[發明專利]無應力減薄設備

在審

• 申請號: 202310247723.0
• 申請日: 2023-03-15
• 公開（公告）號: CN116313908A
• 公開（公告）日: 2023-06-23
• 發明（設計）人: 王解兵;袁爭
• 申請（專利權）人: 東潤萬博科技（北京）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B01D29/03;B01D29/52;B08B9/087
• 代理公司: 安徽致至知識產權代理事務所(普通合伙) 34221
• 代理人: 孫建群

1.無應力減薄設備，包括承接箱(1)、蝕刻工作臺(4)與晶圓攜持臂(7)，其特征在于，所述蝕刻工作臺(4)通過支撐架(3)設置在承接箱(1)中，所述蝕刻工作臺(4)中設有蝕刻化學液盒(5)，且蝕刻化學液盒(5)外側設有過濾框(6)并套設在蝕刻工作臺(4)外側部。

2.根據權利要求1所述的無應力減薄設備，其特征在于，所述支撐架(3)包括兩個支撐橫板(310)，且兩個支撐橫板(310)底部靠近兩端的位置皆設有加強板(320)，兩個支撐橫板(310)的同一端皆設有通過螺栓與承接箱(1)內壁連接的連接塊(340)，兩個支撐橫板(310)頂部遠離連接塊(340)的位置皆設有搭接塊(330)；

所述蝕刻工作臺(4)底部開設有供搭接塊(330)進行插設的搭接孔(450)。

3.根據權利要求1所述的無應力減薄設備，其特征在于，所述蝕刻工作臺(4)頂部中間位置貫穿開設有用于安放蝕刻化學液盒(5)的安裝孔(410)；

所述蝕刻化學液盒(5)表面固定套設有連接環(510)，所述蝕刻化學液盒(5)表面還連通設有用將化學液注入到蝕刻化學液盒(5)中的進液管(520)。

4.根據權利要求1所述的無應力減薄設備，其特征在于，所述蝕刻工作臺(4)頂部位于安裝孔(410)外部固定設有導流邊(420)，所述蝕刻工作臺(4)頂部開設有用于將蝕刻工作臺(4)頂部化學液導流下去的導流槽(430)。

5.根據權利要求1所述的無應力減薄設備，其特征在于，所述過濾框(6)內側壁靠近頂部拐角處的位置固定設有限位塊(610)，所述蝕刻工作臺(4)頂部靠近拐角處的位置開設有與限位塊(610)相匹配的限位槽(440)。

6.根據權利要求1所述的無應力減薄設備，其特征在于，所述承接箱(1)內部底端設有用于對承接箱(1)內部底端沉淀附著物進行清理的清理結構(2)，且清理結構(2)包括驅動組件與清理組件，其中驅動組件用于帶動清理組件進行清理工作。

7.根據權利要求6所述的無應力減薄設備，其特征在于，所述驅動組件包括設置在承接箱(1)外表面的伺服電機(240)，所述伺服電機(240)的輸出端的輸出軸上設有雙槽的傳動輪B(241)；

所述驅動組件還包括貫穿承載箱(1)的兩個絲桿(220)，兩個絲桿(220)表面靠近一端的位置上皆套設有單槽的傳動輪A(230)并位于承載箱(1)外部，且兩個傳動輪A(230)與一個傳動輪B(241)之間皆套設有傳動帶(250)。

8.根據權利要求6所述的無應力減薄設備，其特征在于，所述清理組件包括設置在承載箱(1)內部底端的兩個相對的清理板(210)，且兩個清理板(210)頂部皆固定設有兩個與絲桿(220)相匹配套設的驅動塊(2112)。

9.根據權利要求8所述的無應力減薄設備，其特征在于，所述清理板(210)包括相連接的擋板(211)與清理底塊(212)，所述擋板(211)底部開設有連接插孔(2111)，所述清理底塊(212)頂部固定設有與連接插孔(2111)相插配的連接插塊(2121)。

10.根據權利要求9所述的無應力減薄設備，其特征在于，所述清理底塊(212)包括方形桿部、三棱桿部與梯形桿部，其中三棱桿部與梯形桿部分別一體連接在方形桿部兩側，并且在兩個清理底塊(212)中，兩個清理底塊(212)中的梯形桿部處于相對位置。