎn)桿(27)、第一擺動(dòng)板(25)和第二擺動(dòng)板(30)，所述轉(zhuǎn)桿(27)的兩端與加熱腔(21)之間通過(guò)軸承形成轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述第一擺動(dòng)板(25)和第二擺動(dòng)板(30)的底部外壁均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)軸(26)，且轉(zhuǎn)軸(26)的底部外壁與加熱腔(21)之間通過(guò)螺栓連接，所述轉(zhuǎn)桿(27)外壁的兩端分別設(shè)置有第一凸起部(28)和第二凸起部(31)，且第一凸起部(28)和第二凸起部(31)對(duì)稱(chēng)分布，所述第一凸起部(28)和第二凸起部(31)的位置相反，所述第一凸起部(28)和第二凸起部(31)的外壁均轉(zhuǎn)動(dòng)套接有軸套(32)，且其中一個(gè)軸套(32)與第一擺動(dòng)板(25)之間以及另一個(gè)軸套(32)與第二擺動(dòng)板(30)之間均通過(guò)鉸鏈連接有連接軸(29)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁性材料薄膜制備用電沉積裝置，其特征在于，所述固定座(1)的一側(cè)外壁通過(guò)螺栓連接有支撐座(6)，且支撐座(6)的頂部外壁開(kāi)設(shè)有固定槽(8)，固定槽(8)相對(duì)的兩側(cè)內(nèi)壁之間通過(guò)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一螺桿(9)，固定槽(8)的內(nèi)壁滑動(dòng)連接有滑塊，滑塊的外壁開(kāi)設(shè)有螺紋孔，螺紋孔與第一螺桿(9)之間螺紋連接，滑塊的頂部外壁通過(guò)螺栓連接有支撐架(10)，支撐架(10)的頂部外壁設(shè)置有升降機(jī)構(gòu)，支撐座(6)的一側(cè)外壁通過(guò)螺栓連接有第一電機(jī)(7)，第一電機(jī)(7)與第一螺桿(9)之間固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種磁性材料薄膜制備用電沉積裝置，其特征在于，所述支撐座(6)的一側(cè)外壁開(kāi)設(shè)有定位槽(18)，且定位槽(18)的內(nèi)壁滑動(dòng)連接有定位塊，定位塊與支撐架(10)之間通過(guò)螺栓連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種磁性材料薄膜制備用電沉積裝置，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)包括升降架(11)、第二螺桿(12)和第二電機(jī)(14)，且升降架(11)與支撐架(10)之間通過(guò)螺栓連接，升降架(11)相對(duì)的兩側(cè)內(nèi)壁之間與第二螺桿(12)之間通過(guò)軸承形成轉(zhuǎn)動(dòng)連接，第二螺桿(12)的外壁螺紋連接有連接塊(13)，連接塊(13)的一側(cè)外壁通過(guò)螺栓連接有支撐板(15)，支撐板(15)的底部外壁設(shè)置有固定機(jī)構(gòu)(16)，固定機(jī)構(gòu)(16)底部外壁的兩側(cè)均設(shè)置有陰極板(17)，第二電機(jī)(14)與升降架(11)之間通過(guò)螺栓連接，第二電機(jī)(14)輸出軸的一端與第二螺桿(12)之間固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種磁性材料薄膜制備用電沉積裝置，其特征在于，所述升降架(11)相對(duì)的兩側(cè)內(nèi)壁之間開(kāi)設(shè)有導(dǎo)向槽(19)，且導(dǎo)向槽(19)的內(nèi)壁滑動(dòng)連接有導(dǎo)向塊(20)，導(dǎo)向塊(20)與連接塊(13)之間固定連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種磁性材料薄膜制備用電沉積裝置，其特征在于，所述固定機(jī)構(gòu)(16)包括連接板(40)、推板(41)和夾板(39)，且連接板(40)與支撐板(15)之間固定連接，連接板(40)與推板(41)之間通過(guò)螺栓連接有液壓桿(47)，夾板(39)與推板(41)之間通過(guò)螺栓連接有彈簧(44)，兩個(gè)夾板(39)相對(duì)的一側(cè)外壁靠近底部的位置通過(guò)螺栓連接有固定夾(45)，固定夾(45)的頂部外壁開(kāi)設(shè)有螺紋通孔，螺紋通孔的內(nèi)壁螺紋連接有緊固栓(46)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種磁性材料薄膜制備用電沉積裝置，其特征在于，所述固定座(1)頂部外壁的兩側(cè)均通過(guò)螺栓連接有限位架(33)，且兩個(gè)限位架(33)對(duì)稱(chēng)分布在槽體(2)的兩側(cè)，限位架(33)與擺動(dòng)機(jī)構(gòu)(23)之間設(shè)置有振動(dòng)機(jī)構(gòu)(5)。