[發明專利]一種改善perc電池片鍍膜工序導電性的承舟塊

在審

• 申請號: 202310132756.0
• 申請日: 2023-02-18
• 公開（公告）號: CN116334595A
• 公開（公告）日: 2023-06-27
• 發明（設計）人: 吳緒榮;陳陽泉;戴亮亮;盧發樹;柯雨馨;許光榮
• 申請（專利權）人: 陽光中科（福建）能源股份有限公司
• 主分類號: C23C16/50
• 分類號: C23C16/50;C23C16/458
• 代理公司: 北京睿博行遠知識產權代理有限公司 11297
• 代理人: 楊麗娟

本發明涉及太陽能電池生產技術領域，具體為一種改善perc電池片鍍膜工序導電性的承舟塊，包括承舟主體和導電電極，所述導電電極安裝在所述承舟主體上。本發明解決了現有的承舟塊采用不銹鋼材質,鍍膜過程中碎片融硅會附著在承舟塊上,導致承舟塊與石墨舟接觸不良，需頻繁對其進行更換，才能保證電池片的良品率，由于承舟塊質量較大對其更換費時費力，同時通過對承舟塊的頻繁更換來保證承舟塊與石墨舟之間的良好接觸，極大的增加了鍍膜成本的技術問題。

技術領域

本發明涉及太陽能電池生產技術領域，特別涉及一種改善perc電池片鍍膜工序導電性的承舟塊。

背景技術

PECVD法是借助微波或射頻等使含有薄膜成分原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜的一種方法，采用PECVD法對perc電池片鍍膜時，將待鍍膜硅片安裝在石墨舟上，之后將石墨舟推入真空反應爐內，通過承舟塊向石墨舟舟腳通電形成電場，同時向真空反應爐內通入硅烷和氨氣，在電場的作用下硅烷和氨氣相互作用生成的氮化硅并附著在硅片上，由此鍍膜完成；

現有的承舟塊采用不銹鋼材質,鍍膜過程中碎片融硅會附著在承舟塊上,導致承舟塊與石墨舟接觸不良，需頻繁對其進行更換，才能保證電池片的良品率，由于承舟塊質量較大對其更換費時費力，同時通過對承舟塊的頻繁更換來保證承舟塊與石墨舟之間的良好接觸，極大的增加了鍍膜成本。

發明內容

本發明提供一種改善perc電池片鍍膜工序導電性的承舟塊，用以解決目前現有的承舟塊采用不銹鋼材質,鍍膜過程中碎片融硅會附著在承舟塊上,導致承舟塊與石墨舟接觸不良，需頻繁對其進行更換，才能保證電池片的良品率，由于承舟塊質量較大對其更換費時費力，同時通過對承舟塊的頻繁更換來保證承舟塊與石墨舟之間的良好接觸，極大的增加了鍍膜成本的技術問題。

為解決上述技術問題，本發明公開了一種改善perc電池片鍍膜工序導電性的承舟塊，包括承舟主體和導電電極，所述導電電極安裝在所述承舟主體上。

優選的，所述承舟主體采用不銹鋼材質，所述導電電極采用石墨材質。

優選的，所述承舟主體上開設有導電電極安裝槽和絕緣軸安裝孔，所述導電電極安裝在所述導電電極安裝槽內，并通過石墨螺絲與承舟主體連接，所述絕緣軸安裝孔內安裝有絕緣軸，所述導電電極遠離所述承舟主體的一端與承舟塊的舟腳接觸連接。

優選的，所述導電電極包括電極塊一和兩對稱布置的電極塊二，所述電極塊一內設有安裝凹槽，所述電極塊二為T型，兩電極塊二一端安裝在所述安裝凹槽內，另一端安裝在舟腳的電極安裝凹槽內。

優選的，所述導電電極底部設有輔助拆卸彈性件，所述承舟主體兩側設有導電電極安裝組件，所述導電電極安裝組件包括抵接塊、擰緊螺母和螺紋連接柱體，所述抵接塊和擰緊螺母分別固定連接在所述螺紋連接柱體兩端，所述螺紋連接柱體螺紋連接在所述承舟主體上，所述螺紋連接柱體上設有抵接彈性件。

優選的，所述承舟主體上設有防護筒，所述防護筒用于舟腳的安裝。

優選的，所述承舟主體上設有氮化硅清潔組件，所述氮化硅清潔組件用于對承舟主體和導電電極上的氮化硅進行清潔。

優選的，所述氮化硅清潔組件包括給料箱和清潔頭，所述給料箱和清潔頭通過輸出軟管連通，所述給料箱用于通過輸出軟管向清潔頭輸送清潔液、純凈水和空氣。

優選的，所述給料箱包括箱體，所述箱體安裝在承舟主體的箱體安裝槽內，所述箱體內設有空腔、純凈水儲存腔和清洗液儲存腔；

所述空腔與匯合管相通，所述匯合管與所述輸出軟管相通，所述空腔內設有擠壓部件，所述擠壓部件用于擠壓空腔；