[發(fā)明專利]一種單分散微球腔耦合的封裝方法及器件在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202310233285.2 | 申請(qǐng)日： | 2023-03-07 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN116477563A | 公開(kāi)（公告）日： | 2023-07-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 肖云峰;李長(zhǎng)輝;孫伽略;唐水晶;孟家偉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 北京大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | B81C1/00 | 分類號(hào)： | B81C1/00;G02B6/26;B81B1/00;C03B37/02 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 趙迎迎 |
| 地址： | 100871 北*** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 分散 微球腔 耦合 封裝 方法 器件 | ||
1.一種單分散微球腔耦合的封裝方法，其特征在于，包括：
制備光纖錐；
制備拉錐光纖；
使用所述光纖錐與單分散微球腔靜電吸附，轉(zhuǎn)移所述單分散微球腔至所述拉錐光纖；
將所述單分散微球腔與所述拉錐光纖的錐區(qū)耦合；
轉(zhuǎn)移低折射率膠水至所述拉錐光纖和所述單分散微球腔，進(jìn)而封裝；
其中，所述低折射率膠水的折射率小于所述拉錐光纖和所述單分散微球腔的折射率。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單分散微球腔耦合的封裝方法，其特征在于，所述制備光纖錐包括：
選擇標(biāo)準(zhǔn)光纖，在所述標(biāo)準(zhǔn)光纖的一端懸掛重物；
使用二氧化碳激光器，在功率P1下進(jìn)行燒制；
監(jiān)控所述標(biāo)準(zhǔn)光纖的錐區(qū)長(zhǎng)度，在所述錐區(qū)長(zhǎng)度大于等于L1時(shí)，在t1時(shí)間內(nèi)，所述二氧化碳激光器的功率由P1增大至P2；
監(jiān)控所述標(biāo)準(zhǔn)光纖的錐區(qū)長(zhǎng)度，在所述錐區(qū)長(zhǎng)度大于等于L2時(shí)，在t2時(shí)間內(nèi)，所述二氧化碳激光器的功率由P2增大至P3，熔斷所述標(biāo)準(zhǔn)光纖懸掛重物一端；
其中，L1＞L2；P3＞P2＞P1；t2＜t1。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單分散微球腔耦合的封裝方法，其特征在于，在所述使用所述光纖錐與單分散微球腔靜電吸附，轉(zhuǎn)移所述單分散微球腔至所述拉錐光纖之前，包括：
使用所述光纖錐蘸取低折射率膠水微滴；
調(diào)整所述低折射率膠水微滴的大??；
將直徑為d1的低折射率膠水微滴轉(zhuǎn)移至所述拉錐光纖的錐區(qū)；
其中，d1≤5μm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單分散微球腔耦合的封裝方法，其特征在于，所述轉(zhuǎn)移低折射率膠水至所述拉錐光纖和所述單分散微球腔，進(jìn)而封裝，包括：
使用所述光纖錐蘸取低折射率膠水微滴；
調(diào)整所述低折射率膠水微滴的大??；
將直徑為d2的低折射率膠水微滴轉(zhuǎn)移至所述單分散微球腔；
其中，d2≤20μm。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的單分散微球腔耦合的封裝方法，其特征在于，在所述將所述直徑為d2的低折射率膠水微滴轉(zhuǎn)移至所述單分散微球腔之后，還包括：
使用所述光纖錐蘸取低折射率膠水微滴；
調(diào)整所述低折射率膠水微滴的大?。?/p>
將直徑為d3的低折射率膠水微滴轉(zhuǎn)移至所述單分散微球腔和所述拉錐光纖；
其中，30μm≤d3≤50μm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單分散微球腔耦合的封裝方法，其特征在于，所述將所述單分散微球腔與所述拉錐光纖的錐區(qū)耦合，包括：
沿垂直于所述拉錐光纖的方向，以速度v1移出所述光纖錐；
其中，v1≤5μm/s。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的單分散微球腔耦合的封裝方法，其特征在于，所述將所述單分散微球腔與所述拉錐光纖的錐區(qū)耦合，還包括：
使用可調(diào)諧激光器進(jìn)行掃頻，監(jiān)控所述單分散微球腔和所述拉錐光纖的耦合模式。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單分散微球腔耦合的封裝方法，其特征在于，在所述使用所述光纖錐與單分散微球腔靜電吸附，轉(zhuǎn)移所述單分散微球腔至所述拉錐光纖之前包括：
將單分散微球腔溶液轉(zhuǎn)移至無(wú)塵紙或無(wú)塵布上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的單分散微球腔耦合的封裝方法，其特征在于，所述將單分散微球腔溶液轉(zhuǎn)移至無(wú)塵紙或無(wú)塵布上之后，還包括：
使用加熱板對(duì)所述無(wú)塵紙或無(wú)塵布進(jìn)行烘干。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單分散微球腔耦合的封裝方法，其特征在于，在所述轉(zhuǎn)移低折射率膠水至所述拉錐光纖和所述單分散微球腔，進(jìn)而封裝之后，還包括：
將所述拉錐光纖的尾部套入玻璃套管，并在所述玻璃套管內(nèi)填充所述低折射率膠水。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單分散微球腔耦合的封裝方法，其特征在于，所述拉錐光纖包括彎曲的U型拉錐光纖或直拉錐光纖。
12.一種單分散微球腔耦合的器件，其特征在于，包括單分散微球腔和拉錐光纖；所述單分散微球腔耦合的器件利用權(quán)利要求1-11任一所述的單分散微球腔耦合的封裝方法制備。
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