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[發明專利]多層膜勞厄透鏡在審

專利信息
申請號: 202310183673.4 申請日: 2023-02-17
公開(公告)號: CN116130140A 公開(公告)日: 2023-05-16
發明(設計)人: 冀斌;常廣才;岳帥鵬;李明;劉鵬 申請(專利權)人: 中國科學院高能物理研究所
主分類號: G21K1/06 分類號: G21K1/06
代理公司: 北京志霖恒遠知識產權代理有限公司 11435 代理人: 郭棟梁
地址: 100049 北京*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 多層 膜勞厄 透鏡
【權利要求書】:

1.一種多層膜勞厄透鏡,包括層疊設置的多層功能膜層,各所述功能膜層相對于所述多層膜勞厄透鏡的透光軸傾斜設置,所述功能膜層包括層疊設置的吸收層和間隔層,相鄰所述功能膜層的所述吸收層和所述間隔層交替設置;其特征在于,至少部分層數區間內的所述功能膜層的梯度呈線性變化。

2.根據權利要求1所述的多層膜勞厄透鏡,其特征在于,同一所述功能膜層中的所述吸收層與所述間隔層厚度相同。

3.根據權利要求1所述的多層膜勞厄透鏡,其特征在于,所述吸收層的材料包括WSi2和Nb中的至少任一種,所述間隔層的材料包括Si和Al中的至少任一種。

4.根據權利要求1-3任一項所述的多層膜勞厄透鏡,其特征在于,至少部分層數區間內的各所述功能膜層的梯度采用如下方式獲得:

rn=fλ+n2λ2/4;

Dn=fλ/rn

thn=rn/2;

對預定層數區間內各所述功能膜層的thn進行線性擬合,獲得所述梯度;

其中,n為所述多層膜勞厄透鏡自厚向薄方向所述功能膜層的層數,rn為第n層所述功能膜層的位置半徑,λ為所述多層膜勞厄透鏡的工作波長,f為所述多層膜勞厄透鏡的焦距,Dn為第n層所述功能膜層的厚度,thn為未線性擬合的各所述功能膜層的理論梯度值。

5.根據權利要求4所述的多層膜勞厄透鏡,其特征在于,根據以下關系式確定所述多層膜勞厄透鏡的所述功能膜層的最大膜層數N;

DN=2*drout

其中,DN為第N層所述功能膜層的厚度;drout為最外層所述吸收層或所述間隔層的厚度。

6.根據權利要求4所述的多層膜勞厄透鏡,其特征在于,對所有所述功能膜層中70%以上膜層的所述thn進行線性擬合。

7.根據權利要求6所述的多層膜勞厄透鏡,其特征在于,對自預定層所述功能膜層至最外層所述功能膜層的所述thn進行線性擬合。

8.根據權利要求6或7所述的多層膜勞厄透鏡,其特征在于,對所有所述功能膜層中80%的膜層的所述thn進行線性擬合。

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