[發明專利]一種擴展諧振腔多結垂直腔面發射激光器

在審

• 申請號: 202310168132.4
• 申請日: 2023-02-27
• 公開（公告）號: CN116053931A
• 公開（公告）日: 2023-05-02
• 發明（設計）人: 鄭君雄;石愷豐;李惠;黃杰;王青
• 申請（專利權）人: 深圳市中科光芯半導體科技有限公司
• 主分類號: H01S5/183
• 分類號: H01S5/183;H01S5/028;H01S5/30
• 代理公司: 天津煜博知識產權代理事務所(普通合伙) 12246
• 代理人: 肖琳琳

1.一種擴展諧振腔多結垂直腔面發射激光器，其特征在于：包括自下而上依次疊加設置的負電極(1)、砷化鎵基板(2)、下反射鏡N-DBR(3)、擴展多結諧振腔(18)、上反射鏡P-DBR(16)、正電極(17)，其中，所述擴展多結諧振腔(18)由多個有源區疊加組成，相鄰的有源區之間通過隧道結連接，最頂部的有源區與上反射鏡P-DBR(16)之間通過隧道結連接。

2.根據權利要求1所述的擴展諧振腔多結垂直腔面發射激光器，其特征在于：最底部的有源區與下反射鏡N-DBR(3)之間直接連接或者通過隧道結連接。

3.根據權利要求1所述的擴展諧振腔多結垂直腔面發射激光器，其特征在于：所述擴展多結諧振腔(18)水平方向的長度至少為20倍發射光波長。

4.根據權利要求1所述的擴展諧振腔多結垂直腔面發射激光器，其特征在于：所述擴展多結諧振腔(18)為左右對稱結構或者為非左右對稱結構。

5.根據權利要求4所述的擴展諧振腔多結垂直腔面發射激光器，其特征在于：所述擴展多結諧振腔(18)左側或右側的長度比另一側多出2～4倍發射光波長。

6.根據權利要求1所述的擴展諧振腔多結垂直腔面發射激光器，其特征在于：所述擴展多結諧振腔(18)中包含6個有源區，6個有源區之間通過6個隧道結連接。