[發明專利]一種平整度測試方法和裝置

在審

• 申請號: 202310224682.3
• 申請日: 2023-03-07
• 公開（公告）號: CN116295222A
• 公開（公告）日: 2023-06-23
• 發明（設計）人: 楊波;張莉娟
• 申請（專利權）人: 上海芯謙集成電路有限公司
• 主分類號: G01B21/30
• 分類號: G01B21/30
• 代理公司: 上海格聯律師事務所 31412
• 代理人: 陳源源

1.一種平整度測試方法，其特征在于，包括如下步驟：

選擇平整參照面，所述平整參照面與所述拋光墊的測試面相對平行；

在所述測試面上設置多個第一測試點；

獲取多個所述第一測試點與所述平整參照面的距離，記為第一距離；

計算所述第一距離的樣本方差，記為第一方差D₁；

根據所述第一方差判斷所述拋光墊的平整度。

2.根據權利要求1所述的一種平整度測試方法，其特征在于，所述根據所述第一方差判斷所述拋光墊的平整度，包括如下步驟：

根據以下公式計算所述拋光墊的平整度：

其中，F為所述拋光墊的平整度，α和ε為常數，且滿足：0.8≤α≤1.2，0.01≤ε≤0.16；

設置所述平整度的合格范圍；

判斷所述平整度是否位于所述合格范圍內，當所述平整度位于所述合格范圍內，所述拋光墊合格，當所述平整度超出所述合格范圍，所述拋光墊不合格。

3.根據權利要求2所述的一種平整度測試方法，其特征在于，所述設置所述平整度的合格范圍中，所述平整度的合格范圍為0.02～0.15。

4.根據權利要求1所述的一種平整度測試方法，其特征在于，

所述選擇平整參照面，包括如下步驟：

選擇平整參照面，使所述平整參照面與測試臺相對設置；

將所述拋光墊平鋪在所述測試臺上，使所述拋光墊的測試面與所述平整參照面相對平行；

所述根據所述第一方差判斷所述拋光墊的平整度，包括如下步驟：

在所述測試臺上設置多個與所述第一測試點一一對應的第二測試點；

獲取多個所述第二測試點與所述平整參照面的距離，記為第二距離；

計算所述第二距離的樣本方差，記為第二方差D₂；

根據所述第一方差和所述第二方差判斷所述拋光墊的平整度。

5.根據權利要求4所述的一種平整度測試方法，其特征在于，所述根據所述第一方差和所述第二方差判斷所述拋光墊的平整度，包括如下步驟：

根據以下公式計算所述拋光墊的平整度：

其中，F為所述拋光墊的平整度，α、β和ε為常數，且滿足：0.8≤α≤1.2，0.8≤β≤1.2，0.01≤ε≤0.16；

設置所述平整度的合格范圍；

判斷所述平整度是否位于所述合格范圍內，當所述平整度位于所述合格范圍內，所述拋光墊合格，當所述平整度超出所述合格范圍，所述拋光墊不合格。

6.根據權利要求1-5任意一項所述的一種平整度測試方法，其特征在于，所述在所述測試面上設置多個第一測試點中，多個所述第一測試點繞所述測試面的圓心呈同心圓分布。

7.根據權利要求1-5任意一項所述的一種平整度測試方法，其特征在于，所述在所述測試面上設置多個第一測試點中，多個所述第一測試點呈相交排列，且其相交點與所述測試面的圓心重合。

8.一種平整度測試裝置，其特征在于，適用于權利要求1-7任意一項所述的平整度測試方法，所述裝置包括：

選擇模塊，所述選擇模塊用于選擇平整參照面，使所述平整參照面與拋光墊的測試面相對設置，所述選擇模塊還用于在所述測試面上選擇多個第一測試點；

測試模塊，所述測試模塊用于獲取多個所述第一測試點與所述平整參照面的距離；

判斷模塊，所述判斷模塊用于根據多個所述第一距離判斷所述拋光墊的平整度。

9.根據權利要求8所述的平整度測試裝置，其特征在于，所述測試模塊包括：

測試臺，所述測試臺上設有用于放置拋光墊的承載面，所述承載面上分布有多個氣孔；

真空泵，所述真空泵的入口與所述氣孔連通，用于對所述承載面與所述拋光墊之間的空間抽真空；

測試組件，所述測試組件上包括多個測距傳感器，所述測距傳感器與所述承載面相對設置。

10.根據權利要求8所述的平整度測試裝置，其特征在于，所述選擇模塊包括第一滑動桿和固定支架，所述固定支架的一端與所述測距傳感器連接，所述固定支架的另一端與所述第一滑動桿滑動連接，使所述測距傳感器能夠相對于所述第一滑動桿靠近或遠離所述承載面。