[發(fā)明專(zhuān)利]一種掩膜輔助激光沖擊燒結(jié)技術(shù)制備導(dǎo)電圖案薄膜的方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202310167677.3
• 申請(qǐng)日: 2023-02-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN116056349A
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-05-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬友娟;王霄;崔毛毛;嚴(yán)長(zhǎng);劉會(huì)霞
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 江蘇大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): H05K3/02
• 分類(lèi)號(hào): H05K3/02
• 代理公司: 南京智造力知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32382
• 代理人: 王軍麗

1.一種掩膜輔助激光沖擊燒結(jié)技術(shù)制備導(dǎo)電圖案薄膜的方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟一：制備導(dǎo)電粉末的酒精分散溶液；

步驟二：將導(dǎo)電粉末的酒精分散溶液涂覆于絕緣基板粗糙表面上形成一定厚度的粒子層；

步驟三：將步驟二中得到的涂覆有粒子層的絕緣基板置于干燥箱內(nèi)烘干；

步驟四：在烘干后的涂覆有粒子層的絕緣基板上依次設(shè)置吸收層、約束層和預(yù)制圖案的掩膜板并夾緊；

步驟五：使得激光器發(fā)出的激光光斑按照一定路徑掃描掩膜板內(nèi)腔，利用沖擊波使導(dǎo)電粒子固結(jié)并與絕緣基板粗糙表面連接，從而在絕緣基板上得到特定圖案的導(dǎo)電薄膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜輔助激光沖擊燒結(jié)技術(shù)制備導(dǎo)電圖案薄膜的方法，其特征在于，步驟一中，導(dǎo)電粉末為納米粉，導(dǎo)電粉末平均粒徑不大于100nm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜輔助激光沖擊燒結(jié)技術(shù)制備導(dǎo)電圖案薄膜的方法，其特征在于，步驟五中，激光器為脈沖激光器，波長(zhǎng)為532～1064nm，激光光斑直徑為2～4mm，激光能量為2～10J。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜輔助激光沖擊燒結(jié)技術(shù)制備導(dǎo)電圖案薄膜的方法，其特征在于，步驟二中，涂覆方法為滴涂、旋涂或者噴涂，涂覆的粒子層厚度為100nm～20μm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜輔助激光沖擊燒結(jié)技術(shù)制備導(dǎo)電圖案薄膜的方法，其特征在于，步驟一中，導(dǎo)電粉末為銅粉、銀粉、金粉、鋁粉、鎳粉、錫粉、石墨粉、碳納米管中的一種或者幾種的混合物。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜輔助激光沖擊燒結(jié)技術(shù)制備導(dǎo)電圖案薄膜的方法，其特征在于，清理導(dǎo)電薄膜表面散粉及圖案外的散粉。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掩膜輔助激光沖擊燒結(jié)技術(shù)制備導(dǎo)電圖案薄膜的方法，其特征在于，在導(dǎo)電薄膜表面上涂覆其它材質(zhì)的導(dǎo)電粉末的酒精分散溶液，重復(fù)步驟三-步驟五，能夠在絕緣基材上形成多層復(fù)合導(dǎo)電薄膜。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜輔助激光沖擊燒結(jié)技術(shù)制備導(dǎo)電圖案薄膜的方法，其特征在于，重復(fù)步驟五多次，從而在絕緣基材上形成致密性高的導(dǎo)電薄膜。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜輔助激光沖擊燒結(jié)技術(shù)制備導(dǎo)電圖案薄膜的方法，其特征在于，掩膜板圖案為連續(xù)通路或者孤立區(qū)域，掩膜板圖案寬度為微米級(jí)或者納米級(jí)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜輔助激光沖擊燒結(jié)技術(shù)制備導(dǎo)電圖案薄膜的方法，其特征在于，在步驟五中，激光器掃描前通過(guò)調(diào)節(jié)離焦量控制激光束的斑點(diǎn)大小進(jìn)而調(diào)節(jié)單次沖擊下的導(dǎo)電粉末固結(jié)寬度，圖案邊緣處通過(guò)掩膜板空腔邊緣形狀控制。