[發明專利]一種非球面鏡檢測光軸的快速標定裝置及方法在審
| 申請號: | 202310136775.0 | 申請日: | 2023-02-20 |
| 公開(公告)號: | CN116067626A | 公開(公告)日: | 2023-05-05 |
| 發明(設計)人: | 史元元;李小燕;曹明強;侯曉華;劉勇 | 申請(專利權)人: | 中國科學院西安光學精密機械研究所 |
| 主分類號: | G01M11/02 | 分類號: | G01M11/02 |
| 代理公司: | 西安智邦專利商標代理有限公司 61211 | 代理人: | 馮素玲 |
| 地址: | 710119 陜西省西*** | 國省代碼: | 陜西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 球面鏡 檢測 光軸 快速 標定 裝置 方法 | ||
1.一種非球面鏡檢測光軸的快速標定裝置,其特征在于:包括位于待測非球面鏡(7)兩側且作用端相對設置的干涉儀(1)和經緯儀(2),以及設置在干涉儀(1)和經緯儀(2)之間的固定工裝組件(3)、補償器組件(4)、光斑分析儀(5)和平面反射鏡(6);
所述固定工裝組件(3)包括第一升降架(31)、支撐桿(32)、第一懸臂(33)和第二懸臂(34);
所述支撐桿(32)水平安裝在第一升降架(31)上方,支撐桿(32)的長度方向與干涉儀(1)的光軸平行;所述第一懸臂(33)設置在支撐桿(32)靠近干涉儀(1)的一端處,第一懸臂(33)的一端與支撐桿(32)垂直連接,另一端懸空;所述第二懸臂(34)設置在支撐桿(32)靠近經緯儀(2)的一端處,第二懸臂(34)的一端與支撐桿(32)垂直連接,另一端懸空;
所述補償器組件(4)設置在支撐桿(32)一側,且位于干涉儀(1)和待測非球面鏡(7)之間,用于光路補償,使得干涉儀(1)發射的光線通過補償器組件(4)能夠到達待測非球面鏡(7)并原路返回;
所述第二懸臂(34)的另一端、第一懸臂(33)的另一端以及補償器組件(4)均位于支撐桿(32)的同一側;
所述光斑分析儀(5)用于安裝在第一懸臂(33)的另一端上或者第二懸臂(34)的另一端上;
所述平面反射鏡(6)用于安裝在第一懸臂(33)、第二懸臂(34)、補償器組件(4)或待測非球面鏡(7)上。
2.根據權利要求1所述的一種非球面鏡檢測光軸的快速標定裝置,其特征在于:所述第一懸臂(33)的另一端處設置有第一缺口(331),用于安裝光斑分析儀(5);
所述第二懸臂(34)的另一端處設置有第二缺口(341),用于安裝光斑分析儀(5)。
3.根據權利要求1或2所述的一種非球面鏡檢測光軸的快速標定裝置,其特征在于:所述支撐桿(32)包括導桿(321)、第一滑塊(322)及第二滑塊(323);
所述導桿(321)上沿其長度方向設置有導槽;
所述第一滑塊(322)及第二滑塊(323)卡裝在所述導槽內;
所述第一懸臂(33)安裝在第一滑塊(322)上;
所述第二懸臂(34)安裝在第二滑塊(323)上。
4.根據權利要求3所述的一種非球面鏡檢測光軸的快速標定裝置,其特征在于:所述補償器組件(4)包括補償器(41)和第一五維調整架(42);
所述第一五維調整架(42)安裝在支撐桿(32)一側,且位于干涉儀(1)和經緯儀(2)連線的中心處;
所述補償器(41)安裝在第一五維調整架(42)上。
5.根據權利要求4所述的一種非球面鏡檢測光軸的快速標定裝置,其特征在于:還包括支撐工裝(8);
所述支撐工裝(8)包括第二五維調整架(81)和V型塊(82);
所述第二五維調整架(81)設置于補償器組件(4)與經緯儀(2)之間;
所述V型塊(82)安裝在第二五維調整架(81)上,V型塊(82)用于安裝待測非球面鏡(7)。
6.根據權利要求5所述的一種非球面鏡檢測光軸的快速標定裝置,其特征在于:還包括至少一個第二升降架(11);
所述第二升降架(11)安裝在所述干涉儀(1)下方。
7.根據權利要求6所述的一種非球面鏡檢測光軸的快速標定裝置,其特征在于:還包括水平設置的檢測平臺(9);
所述第一升降架(31)、第一五維調整架(42)、第二五維調整架(81)、第二升降架(11)以及經緯儀(2)均設置在所述檢測平臺(9)上。
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