[發明專利]一種支持脈沖監測功能的射頻等離子體源

在審

• 申請號: 202310134744.1
• 申請日: 2023-02-17
• 公開（公告）號: CN116170932A
• 公開（公告）日: 2023-05-26
• 發明（設計）人: 王奕善;馬俊;劉睿哲;趙馗
• 申請（專利權）人: 上海勵兆科技有限公司
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46;G01R29/02
• 代理公司: 上海邦德專利代理事務所(普通合伙) 31312
• 代理人: 梁劍

1.一種支持脈沖監測功能的射頻等離子體源，其特征在于，所述射頻等離子體源包括：射頻電路、功率探測器、RF輸出單元、反饋控制單元、數據處理單元、存儲器和上位機PC；

所述射頻電路的輸出端連接所述功率探測器的輸入端，所述RF輸出單元的輸入端連接所述功率探測器的第一輸出端，所述功率探測器的第二輸出端連接所述數據處理單元的輸入端，所述反饋控制單元的輸入端連接所述數據處理單元的第一輸出端，所述射頻電路的控制端連接所述反饋控制單元的輸出端，所述存儲器的輸入端連接所述數據處理單元的第二輸出端，所述存儲器通過通訊接口將監測的數據結果傳輸到所述上位機。

2.根據權利要求1所述的射頻等離子體源，其特征在于，所述數據處理單元包括輸出功率閾值單元、第一比較單元、第一計數單元；

所述輸出功率閾值單元中預設輸出功率上限和輸出功率下限，將所述輸出功率上限和所述輸出功率下限輸出到所述第一比較單元的第一輸入端；所述第一比較單元的第二輸入端連接所述功率探測器的第二輸出端，所述第一計數單元的輸入端連接所述第一比較單元的輸出端，輸出第一計數值并存放到所述存儲器中。

3.根據權利要求2所述的射頻等離子體源，其特征在于，所述第一比較單元將所述輸出功率采樣值的幅值分別與所述輸出功率上限和所述輸出功率下限進行比較，每當所述輸出功率采樣值的幅值大小超過所述輸出功率上限或低于所述輸出功率下限時，產生比較結果；所述第一計數單元對所述比較結果進行累加，輸出所述第一計數值。

4.根據權利要求1所述的射頻等離子體源，其特征在于，所述數據處理單元包括多個輸出功率閾值單元、多個第二比較單元、第二計數單元；

每個所述輸出功率閾值單元中預設輸出功率上限和輸出功率下限，將所述輸出功率上限和所述輸出功率下限輸出到對應的一個所述第二比較單元的第一輸入端；每個所述第二比較單元的第二輸入端連接所述功率探測器的第二輸出端，所述第二計數單元的多個輸入端分別連接每個所述第二比較單元的輸出端，輸出第二計數值并存放到存儲器中。

5.根據權利要求4所述的射頻等離子體源，其特征在于，每個所述第二比較單元將所述輸出功率采樣值的每級幅值分別與對應的所述輸出功率上限和所述輸出功率下限進行比較，每當所述輸出功率采樣值的每級幅值大小超過所述輸出功率上限或低于所述輸出功率下限時，產生比較結果；所述第二計數單元對所述比較結果進行累加，輸出所述第二計數值。

6.根據權利要求2-5任一項所述的射頻等離子體源，其特征在于，所述輸出功率上限可以為期望輸出功率幅值的110％，所述輸出功率下限可以為期望輸出功率幅值的90％。

7.根據權利要求2或3所述的射頻等離子體源，其特征在于，所述第一計數單元還具有屏蔽控制端，用于接收屏蔽時間；

當所述屏蔽時間有效時，所述第一計數單元不工作；當所述屏蔽時間無效時，所述第一計數單元正常工作。

8.根據權利要求4或5所述的射頻等離子體源，其特征在于，所述第二計數單元還具有屏蔽控制端，用于接收屏蔽時間；

當所述屏蔽時間有效時，所述第二計數單元不工作；當所述屏蔽時間無效時，所述第二計數單元正常工作。

9.根據權利要求1、2、4任一項所述的射頻等離子體源，其特征在于，所述數據處理單元包括反射功率閾值單元、第三比較單元、第三計數單元；

所述反射功率閾值單元中預設反射功率上限，將反射功率上限輸出到所述第三比較單元的第一輸入端；所述功率探測器對射頻脈沖的反射功率進行采樣，得到反射功率采樣值，通過第三輸出端將其輸出到所述第三比較單元的第二輸入端；所述第三計數單元的輸入端連接所述第三比較單元的輸出端，輸出所述第三計數值并存放到所述存儲器中。