[發(fā)明專利]一種極紫外波段光同時實現(xiàn)單點聚焦及波前分割的方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202310259358.5
• 申請日: 2023-03-16
• 公開（公告）號: CN116149053A
• 公開（公告）日: 2023-05-23
• 發(fā)明（設計）人: 崔懷愈;趙永蓬;趙東迪;王致遠
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業(yè)大學
• 主分類號: G02B27/00
• 分類號: G02B27/00
• 代理公司: 哈爾濱華夏松花江知識產權代理有限公司 23213
• 代理人: 侯靜

1.一種極紫外波段光同時實現(xiàn)單點聚焦及波前分割的方法，所述的單點聚焦及波前分割的方法是利用光學元件通過調整極紫外波段光與光學元件的角度關系實現(xiàn)的，其特征在于所述的方法如下：

設光軸與光學元件中心軸夾角為θ，單根入射光線與光學元件內表面入射點處切線方向的夾角為θ₁，單根入射光線與光軸的夾角為θ₂，單根光入射點法線與光學元件中心軸夾角為θ₃；上述角度需滿足以下公式：

(90°-θ₁)+(θ₂+θ)+(180°-θ₃)＝180°????????????????(1)

依據(jù)上述公式調控掠入射反射的極紫外波段光與光學元件的關系，即完成所述的實現(xiàn)掠入射反射的極紫外波段光單點聚焦以及波前分割的方法。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種極紫外波段光同時實現(xiàn)單點聚焦及波前分割的方法，其特征在于設掠入射光的全反射角為θ_c，則所述的復折射率實部δ計算公式為：

其中，r_e為經(jīng)典電子半徑，N為原子密度，λ為入射光波長，f₁(ω)為原子散射因子的實部。

3.根據(jù)權利要求1或2所述的一種極紫外波段光同時實現(xiàn)單點聚焦及波前分割的方法，其特征在于設掠入射光的全反射角為θ_c；當θ₁≤θ_c時，單根光線在光學元件內表面為全反射，當θ₁θ_c時，單根光線在光學元件內表面為非全反射。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種極紫外波段光同時實現(xiàn)單點聚焦及波前分割的方法，其特征在于所述的光學元件的光源進入端的端口半徑為r₁，光源射出端的端口半徑為r₂，所述的極紫外波段光的入射光斑半徑小于等于r₁，焦平面上的極紫外波段光的光斑半徑小于等于r₂。

5.根據(jù)權利要求1或4所述的一種極紫外波段光同時實現(xiàn)單點聚焦及波前分割的方法，其特征在于所述的光學元件的內表面的面型為使掠入射反射的極紫外波段光的入射光線被全反射或接近全反射的面型。