[發明專利]一種圖像校正方法、裝置、電子設備及其存儲介質

在審

• 申請號: 202310207689.4
• 申請日: 2023-03-07
• 公開（公告）號: CN116071272A
• 公開（公告）日: 2023-05-05
• 發明（設計）人: 尚躍;王治文
• 申請（專利權）人: 上海聚躍檢測技術有限公司
• 主分類號: G06T5/00
• 分類號: G06T5/00;G06T5/30;G06T7/136;G06T7/155
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 王風茹

本發明公開了一種圖像校正方法、裝置、電子設備及其存儲介質。方法包括：獲取模板對象的掃描圖像，模板對象中包括多個均勻分布的標記點；提取掃描圖像中標記點的觀測位置信息；基于掃描圖像中的中心區域確定標記點的分布間距，并基于標記點的分布間距確定標記點的實際位置信息；基于各標記點的實際位置信息和觀測位置信息確定校正矩陣，校正矩陣用于對目標對象的掃描圖像進行校正處理。本方案通過對掃描電鏡下集成電路圖像確定失真校正點的位置和尺寸和失真校正點的理想不失真位置和尺寸，以及理想不失真圖像和失真圖像之間的映射關系，解決了掃描電鏡成像的過程存在的透鏡畸變等問題，提高了圖像校正的高效性。

技術領域

本發明涉及圖像處理技術領域，尤其涉及一種圖像校正方法、裝置、電子設備及其存儲介質。

背景技術

智能化已成為當今集成電路反向工程的主流趨勢，即采用計算機視覺的方法來做圖像分割、點線識別、元件識別等。

集成電路反向工程是通過對芯片內部電路的提取與分析、整理，實現對芯片技術原理、設計思路、工藝制造、結構機制等方面的深入洞悉。目前，掃描電鏡在獲得集成電路圖像時，需要逐個區域進行掃描，最后通過拼接獲得完整圖像。

在掃描電鏡成像的過程中電磁透鏡存在透鏡畸變，對精確成像帶來困難，進而影響后續的拼接任務，降低圖像校正的效率。

發明內容

本發明提供了一種圖像校正方法、裝置、電子設備及其存儲介質，以解決了掃描電鏡下掃描圖像的畸變問題。

根據本發明的一方面，提供了一種圖像校正方法，包括：

獲取模板對象的掃描圖像，模板對象中包括多個均勻分布的標記點；

提取掃描圖像中標記點的觀測位置信息；

基于掃描圖像中的中心區域確定標記點的分布間距，并基于標記點的分布間距確定標記點的實際位置信息；

基于各標記點的實際位置信息和觀測位置信息確定校正矩陣，校正矩陣用于對目標對象的掃描圖像進行校正處理。

可選的，提取掃描圖像中標記點的觀測位置信息，包括：

對掃描圖像進行二值化處理，得到二值化圖像；

確定二值化圖像中的連通域，提取各個連通域的中心點位置信息作為標記點的觀測位置信息。

可選的，在確定二值化圖像中的連通域之前，還包括：

對二值化圖像進行膨脹處理和腐蝕處理。

可選的，在對掃描圖像進行二值化處理之前，方法還包括：

對掃描圖像進行圖像增強處理，圖像增強處理包括圖像銳化處理。

可選的，基于掃描圖像中的中心區域確定標記點的分布間距，包括：

基于掃描圖像中的中心區域內，同一行/列的兩個標記點的觀測位置信息，以及兩個標記點之間的間隔數量，確定相鄰標記點之間的分布間距。

可選的，基于標記點的分布間距確定標記點的實際位置信息，包括：

基于掃描圖像的中心點坐標、分布間距和標記點與中心點之間的間隔數量，確定標記點的實際位置信息。

可選的，方法還包括：

獲取集成電路板的掃描圖像；

基于校正矩陣對集成電路板的掃描圖像進行校正處理。

根據本發明的另一方面，提供了一種圖像校正裝置，包括：

掃描圖像獲取模塊，用于獲取模板對象的掃描圖像，模板對象中包括多個均勻分布的標記點；