[發明專利]一種液體循環過濾裝置及樣本表面切削成像系統

在審

• 申請號: 202310179442.6
• 申請日: 2023-02-28
• 公開（公告）號: CN116139581A
• 公開（公告）日: 2023-05-23
• 發明（設計）人: 江濤;龔輝;袁菁
• 申請（專利權）人: 華中科技大學蘇州腦空間信息研究院
• 主分類號: B01D35/02
• 分類號: B01D35/02;G01N21/84;B01D24/00
• 代理公司: 杭州宇信聯合知識產權代理有限公司 33401
• 代理人: 王健

1.一種液體循環過濾裝置，其特征在于，包括：

加工槽；

吸液過濾支路，所述吸液過濾支路包括：具有斜口結構的吸液頭、水氣兩用泵和過濾器；所述水氣兩用泵的抽液口連通所述吸液頭并控制所述吸液頭抽取加工槽內加工液的抽液流量，所述水氣兩用泵的出液口連通所述過濾器的進液口；

儲液裝置，所述儲液裝置用于儲存加工液以及接收從所述過濾器的出液口流出的加工液；

回液管，所述回液管的進液端與所述儲液裝置的出液口連通，所述回液管的出液口用于向所述加工槽內輸送加工液；所述吸液頭全部沒入所述加工液內時，所述吸液頭的抽液流量大于所述回液管的出液口的出液流量。

2.根據權利要求1所述的液體循環過濾裝置，其特征在于，所述水氣兩用泵和所述過濾器之間安裝有安全閥，所述安全閥的進液口連通所述水氣兩用泵的出液口，所述安全閥的出液口連通所述過濾器的進液口，所述安全閥的泄壓口設置有泄壓管。

3.根據權利要求1所述的液體循環過濾裝置，其特征在于，還包括排液支路，所述排液支路包括排液管、排液閥和廢液槽，所述排液管一端與所述加工槽的底部連通，另一端設置于所述廢液槽內，所述排液閥設置于所述排液管上。

4.根據權利要求3所述的液體循環過濾裝置，其特征在于，還包括防漏裝置，所述防漏裝置包括防漏槽和防漏管，所述防漏槽設置于所述加工槽下方，所述防漏管一端與所述防漏槽的底部連通，另一端與所述排液管連通。

5.根據權利要求1所述的液體循環過濾裝置，其特征在于，所述過濾器包括殼體、蓋體以及過濾件，所述蓋體與所述殼體可拆卸連接固定，所述蓋體上設置有進液口，所述殼體上設置有出液口，所述過濾件設置于所述殼體內。

6.根據權利要求5所述的液體循環過濾裝置，其特征在于，所述蓋體與所述殼體螺紋連接。

7.根據權利要求5所述的液體循環過濾裝置，其特征在于，所述過濾件包括一級過濾棉和二級過濾棉，所述一級過濾棉設置于所述二級過濾棉上方，所述殼體和所述一級過濾棉均為桶狀結構，所述一級濾棉的周緣與所述殼體抵接。

8.一種樣本表面切削成像系統，其特征在于，包括：照明成像裝置、樣本表面切削裝置、樣本移動裝置以及如權利要求1—7任一項所述的液體循環過濾裝置。

9.根據權利要求8所述的樣本表面切削成像系統，其特征在于，吸液頭的斜口側靠近所述樣本表面切削裝置中切削刀的刀刃設置。

10.根據權利要求9所述的樣本表面切削成像系統，其特征在于，所述吸液頭的尖端端部高于所述刀刃，所述吸液頭的斜口所在平面相對于水平面的傾斜角度為15～60度。